JB/T 9481-1999 扩散硅力敏器件.pdf
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1、I CS 1 9 N0 5 JII 中 华 人 民 共 和 国 机 械 行 业 标 准 J B / T 9 4 8 1 -1 9 9 9 扩散硅力敏器件 D i f f u s e d ty p e s i li c o n f o r c e s e n s in g d e v ic e s 1 9 9 9 - 0 8 - 1 0发布 2 0 0 0 - 0 1 - 0 1 实施 国 家 机 械 工 业 局发 布 J B/ T 9 4 8 1 - 1 9 9 9 前言 本标准是对Z B N 1 1 0 1 1 -8 8 ( 扩散硅力敏器 件 的修订。修订时, 对原标准作了编辑性修改, 主要
2、技 术内容没有变化。 本标准自 实施之日 起, 代替Z B N I 1 0 1 1 -8 8 . 本标准由机械工业部仪器仪表元器件标准化技术委员会提出并归口。 本标准负责起草单位: 沈阳仪器仪表工艺研究所。 本标准主要起草人: 徐学峰、 李宗禄、 胡静山。 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 中华人民共和国机械行业标准 扩散硅力敏器件 J B/T 9 4 8 1 - 1 9 9 9 代替Z B N1 1 0 1 1 -8 8 D i ff u s e d t y p e s il i c o n f o r c e s e n s i n g d e v ic
3、 e s 范 围 本标准规定了 扩散硅力敏器件的 产品 分类、 要求、 试验方 法、 检验规则及标志、 包装、 运输和贮存。 本标准适用于半导体扩散型硅杯式力敏器件。 2引 用标准 下列标准所包含的条文, 通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。 本标准出版时, 所示版本均为 有效。所有标准都会被修订, 使用本标准的 各方 应探讨使用下列标准 最新版本的可 能性。 G B / T 2 4 2 3 . 5 -1 9 9 5 电 工电子产品 环境试验 第2 部分: 试验方法 试 验E a 和导则: 冲击 G B / T 2 4 2 3 . 1 0 -1 9 9 5 电工电子产品环境试验 第2 部
4、分: 试验方法 试 验F c 和导则: 振动( 正弦) G B / T 2 8 2 8 -1 9 8 7 逐批检查计数抽样程序及 抽样表( 适用于连续批的检查) GB /r 4 4 7 5 - 1 9 9 5敏A元器件术语 3定 义 本标准采用下列定义。 其他术语采用 G B / T 4 4 7 5的相关定义。 3 . 1 敏感电 阻 R S s e n s i n g re s i s t a n c e 把被测的物理量转换成电阻值变化的电阻。 3 . 2 温度补偿电阻 R c t e m p e r a t u re c o m p e n s a t i o n r e s is t a
5、 n c e 与被测的物理量无关, 只起温度补偿作用的电阻。 3 . 3 激励E x e x c i t a t i o n 为 使器件 正常工作而施加在其输人端的 外部电流 或电压。 3 . 4 反向击穿电压 V s r e v e rs e b r e a k d o w n v o l ta g e 用仪器( J T - 1 图示仪) 测出的器件两 半桥之间的隔离 击穿电 压。 3 . 5 零点输出 U o z e ro o u tp u t 器件置于 室温条件下, 施加标称激 励, 当被测量值为零时 测出的器件 桥路输出 值。 3 . 6 满量 程输出 呢f u ll s p a n
