GB∕T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf
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1、I.CS 31.200 L 55 中华人民只和回国家准(;B/r 38447,-2020 微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法Micro-electronlechanical systent te,chnology-Fatigue testing lethod of ME如fSstructur1 e using re.sonant vibr,atJon 2020-03-06发布国家市场监督管理总局串告国家标准化管理委员会叩2020-.07-01实施次自38447-2020 GO/T IIJ,.,.!liilJ.1.tIi.曲曲l-ii n 矗矗矗.矗iI,.矗iI.矗.L.,
2、.矗.矗.,画.矗.晶.矗iI.iI ,.Ii矗iI.矗画晶矗矗.晶a矗.矗.矗ilJ.矗.矗.晶.iI.晶.现iEfkzj|JH豆叶q:.-.咱.E.唱.术i岳阳在义电万.iI F!III!.帽酬.膏嚼.iI!liI.!I.iI+.警.I!.!lI.!I.!I-.I!.iI.!II btq生.h去a.ill.矗.iI.画晶.I,.iI,.总UJ矗.矗.,.矗.矗.晶.iI.,.矗矗晶.,.+.ill.晕.出验设指4.I 试验到;j在442).!JI!.圃.嚼.iI.,.I!.!I.!I.1.iI.of:.帽.画.誓.!I.圃样fVT置;二1,3。咱.楠.幅.争.叫.旨曲神t.唱唱咖啡叫I.咽
3、.唱非噜非叫啡咱.唱l咿.唱中帚叫田辙叫幢咂咱争神争争非噜.咱悔唱唱t噜帚叫i.唱唱b叫非啦晴啡钟.唰l试验条fl4 哩咀q i且可试验)骤d冒A.1.,._.1._._ 试验报:1i-K忡咀EZ-1.7 4 F.!III!.,.曲.骨喃喃.!I.!lII!.j.面.II!蝠.蝠.匾.圃.疆.画.!.!I.!I.!I!I IJII!.I!.圃到二峨i耽岳阳检训结构蹄电器ft:的试验J:fr1(资料.rl:附武)附耳t:8.,.;.矗.晶.iI-.,.画面.1:11.矗矗.!I.!I 圳、部!如刷刷Lk1:业:变fiiilf句(检i1位晤)付的t!;由点例附jJkB(资丰忖1:附录).11.!I
4、.;联于帕1且11ji(Parif4定悴阳韦伯飞V町h(资料科1附注)附二Er 飞J表达式13.!I.l1li.41.if1r.事.咱.唱.;jI唱.t .111.嚼iJI;.1l1.-lt 分析/r例附录T)(资料性附社)1矗.iI圄.矗.,.晶iI.矗晶.矗.J.,.矗.!IA.!I.矗iI .矗.画矗画,.咽唱嚼.噜噜非.唱唱!t.唱唱咿喃喃l申.,楠.,.喻.ii.啡.喻啡,!t.嘈l咿嘈唱唱申.争唱参与立;献目。.-1,;:fij i1-r tJ蓝!r!(;B/T L 1 200日抬出的地则扭申fi-际HtI I全间由tJLI也技1之际J11:他技术垂员金山,C/TC:13ti)1提
5、山月二归r;斗丰t妇际-i惟仕起草单位:J且七在大兰丰学F苦.、J川l叶中F布1阳公i函可橱;i江二1工1悼哗i币F柏峦相机Lt摊戒有有.阳f公i函J叶中IJ北t大乙学、J矗-J比t,山i江七?必旦岛、包曲创创rr剌科剌回技股附?丹tt布ff限i咀且公i司4盯(i8/T 38447-2020(际ift主22起草人:张盹、张业峙、于脏搓、陆学贵、1二悦飞百五;庄、7jElji告城、理j鱼牙|:、周i击耐、阳if且i巳口范固做机电系统(MEMS)技术MEM,S结构共振擅劳试验方法GIT 38447-2020 A(何.iff胡J走了MEMS站向共姆拉开出验的民验Ji洁.包捐世梅、出验J1峰、样117
6、1要求、民验提问:如试盼步骤古丰的a,j孟JTJT,MEf1S结构的J振;性好凶验口,2 规范性引用文件F 91J立ft-:.J于丰立:1f:的!自11!HJ董必不可少的。凡是tt8-1町的rJl用直11:咽仅tt日期的陋4(适用于丰立;1暨凡是不jt(3 剧的叫阿l立1tt咒拙和i版小(包括所有的悔改咱1.)适用于本立理6日/T2298机慨据功、rfilj.Lj收态监则问i3.3,I 3画23.,3 4 4.1(ltT l)d2:3 金属材料h学性能试验丰ifi-;B.,oT 2611 1 f世机电系地(MEMS)技术术的术语和定义Gli/丁229日、r;B丁ltjd251、GHJ丁2h1
