微电子实验教学平台和教学体系的构建与改革.pdf
《微电子实验教学平台和教学体系的构建与改革.pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《微电子实验教学平台和教学体系的构建与改革.pdf(3页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、:./.微电子实验教学平台和教学体系的构建与改革刘 瑶 陆 翔广西大学物理科学与工程技术学院 广西南宁 摘 要:近年来微电子产业高速发展对高校创新型微电子专业人才的培养提出了更高的要求 本文在调研分析的基础上介绍了我校近几年微电子实验教学平台的规划建设和实验体系的改革包括覆盖完整集成电路设计制造测试流程的三大实验室的建立实验课程群的融合创新和分层体系综合研发性、设计性实验教学内容的加强以及引入开放式、团队协作的教学模式 这些措施为提高学生的综合实践能力、培养高素质人才打下基础关键词:微电子实验教学平台实验体系教学改革 年的政府工作报告首度把集成电路列为加快制造强国建设需要推动的五大产业关键词首
2、位 国务院印发的集成电路产业发展纲要明确提出 年集成电路产业链主要环节达到国际先进水平一批企业进入国际第一梯队产业实现跨越式发展 目前我国集成电路设计和微电子工艺等方面的人才缺口巨大人才结构明显失衡高端人才在集成电路设计、制造、设备、材料等多个环节严重匮乏 年我国微电子集成电路全行业人才需求达.万人左右 然而截至 年年底相关从业人员只有.万人全行业人才缺口达 多万人 年国务院印发的“若干政策”中提出在集成电路人才培养中要紧密结合产业发展需求及时调整课程设置和教学方式因此微电子集成电路专业教育改革迫在眉睫作为“一带一路”枢纽区域和东盟总部的广西它的最高学府广西大学立足广西服务全国响应新工科建设提
3、出的“地方高校要对区域经济发展和产业转型升级发挥支撑作用”响应国家对微电子技术和产业的人才需求其电子专业于 年开始从传统的以应用电子方向为主的专业结构转向高端新兴的微电子、光电子两大方向组成的专业结构 在转型的过程中实验教学体系的建立与改革难度要远大于理论教学 对于实践性强的微电子专业实验课程是教学的重要组成须与理论教学相辅相成有效地促进和加深学生对理论知识的理解并能在实验中灵活运用相关理论培养学生的应用、设计和创新能力以及研发性思维模式 广西壮族自治区内的高校中除了桂林电子科技大学和广西师范大学并无其他高校的电子类学科拥有微电子相关的实验教学平台 而桂林电子科技大学的微电子实验建设偏重于通信
4、射频集成电路设计、测试封装以及微电子基础实验广西师范大学只开设了集成电路设计实验两所高校对微电子教学体系中的另一重要模块 半导体工艺制造与器件实验并无涉及 因此我校在专业改革转型的大方向下从 年至今通过探索和改革建立了合理完善、综合性、有层次的具有特色和国内先进水平的微电子实验教学平台及教学体系从而为我国在集成电路产业高速发展之际更多、更有效地培养出一批社会急需、具有工程和创新能力的微电子产业技术人才 微电子实验教学平台的构建近几年我校电子学科在专业转型方面不断探索培养计划逐步向微电子相关课程倾斜新增了“微电子器件与工艺”“集成电路原理”“射频电路原理”“与 设计”“集成电路制造技术”等理论课
5、程从而为微电子实验教学体系的建立打下了坚实的理论基础 年以来我校预留面积约 左右、投入 余万元建设电子专业微电子方向相关的教学实验室 其中最具特色的是建立了广西区内第一个微电子工艺洁净室(约包括千级洁净度的黄光区和万级洁净度的白光区)并购买了全套先进工艺设备例如紫外光刻机、甩胶匀胶机、等离子清洗机、反应离子刻蚀机、高温氧化扩散炉、电子束蒸发镀膜机等半导体工艺制造设备金相显微镜、台阶仪、半导体参数测试仪等检测设备并结合高端科研设备如磁控溅射、低压、全自动变温霍尔效应测试仪、宽光谱穆勒矩阵变温椭偏仪等从而能实现从硅圆片清洗到最后制造出器件或简单芯片以及性能测试的完整硅平面工艺 另外购置了单晶少子寿
6、命测试仪、四探针测试系统、电容电压特性测试仪、数字存储半导体特性图示仪、霍尔效应测试系统等半导体检测设备各 套以此建立了半导体物理与器件实验室 同时把已开设的 科技风 年 月创新教学 和 实验纳入集成电路设计实验教学体系作为前序课程并以此为基础购买了高性能的服务器集群、各类集成电路 设计软件构建了集成电路设计实验室至此规划并建立了以半导体物理与器件实验室、集成电路设计实验室、微电子工艺洁净室为三大核心实验室的微电子实验教学平台如下图所示微电子实验教学平台和课程体系建设方案图 建立分层次、合理完整的微电子学实验教学体系依托已建成的微电子实验教学平台并紧密结合微电子方向理论教学体系规划并建立了从易
7、到难、从基础验证到综合设计研发性实验的分层次实验教学体系 对微电子课程群中的每门核心课程都开设实验或实践整个实践环节不低于整个课程的 以实践能力驱动人才培养 每个实验室承载相应的实验教学内容物尽其用提高使用率 具体实验教学体系的建设方案如上图所示.设置专业基础实验课程训练学生的基本实验技能在大三第一学期基于“半导体物理”和“微电子器件与工艺”的理论教学开设半导体物理与器件实验课程实验内容主要涵盖半导体材料与器件的主要性能评价参数、电学特性的表征和测试技术的应用 通过该实验教学学生能深入理解半导体材料的物理特性掌握微电子器件参数测试技术为设计具有特定功能的器件和电路准备条件 同时基于“集成电路原
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 微电子 实验教学 平台 教学 体系 构建 改革
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【自信****多点】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【自信****多点】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。