6、o u t p u t 器件测量上限时桥路输出值与零点输出值的代数差。 3 . 7 零点时漂几z e r o t i m e d r i f t 将器件置于恒温条件下( 沮度波 动不超过1 2 9 C ) , 连 续侧量8 h , 其零点输出 的最大与最小值之差与满 量程输出之比。 3 . 8 温度范围 T s t e m p e r a t u r e r a n g e 能保证器件技术性能参数所允许的环境最低温度到最高温度。 国家机械工业局 1 9 9 9 - 0 8 - 1 0批准 2 0 0 0 - 0 1 - 0 1实施 1 拍 汀 9 4 81 -1 9 9 9 3 .9 热零点漂
7、移系数a d r if t f a c t o r o f t h e r m o z e r o 当被测量值为零时, 温度从室温变化到规定的温度范围的最高或最低温度所引起的零点输出变化 量与室温时零点输出之比。 3 . 1 0 热灵敏度漂移系数 13 d r if t f a c t o r o f t b e r m o s e n s i t i v i ty 器件施加测量上限压力, 温度从室温变化到规定的温度范围的最高或最低温度所引起的灵敏度变 化量与室温时的灵敏度之比。 3 . 1 1 温度回差 A T R t e m p e r a t u r e h y s t e r e s
8、i s e r r o r 器件 经过高、 低温( 温 度范围的高温点和 低温点) 循环后, 再回 到原来的温度上, 器件的零点输出 恢 复到原来数值的能力。 3 . 1 2 允许过载P w , a l l o w a b l e o v e r l o a d 器件的性能指标不产生永久性变化或不超过规定的允差时, 超过测量范围的能力。 3 .1 3 灵敏度 s e n s i t i v i ty 在室温条件下, 施加标称激励, 器件输出增量与被测量增量之比。 3 . 1 4 线性度S , l i n e a r i ty 器件校准曲线靠近某一规定直线的程度。 3 .1 5 滞后氏 h y
9、s t e r e s is 当被测量值先逐渐增加到额定值, 然后再逐渐减少到零时, 在规定范围内, 被测量各个检验点中对 应输出的最大差值。 3 . 1 6 重复性 S , r e p e a t a b i l i ty 在相同条件下, 以同一方向连续施加相同被测量数值时, 器件重现输出读数的能力。 3 . 1 7 准确度 S a c c u r a c y 测量结果中, 系统误差与随机误差的综合, 表示测量结果与真值的符合程度。 3 . 1 8 稳定性S o . s s t a b i l i ty 在规定的工作或试验条件下, 经过一定时间, 器件保持零点和满量程输出不变的能力。 4分类
10、与命名 4 . 1 型号命名 4 . 1 . 1 型号的组成 器件的型号由汉语拼音和数字组成。 M L口 一口 口 E 3 测童 上限 结 构特征 类别 力敏元件 ) 主称( 敏感元件 ) 4 . 1 . 2 说明 型号中第三项“ 结构特征” ; 卜硅应变片、 2 - 硅应变梁、 3 一 硅杯。 型号中第四项“ 测量上限, 由三位数字组成。十位数代表测量上限的整数值, 个位数代表测量上限的 小数值。百位数代表乘以十的几次幂。例如: 小 数 0 .5 整 致 2 十的三 次赛 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 .班理 9 4 81 -1 9 9 9 该数表示的
11、测量上限 是: 2 .5 x 1 0 = 2 5 0 0 k P a 器件的型号及测量上限( 用于真空测量的器件即测量下限) 见表 t o 表 1 产 品型 号 侧 金 上 限 k P a M 口 一 1 0 M 幼 一 1 6 M L 3 -0 2 5 M 1 3- 0 4 0 M I 3-0 6 0 I . o x i o 0 1 . 6 x 1 0 0 2 . 5 x 1 护 4 . 0 x 1 0 0 6 . 0 x 1 0 0 M 1 3 - 1 1 0 M 1 3 - 1 1 6 M 口 - 1 2 5 M L 3 - 1 4 0 M I 3-1 6 0 1 .0 x 1 0 1
