JC∕T 2068-2011 镀膜玻璃生产规程.pdf
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1、I C S8 1 0 4 0Q3 0备案号:3 4 4 1 8-2 0 1 2】C中华人民共和国建材行业标准J C T2 0 6 8 2 0 11镀膜玻璃生产规程S p e c i f i c a t i o nf o rc o a t e dg l a s sm a n u f a c t u r ep r o c e s s2 0 1 卜1 2 2 0 发布2 0 12-0 7 0 1 实施中华人民共和国工业和信息化部发布刖l a:lJ C,r2 0 6 8 2 0 11本标准按照G B T1 1 2 0 0 9 给出的规则起草。本标准由中国建筑材料联合会提出。本标准由全国建筑用玻璃标准化
2、技术委员会(S A C T C2 5 5)归口。卒标准负责起草单位:浙江中力控股集凹有限公司、中国建筑玻璃与工业玻璃协会。本标准参加起草单位:金晶(集团)有限公司、秦皇岛耀华玻璃股份有限公司、威海监星玻璃股份有限公司、格兰特工程玻璃(中山)有限公司、信义玻璃工程(东莞)有限公司、上海北玻镀膜技术工业有限公司、浙江东亚工程玻璃有限公司本标准主要起草人:王烁、候英兰、张佰恒、李会、许武毅、李越、夏黎海、刘军波、龙霖星。本标准为首次发布。1 范围镀膜玻璃生产规程J C,T2 0 6 8 2 0 11本标准规定了镀膜玻璃生产的术语币定义、分类、材料、制作、成品榆验以及包装、标志、运输羽贮存。本标准适用
3、j i 磁控溅射镀膜玻璃和在线化学气相沉积镀膜玻璃的牛产。2 规范性引用文件下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅所注L J 期的版本适用于本文件。凡是4;注日期的引用文竹,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文什。G B T7 2 8 1 9 9 8 锡锭G B T3 6 2 0l 2 0 0 7 钛及钛合金牌号和化学成分G B T6 3 8 2 1 平板玻璃集装器具架式集装器及其试验方法G B T6 3 8 2 2 平板玻璃集装器具箱武集装器及其试验方法G B T2 0 8 7 8-2 0 0 7 不锈钢和耐热钢牌号及化学成分G B T1 8 9 1 5 1 镀膜
4、玻璃第1 部分:阳光控制镀膜玻璃G B T1 8 9 1 5 2 镀膜玻璃第2 部分:低辐射镀膜玻璃J c T5 1 3 平板玻璃木箱包装3 术语和定义F 剐术语和定义适用于本文件。3 1靶材s p u t t e r i n gt a r g e t被高速荷能粒了轰击的,可沉积或反应成膜的固体利料。3 2磁控溅射镀膜m a g n e t r o ns p u t t e r i n gc o a t i n g真空环境中,在电场及磁场的作用F,靶材被气体辉光放电产生的荷能离子轰击,粒子从其表面射出,在被镀基体表面沉积或反应成膜的工艺过程。3 3镀膜前驱体c o a t i n gp r e
5、 c u r s o r含有构成薄膜成分的化学物质,n T 通过化学反应在高温基体表面7 侈成膜层。3 4化学气相沉积镀膜c h e m i c a lv a p o rd e p o s i t i o nc o a t i n g将镀膜前驱体施加到高温基体表面,在气相一固相界面发生化学反应,在基体表面沉积反应成膜的工艺过程。3 5J C,r2 0 6 8 2 0 1 1工艺气体p r o c e s sg a s磁控溅射过程中用于产生等离了体或发生特定化学反应的一种或儿种气体。化学气相沉积过程中镀膜前驱体气体、反应气体及载体气体的总称。3 6镀膜反应器c o a t i n gr e a
6、c t o r在化学气相沉积镀膜过程巾,将工艺气体喷射到基体表面的特定装置。3 7阴极c a t h o d e在磁控溅射镀膜工艺中,承载靶材实现磁控溅射的装置。装置内包括磁性材料、冷却装置、屏蔽装置等。3 8可热加工的镀膜玻璃h e a tt r e a t a b l ec o a t e dg l a s s指热加工后膜层性能稳定,各项指标仍符合韦H 关国家标准或行业标准的镀膜玻璃。4 分类41按产品性能分为阳光控制镀膜玻璃和低辐射镀膜玻璃。42 按生产工艺分为离线磁控溅射镀膜和在线化学气相沉积镀膜。5 材料51磁控溅射镀膜玻璃生产所用材料磁控溅射镀膜玻璃生产所用材料包括玻璃、靶材、工艺
7、气体、保护膜、干燥剂等,各种材料均麻符合相应国家标准或行业标准的要求以及生产工艺要求。材料应有合格证,进口材料应有相关证明。5 1 1 玻璃磁控溅射镀膜玻璃可选用平板玻璃、防火玻璃、钢化玻璃、夹层玻璃、半铡化玻璃、压花玻璃、超白浮法玻璃等作为基体材料。512 靶材磁控溅射镀膜工艺常用靶材n J 参见附录A。5 1 3 工艺气体工艺气体包括高纯度的氩气、氮气、氧气等。514 其他材料包括保护膜、干燥剂、隔离粉、珍珠棉、惰性气体等。52 化学气相沉积镀膜玻璃材料化学气相沉积镀膜玻璃生产所J j 材料包括玻璃、镀膜前驱体、工艺气体等。各种材料均应符合相应l 到家标准或行业标准的要求,尚无相应标准的材
8、料应符合设计要求。材料应有台格证,进口材料应有相关证明。5 21 玻璃化学气相沉积镀膜玻璃哪选用平板玻璃、超白浮法玻璃等作为材料。5 2 2 镀嚏前驱体化学气相沉积镀膜工艺常用的镀膜前驱体可参见附录B。6 制作J C,r2 0 6 8 2 0 1161 一般要求611镀膜玻璃生产企业应具备满足生产要求的设备,并定期进行维护保养。6 12 镀膜玻璃生产企业应具备必要的量具和检测设备,并定期进行计量检定。应具备的膜层检测设备有在线分光光度汁、离线分光光度汁、耐磨试验机和方块电阻测量仪。宜具备辐射率测定仪、红外分光光度计、雾度仪、台阶仪、椭偏仪等。613 从事镀膜玻璃生产的作业人员,应具备相应的专业
9、技能并经过安全操作培训,持证上岗。6 1 4 镀膜玻璃的生产应具备工艺操作规程、作业指导书、安全操作规程、应急方案等。615 磁控溅射镀膜的基片宜选用近期生产的玻璃,必要时应进行抛光处理。616 磁控溅射镀膜玻璃生产应具备上下片台、清沈机、磁控溅射装置、生产监控、在线检测、循环冷却水系统、水处理系统等装置。617 磁控溅射镀膜工艺室的基础真空度宦优于5 1 0 P a。6 1 8 镀膜面宜为玻璃的非锡面。619 清洗用去离子水电阻宜大:5M n。62 磁控溅射镀膜玻璃的制作6 21 生产工艺流程生产工艺流程见幽l。图1磁控溅射镀膜玻璃生产工艺流程图6 2 2 生产前检查生产前应进行如下检查:a
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