7、11界定的以及下乡IJ-*i吾fUj;主义边用于本X;1啊?载荷比load ratio 间;即i加战中赴大直fU挝小陋的ft数比口嗣时砸碎强度ins(anta:neollls faUure:strength 静在i式辑或共缸据功试耻在快速幅植增长过程中的脏问;强!主?磐考强度r时世陡e臼-咱r,咄CI世!st fl附世削n吨B咆且t由h B 静:态企缸i强!度芷E戒且瞬时破坷盹;i强虽!度芷口lit睦方法且则通过时样Iitz随力uf!Uj掘功制陋的共振振t;VJ进行拉开出验B二吁样JljfIJ尖址旦旦达到币1宜的出验时间卫ItX挫H,.J.l式验结束哇44z i式瞌设备4.2.1 相E撞.Jt
8、l,院世括自E略.lbt:捡站的产,q.:,恒宽酝刷刷皑EE!阳i丰的提功拮试验系统It 世撮fi 古撮恬!晶fi(以F试验系fTt极i¥J-n r¥I 1 J9f 7l t!CiO/T 38447-2020 词;同f专感器人控制;出lui-*:仪器好lh n._,.,w品州/f试耻部悦撒缸里昂 措提悻J卤黯居制黯摒幅刊1,蹭且在irli是酷i式瞌军娃框固固1撤据器4矗2.2础缸器能lE,f币)i111上ZJHilvt施加一定脏幅有l顿平的脏高JJ,可业用不I.J种类的激脏器-例如lt l址、问:tujhJ税!-h畸洒缸桦呼口撒际制也可安!ifiTE样IlllEIE n 拮据传醒器4.2.3
9、J告提任感情能略测世样品的运功以1阳市样品鼠聪击U()J的际制巴控制器4矗2.4自夕IJJ主制器可t制;前缸器产tIEi骂J圄L1 f:r-但EEJ辰高共J1i,提iijj12根据样品的报191特卡t匾果用h-11二:根拙作感器测!ITIE号的变化确在出1防部位1甘共陡峭;j在,通过闭llt-t:!路维持共闭fT回路i去缸l率口t)JF J11拉1J1:去一一咀;ill;曲时iJ验部位咽J:l 的片艇制率平H缸荷信号幅度下试验d-tEtk个试验中噜顿平和1幅度的隐:E件山罪持tE斤r;fu隘的一1月 内理、EMar-且FJ 记录仪器4.2.5 记录阻器时于监测有|苯fli凶验散it!.-或;皮
10、1日ilffl全是口试瞌耳瞌4.3 跑!主215吃315飞:相l,J制度:2014Roy;z大气HiJ:86 kPl 10(1 kP,a口样晶l要求4.4 共据特性4.4.1 样fllf.J.飞t1t,!;下.由苟且也J去ili于国茧的j飞tJt(阻式GIT 38447-2020 4.4.2 试验部位,吁达到一定正;L,JuJ.样品有一个出验主liik去叶也Jt快娃司4.4.3 样晶制|备fFNl i|it晶Ji法lhit与ffjTi平11口际的IJ监ji法制阿飞且阿青的班机JtfFll结构也相同凹样11171应能将一个恒定的、,it挡的酝i脑通过共括胞hufU ii验部位1-.n 柯:tih
11、中可阜成-1、机帧主ilifiJ-H1于1前tkEE检测柯:ilatitJK幅i:1附JRa人的儿l拮ibf一种用于由艇和检测振帽的样品z附录B的It,.lfft tll了非Ifi.JTJ T检i1脏帆的怦IH口4.5 it:验条件4.5.1 试验报幅.A,拉t1i(嗣HZtlf样品的参与强度确在口参与强匹i国过-1.1-;.1的iil确定=在试验过再中矗可ffj下叫h?t;之z确在kt验括嗣:a)10。刘事号强度的恒注:振htit 在一在jk韩-fi平估收好布命;b)从一个的ift坡的艇。ii遥渐降低:在lt.;tJi n ut.-lJ内航向性刊Ilh,;()吁样品的敬f拉布阳峪;电l获得s
12、-N 1-111全是时啡从一个低情组的据中币2呈阳增加2洼t畔fiIFJ的桂芳rht聪f,it HJ分町-穿吐附;t!C.fJ:ft 1人食!trJj材料wt量的汗细fI且费hl(:I T:.?I1 ii G 在1)和C)Lt.L.监挺幅降fIEEE增加(J9Jm宜优先选蝉接近于训。址在号强!芷IfH脏申目的际准怕是E4.5.2载荷U:试验ii去的战前比J一11e 4.5.3 握动频率#民tJJ!帧卒主llit 嘘自;,立在共振盹2t下的时l率.X主近它的啦!串串4.5.4 撞形在1号iE实际;皮形怕出下,样品的fjt路:jI旧书l试验都性的应J、应变的il形UIM只1 r.弦;jIn4.5.
