GB∕T 38447-2020 微机电系统(MEMS)技术 MEMS结构共振疲劳试验方法.pdf

I.CS 31.200 L 55 中华人民只和回国家准(;B/r 38447,-2020 微机电系统(MEMS)技术MEMS结构共振疲劳试验方法Micro-electronlechanical systent te,chnology-Fatigue testing lethod of ME如fSstructur1 e using re.sonant vibr,atJon 2020-03-06发布国家市场监督管理总局串告国家标准化管理委员会叩2020-.07-01实施次自38447-2020 GO/T IIJ，.,.!liilJ.1.tIi.曲曲l-ii n 矗矗矗.矗iI，.矗iI.矗.L.，.矗.矗.，画.矗.晶.矗iI.iI ,.Ii矗iI.矗画晶矗矗.晶a矗.矗.矗ilJ.矗.矗.晶.iI.晶.现iEfkzj|JH豆叶q:.-.咱.E.唱.术i岳阳在义电万.iI F!III!.帽酬.膏嚼.iI!liI.!I.iI+.警.I!.!lI.!I.!I-.I!.iI.!II btq生.h去a.ill.矗.iI.画晶.I，.iI，.总UJ矗.矗.，.矗.矗.晶.iI.,.矗矗晶.，.+.ill.晕.出验设指4.I 试验到;j在442).!JI!.圃.嚼.iI.,.I!.!I.!I.1.iI.of:.帽.画.誓.!I.圃样fVT置;二1,3。咱.楠.幅.争.叫.旨曲神t.唱唱咖啡叫I.咽.唱非噜非叫啡咱.唱l咿.唱中帚叫田辙叫幢咂咱争神争争非噜.咱悔唱唱t噜帚叫i.唱唱b叫非啦晴啡钟.唰l试验条fl4 哩咀q i且可试验)骤d冒A.1.,._.1._._ 试验报:1i-K忡咀EZ-1.7 4 F.!III!.，.曲.骨喃喃.!I.!lII!.j.面.II!蝠.蝠.匾.圃.疆.画.!.!I.!I.!I!I IJII!.I!.圃到二峨i耽岳阳检训结构蹄电器ft:的试验J:fr1(资料.rl:附武)附耳t:8.,.;.矗.晶.iI-.,.画面.1:11.矗矗.!I.!I 圳、部!如刷刷Lk1:业:变fiiilf句(检i1位晤)付的t!;由点例附jJkB(资丰忖1:附录).11.!I.;联于帕1且11ji(Parif4定悴阳韦伯飞V町h(资料科1附注)附二Er 飞J表达式13.!I.l1li.41.if1r.事.咱.唱.;jI唱.t .111.嚼iJI;.1l1.-lt 分析/r例附录T)(资料性附社)1矗.iI圄.矗.，.晶iI.矗晶.矗.J.,.矗.!IA.!I.矗iI .矗.画矗画,.咽唱嚼.噜噜非.唱唱!t.唱唱咿喃喃l申.，楠.，.喻.ii.啡.喻啡，!t.嘈l咿嘈唱唱申.争唱参与立;献目。.-1,;:fij i1-r tJ蓝!r!(;B/T L 1 200日抬出的地则扭申fi-际HtI I全间由tJLI也技1之际J11:他技术垂员金山，C/TC:13ti)1提山月二归r;斗丰t妇际-i惟仕起草单位:J且七在大兰丰学F苦.、J川l叶中F布1阳公i函可橱;i江二1工1悼哗i币F柏峦相机Lt摊戒有有.阳f公i函J叶中IJ北t大乙学、J矗-J比t，山i江七?必旦岛、包曲创创rr剌科剌回技股附?丹tt布ff限i咀且公i司4盯(i8/T 38447-2020(际ift主22起草人:张盹、张业峙、于脏搓、陆学贵、1二悦飞百五;庄、7jElji告城、理j鱼牙|:、周i击耐、阳if且i巳口范固做机电系统(MEMS)技术MEM，S结构共振擅劳试验方法GIT 38447-2020 A(何.iff胡J走了MEMS站向共姆拉开出验的民验Ji洁.