12、.6 x 1 0 2 .5 x 1 0 4 .0 x 1 0 6 .0 x 1 0 M I 3- 21 0 M 1 3 - 2 1 6 M I 3 - 2 2 5 M i 3-2 40 M 1 3 - 2 6 0 I 刀 x 1 少 1 .6 x 1 护 2 .5 x 1 护 4 .0 x 1 护 6 .0 x 1 0 = ML 3 - 3 1 0 M1 3 - 3 1 6 M1 3 - 3 2 5 M1 3 - 3 4 0 MI -3 - 3 6 0 1 .0 x 1 护 1 .6 x 1 0 2 . 5 x 1 0 3 4 . 0 x 1 护 6 . 0 x 1 少 M幼 一 1 0 M
13、I 3- 41 6 MI 3 - 4 2 5 M1 3 - 4 4 0 M1 3 - 4 6 0 1 .0 x 1 0 1 . 6 x 1 0 2 . 5 x 1 0 4 . 0 x 1 0 6 . 0 4 0 4 4 . 2 品种及规格 品种及规格型号见表 1 , 4 . 3 结构、 尺寸 力敏器件的典型结构见图 1 , 典型尺寸见表 2 0 非典型结构的力敏 器件参照图1 给出影响 互换性和安装的变送器或传感器需要的 各尺寸。 表 2 代号ABC D R fvim 中 3叨 2 81 2 J B / T 9 4 8 1 -1 9 9 9 4 .4 准确度等级 器件的准确度等级符合表 3 的
14、规定。 表 3 准确度等级基本误差( 相对满量程输出值) (0 沈 ) 1 少 住 0 2 (D仍夕 欣05 0 . 1 价2 ) 。25 (03 ) 众5 1 0 2 一0 10 .0 1% 1 0 .0 2 % 川 . 0 3 % 劲 刀 5 % 1 0 .25 % 注 带括号的等级为不推荐值。 5技术要求 5 . 1 工作条件 5 . 1 . 1 温度范围 器件使用的典型环境温度为一 3 0 一 + 8 0 C 。其它特殊要求的器件, 可参照下述温度等级选择: - 5 5 C , - 4 0 C, - 7 S C, - 1 0 9 0 , + 5 和+ 4 0 C , + 5 0 C ,
15、 + 7 0 9 C , + 8 5 C, + 1 0 0 cC, + 1 2 5 C, + 1 5 5 cC, + 2 0 0 C o 5 . 1 .2 激励 器件的标称激励, 用于变送器的典型值是I m A ;用于其它传感器的也可选择 2 m A , 5 m A , l O m A或直流 激励电压3 V , 6 V , 9 V , 1 2 V , 1 8 V , 2 4 V a 5 . 1 .3硅油 器件浸在硅油( 或氟油) 中工作, 硅油( 或氟油) 的 绝缘电阻应在 l o o m 几以上, 使用温度范围一 4 0 C 一+ 1 0 0 9 C . 5 . 2 敏感电阻 器件敏感电阻的
16、标称阻值及允差见表 4 0 表 4 标称阻值 k f 2 12345 允 差 % 202 0 2 02 02 0 5 . 3 反向击穿电压 器 件两半桥之间的反向击穿电压用仪器测量时, 应是硬击穿。 5 .4 满量程输出 器 件激励源 1 m A , 按图2 方式组桥。无补偿时的满量程输出应从下列选取: l O m V , 2 0 m V , 5 0 m V , 1 0 0 m V, 2 0 0 m V o 5 .5 零点输出 器件激励源 1 mA , 按图2 方式组桥。 无补偿时桥路的零点输出应从下列选取: t 5 %F S , t 1 0 %F S , t 2 0 % F S, 幼0 %F
17、 S, t 7 5 %F S . 标准分享网 w w w .b z f x w .c o m 免费下载 J B / T 9 4 8 1 -1 9 9 9 高低沮试验 箱 回!1白 C 日与匣虱一 于 剪_ 应白 图 2 5 . 6 线性度、 滞后、 重复性 器件这三项技术指标由准确度来衡量, 其允差数值档次按照本标准准确度等级表 3 在产品质量分等 标准中规定。准确度按公式( 1 ) 计算: s - /s .z R Z x 式中满、 民戒 按公式( 2 ) , ( 3 ) 和( 4 ) 计算: 5 ,- 会X 100 % S h- 赞X 10 0%O “ 赞X 10 0% 式中 :八U一偏 U
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