13、5 试验时间试验时间勤地在时间或样品的失坡IJ,Jrr可E制tEt辰41顷正在.nJ通过试脆插到iilk;监响远出j监叫IHJ口车l于寿命iJl阱半尤-足的材料.加1it.选开W验帽Jftx散件均实际情ft的出)JJhJ1.参见附;J.tC 4且过验步骤4.6.1 副量事考强匮用于iRt咕番号强度的柯:品,采用吁民验捕;ik杭In1的时料fU.J乙;Itll成咱n*使用小同形状的样品u.J.样品表现山与试验剖ilk相同的失她用式,并号lBiMHifE员出的尺J品放山口riJ ffJ-F刑试验之一确Et?参tE强iIE;(1)静态出验一-1协在出验E|.iH11it的砸坏强l主即h参与强!盘。h
14、)瞬时4应付出验一瞬fN桂先二出验中hfti大提刷刷的414jE;电卷与制度占当1M难脏11一个小同)巨收的样品卫坦难以施1m静态盹载时啕nJ使用瞬时桂芳izti民lifjt胞lJn共振!阳l半的提嗣畸井植酝幅迅速.1 CiO/T 38447-2020 上升至样lvl尘放白c)陆111或理论什析一一?可甩出嘘的方法难以确定参号强应叫.nJNJU股拙1!XJ.论忖i嗣定参与强度.样品达到断割强度H挝大-l1.)下的甜、1芷J参与在liiE口鉴于脏rj:材料缸l单-llfil刑二)的强度jE化大,使用试腊的i-i圭i圳市举号强度nt白:在碍不少T10ft样品的强!芷挝据.井呆I-U筑|-学址血Ji
15、i主;1!f.IJ苦苦强!芷且1:1标准拙差口4.6.2 剧量样晶的共据特性通过啦!平呐hif.,u歧视机在共t辛苦.n咀过EEiBt器拉;BOi胜报器产生ktl骂Jl矗井在:JUj型的共艇特性问Irr扫4阴阳找到3EFtitit共振13!半口在i在l响应试验巾施.JJU的归战山且略小.以崎岖披好凶险-1受器n户l口如l果i主影响.-1能被思略.宜将此响应试验中施加l的创战情J1X散舔如n到坡好试验数据中F吁样1日1剧1控制服之间古?在剧-jj-fr.J母共脏特性去世(J:_变化1;1:ifI1IJ _1It:!f?-j1样品173JEt辰特flfa4.6.3 舰重幅值增长率挂上5,llNFi
16、沾边样:扫jkff施加战向井规定幅画剧增it率=4.6.4 i:置奏曲和过程监刮趾it共脏;刷幸、韧J!f.脑lUI战荷以及临i阻;增l主率进行t验t在试验过缸qnJ通过边结监测样品的振411杭志(tEZJJMj f非平Ui/!X:辰帕险iml品的:k址。在京垃?吐白监iJJ功能时啕可通过在一定的叫闷闷嗣停止搜击战验并if j:;盼!率响山试验过们监视11 4且.5i式瞌蜻束判定当i样AFI央边4顶在的1JU战iJ.JIRJ已完成,回IJ出验站*司出现以下悄咀之一.till山阳r品!J注:她:a)iJ=:.,脸部fl(断裂zh)振嗣变化扭过现定的l丁廿比:()掂ZJlJti字,变化扭过现廷的百
17、分比n4.6.6 盟据记景1;1记录凶验叫LJ童的温庄、中H川泪臣、大气压力、,tr品在试验过程中特定lH-rFj fFrJ嗣叫j:,t晨lVj制由和jl陆卒以及样品失地时间=4.7 试验报告出验!ll,t包插U限于阳下信息l(.J 执行际咐:b)样Jqz材料:U 样r11a作打出租l细节zd)样品的形状刷尺IJ:的民验fi)在:f)试验民自tzg)出验主与11:;,试l聪结果bGIT 38447-2020 附景A置料性附录)集成2眼睛言和检测结构静电器件的i.it验示例.l 样晶样l品I I菜:性班同验fji构和,.i1:划!tt单|i1111时制作n扇恬质卅块制成,相11¥1.t.1 J
