恒温加热台温度偏差的测量不确定度评定.pdf
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1、2023,32(3)福建分析测试Fujian Analysis&Testing恒温加热台温度偏差的测量不确定度评定范 译(苏州莱测检测科技有限公司,江苏苏州215000)收稿日期:2022-12-28作者简介:范译(1991),男,助理工程师,主要从事热工力学的计量检测、信息技术等工作。Email:摘要:恒温加热台主要用于提供一个温度可调节、均匀稳定的平面温场,广泛用于半导体器件焊接加工,以及材料理化分析及生物工程等领域。随着相应的校准规范的发布与实施,规范恒温加热台的校准工作迫在眉睫,测量不确定度的评定更能更加体现校准工作的严谨性,本文依据相应的校准规范,简述恒温加热台的校准条件、校准项目及
2、方法,对恒温加热台温度偏差的测量不确定度进行评定。关键词:恒温加热台、校准条件、校准项目及方法、测量不确定度评定中图分类号:TH837文献标识码:A文章编号:1009-8143(2023)03-0052-03Doi:10.3969/j.issn.1009-8143.2023.03.10Evaluation of Measurement Uncertainty of Temperature Deviation of Constant Temperature Heating PlatformFan Yi(Suzhou LECC Testing Technology Co.,Ltd,Suzhou,J
3、iangsu 215000,China)Abstract:The constant temperature heating platform is mainly used to provide a temperature adjustable,uniform and stableplane temperature field,which is widely used in semiconductor device welding processing,material physical and chemicalanalysis,bioengineering and other fields.W
4、ith the release and implementation of the corresponding calibration specifications,it is extremely urgent to standardize the calibration of the thermostatic heating platform,and the evaluation of measurement uncertainty can more reflect the preciseness of the calibration work.This paper,based on the
5、 corresponding calibration specifications,briefly describes the calibration conditions,calibration items and methods of the thermostatic heatingplatform,evaluate the measurement uncertainty of the temperature deviation of the constant temperature heating platform.Key words:constant temperature heati
6、ng platform;calibration conditions;calibration items and methods;evaluation of measurement uncertainty引言恒温加热台通常由内嵌加热装置及温度传感器的加热平台,带显示功能的温度控制器(可与加热平台合为一体)和防护结构组成。温度控制器读取温度传感器的测量值,通过PID等控制算法调节加热装置输出,使工作平面温场达到平衡稳定。目前,各计量检测机构可以依据JJF(军工)256-2020恒温加热台校准规范1对恒温加热台进行校准。1校准条件JJF(军工)256-2020恒温加热台校准规范 适用 于 温 度
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