包捐世梅、出验J1峰、样1171要求、民验提问:如试盼步骤古丰的a，j孟JTJT，MEf1S结构的J振;性好凶验口,2 规范性引用文件F 91J立ft-:.J于丰立:1f:的!自11!HJ董必不可少的。凡是tt8-1町的rJl用直11:咽仅tt日期的陋4(适用于丰立;1暨凡是不jt(3 剧的叫阿l立1tt咒拙和i版小(包括所有的悔改咱1.)适用于本立理6日/T2298机慨据功、rfilj.Lj收态监则问i3.3,I 3画23.,3 4 4.1(ltT l)d2:3 金属材料h学性能试验丰ifi-;B.,oT 2611 1 f世机电系地(MEMS)技术术的术语和定义Gli/丁229日、r;B丁ltjd251、GHJ丁2h1 11界定的以及下乡IJ-*i吾fUj;主义边用于本X;1啊?载荷比load ratio 间;即i加战中赴大直fU挝小陋的ft数比口嗣时砸碎强度ins(anta:neollls faUure:strength 静在i式辑或共缸据功试耻在快速幅植增长过程中的脏问;强!主?磐考强度r时世陡e臼-咱r，咄CI世!st fl附世削n吨B咆且t由h B 静:态企缸i强!度芷E戒且瞬时破坷盹;i强虽!度芷口lit睦方法且则通过时样Iitz随力uf!Uj掘功制陋的共振振t;VJ进行拉开出验B二吁样JljfIJ尖址旦旦达到币1宜的出验时间卫ItX挫H，.J.l式验结束哇44z i式瞌设备4.2.1 相E撞.Jtl，院世括自E略.lbt:捡站的产，q.:，恒宽酝刷刷皑EE!阳i丰的提功拮试验系统It 世撮fi 古撮恬!晶fi(以F试验系fTt极i￥J-n r￥I 1 J9f 7l t!CiO/T 38447-2020 词;同f专感器人控制;出lui-*:仪器好lh n._,.,w品州/f试耻部悦撒缸里昂 措提悻J卤黯居制黯摒幅刊1，蹭且在irli是酷i式瞌军娃框固固1撤据器4矗2.2础缸器能lE，f币)i111上ZJHilvt施加一定脏幅有l顿平的脏高JJ，可业用不I.J种类的激脏器-例如lt l址、问:tujhJ税!-h畸洒缸桦呼口撒际制也可安!ifiTE样IlllEIE n 拮据传醒器4.2.3 J告提任感情能略测世样品的运功以1阳市样品鼠聪击U()J的际制巴控制器4矗2.4自夕IJJ主制器可t制;前缸器产tIEi骂J圄L1 f:r-但EEJ辰高共J1i，提iijj12根据样品的报191特卡t匾果用h-11二:根拙作感器测!ITIE号的变化确在出1防部位1甘共陡峭;j在，通过闭llt-t:!路维持共闭fT回路i去缸l率口t)JF J11拉1J1:去一一咀;ill;曲时iJ验部位咽J:l 的片艇制率平H缸荷信号幅度下试验d-tEtk个试验中噜顿平和1幅度的隐:E件山罪持tE斤r;fu隘的一1月 内理、EMar-且FJ 记录仪器4.2.5 记录阻器时于监测有|苯fli凶验散it!.-或;皮1日ilffl全是口试瞌耳瞌4.3 跑!主215吃315飞:相l，J制度:2014Roy;z大气HiJ:86 kPl 10(1 kP，a口样晶l要求4.4 共据特性4.4.1 样fllf.J.飞t1t，!;下.由苟且也J去ili于国茧的j飞tJt(阻式GIT 38447-2020 4.4.2 试验部位，吁达到一定正;L，JuJ.样品有一个出验主liik去叶也Jt快娃司4.4.3 样晶制|备fFNl i|it晶Ji法lhit与ffjTi平11口际的IJ监ji法制阿飞且阿青的班机JtfFll结构也相同凹样11171应能将一个恒定的、，it挡的酝i脑通过共括胞hufU ii验部位1-.n 柯:tih中可阜成-1、机帧主ilifiJ-H1于1前tkEE检测柯:ilatitJK幅i:1附JRa人的儿l拮ibf一种用于由艇和检测振帽的样品z附录B的It，.lfft tll了非Ifi.JTJ T检i1脏帆的怦IH口4.5 it:验条件4.5.1 试验报幅.A，拉t1i(嗣HZtlf样品的参与强度确在口参与强匹i国过-1.1-;.1的iil确定=在试验过再中矗可ffj下叫h?t;之z确在kt验括嗣:a)10。