18、i,r 耳目忡堆的一端问道而:质iIfJ:hJJ.yj一喘问:年tli衬JtJ.:.;静11!梳齿酣括1m,庄挡在lftrt J免上,:4忡i在可发-J-:随i内的可rh,冉l质il-I:块址:陆的愤l岛电脑可输lii与拉格1JX比例的信号.井口.质flf块的刷降标出i可通过!Fi;性陆投lH 1111 于民验材料用于静IU耶-dj于i.传感器,出验材料).)导Il!.材料口样品的共际相半rII!:=tt块的ftifktE相案件梁的抗挠ri(度决定口111T样品拮构厚匪的平均生J啡试验都悦的!自j内脏411菲丰共脏相!平了i:18475KFfz;31)Jl kHz之间口哥于I:阵响!业;914
19、11lT矗1119|白iiJ号j111战主前提HEI1f共振揣在大气环J是巾的Qfi约沟371)E11丁增加共振府的Qf且.J日要IJI恤的1.艺去除了JE脏器材!虑的挝忧民r在(一!叶的J内振础之外,在附近的帧平ll,下|内jkff检测到Jt他的iFtt辰峰町wt住在|由内*功盹.rtP的尚有明!半进行4|固A.,l样晶的显撒固悔tr监剖lItli if可f-f且应lllIAIN-EE3011m.宽l!5/H11日)lli捕民的l(Ilr古Dl:ffi.J此.闹过去!面ihE靠在Ij国.lJn 1:.而成,丹阳内吁r1IlJfj时侧即表曲的山JJnJtf去导业生-娃。:1-J1 ii与|在倒
20、卧丧由小平?旦旦i成的EEE向电通过k:量。阳剖h步骤进口侧目史#化:0d I于叫起生她的tli.J.1斗会fl仪hn战可14ifft-115结构的出辑部位中,在试验部位一侧的中间J|人一个iltIn深的ftH:导梢的f!端是一-个半仔Y:111.5ftni的半|面1.7I-且用有)已手段估计了!但)J Jl qJ;I,,A.2 试验设备11 i T i.敢提4日险if!古胸描写二r&1r样品巾守;句悴JTz地11n共振的世话lXr I 电路fHi成咽验出梧的框罔生ul引八JF斤H样,fH I I江t医院式散槛隘mCiO/T 38447-2020 样品提蝠Il!崎握握器t;瞄嚣i咀GjJ黯白E
21、耐用!量控制翩咱F:电JK转化酷据苗融fE监控器在考据帕面制抽幅事蛐出时槛嚣电脑控制圄A.2出验设备框固J 井ft工作.可t1J件事试验吐白tp叮!HmFH IUBi?陋路人日J I包干扰EZEjq向艳富的t1iiiJ 然而jtli进行Jl.行Jt捡时.l!il合合I I T,j 11,-1-:同!j!丰的怦JF1选择忡j也小岳j1jj过f.路ff号i间想IFt出id号的1J.i隔fU阳f;t.实现日愤挺高的11btE啦!司jIA-号酷古jlf_闹;肯放大器放大后11日战至阳也随齿躏括部G白?Et际i革时如:司11.-号的tUHiTE11,11=20V1PMl=MVE-咀j立削illHii:与
22、1-t!阳也挥梅到样品的。-胳l1li辄L使用也前此大器和与角度位甜i古IOC lt例的t-l!f自号洲世柿齿也在4振啊11,nJ.l 1cl1 f 11!f_阳怪i卖1|l阳路标!蓝得到.J主样能略舵捕;电信号臼用现干j)ift/ff应jntdiM辑军民耻部f;lI的J不过在于巳剧的团-i武块也恪角度.tU有限J(廿析的i7,主可估计11U抖旦出嘘Zfitk的jJditJj过-JIU战白描l寄电踹-样品在共tEJ阳!半下提功团均由样l品的位阵在恒EEid.臼马/1增益控制(f(;C)趾箭在缸葫i!峙中建立f样品的缸帕吁11 I软件投制.川江、的参与tt!ffi吁flpt!U画院1rJ:铀il
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