刘事号强度的恒注:振htit 在一在jk韩-fi平估收好布命;b)从一个的ift坡的艇。ii遥渐降低:在lt.;tJi n ut.-lJ内航向性刊Ilh，;()吁样品的敬f拉布阳峪;电l获得s-N 1-111全是时啡从一个低情组的据中币2呈阳增加2洼t畔fiIFJ的桂芳rht聪f，it HJ分町-穿吐附;t!C.fJ:ft 1人食!trJj材料wt量的汗细fI且费hl(:I T:.?I1 ii G 在1)和C)Lt.L.监挺幅降fIEEE增加(J9Jm宜优先选蝉接近于训。址在号强!芷IfH脏申目的际准怕是E4.5.2载荷U:试验ii去的战前比J一11e 4.5.3 握动频率#民tJJ!帧卒主llit 嘘自;，立在共振盹2t下的时l率.X主近它的啦!串串4.5.4 撞形在1号iE实际;皮形怕出下，样品的fjt路:jI旧书l试验都性的应J、应变的il形UIM只1 r.弦;jIn4.5.5 试验时间试验时间勤地在时间或样品的失坡IJ，Jrr可E制tEt辰41顷正在.nJ通过试脆插到iilk;监响远出j监叫IHJ口车l于寿命iJl阱半尤-足的材料.加1it.选开W验帽Jftx散件均实际情ft的出)JJhJ1.参见附;J.tC 4且过验步骤4.6.1 副量事考强匮用于iRt咕番号强度的柯:品，采用吁民验捕;ik杭In1的时料fU.J乙;Itll成咱n*使用小同形状的样品u.J.样品表现山与试验剖ilk相同的失她用式，并号lBiMHifE员出的尺J品放山口riJ ffJ-F刑试验之一确Et?参tE强iIE;(1)静态出验一-1协在出验E|.iH11it的砸坏强l主即h参与强!盘。h)瞬时4应付出验一瞬fN桂先二出验中hfti大提刷刷的414jE;电卷与制度占当1M难脏11一个小同)巨收的样品卫坦难以施1m静态盹载时啕nJ使用瞬时桂芳izti民lifjt胞lJn共振!阳l半的提嗣畸井植酝幅迅速.1 CiO/T 38447-2020 上升至样lvl尘放白c)陆111或理论什析一一?可甩出嘘的方法难以确定参号强应叫.nJNJU股拙1!XJ.论忖i嗣定参与强度.样品达到断割强度H挝大-l1.)下的甜、1芷J参与在liiE口鉴于脏rj:材料缸l单-llfil刑二)的强度jE化大，使用试腊的i-i圭i圳市举号强度nt白:在碍不少T10ft样品的强!芷挝据.井呆I-U筑|-学址血Jii主;1!f.IJ苦苦强!芷且1:1标准拙差口4.6.2 剧量样晶的共据特性通过啦!平呐hif.，u歧视机在共t辛苦.n咀过EEiBt器拉;BOi胜报器产生ktl骂Jl矗井在:JUj型的共艇特性问Irr扫4阴阳找到3EFtitit共振13!半口在i在l响应试验巾施.JJU的归战山且略小.以崎岖披好凶险-1受器n户l口如l果i主影响.-1能被思略.宜将此响应试验中施加l的创战情J1X散舔如n到坡好试验数据中F吁样1日1剧1控制服之间古?在剧-jj-fr.J母共脏特性去世(J:_变化1;1:ifI1IJ _1It:!f?-j1样品173JEt辰特flfa4.6.3 舰重幅值增长率挂上5，llNFi沾边样:扫jkff施加战向井规定幅画剧增it率=4.6.4 i:置奏曲和过程监刮趾it共脏;刷幸、韧J!f.脑lUI战荷以及临i阻;增l主率进行t验t在试验过缸qnJ通过边结监测样品的振411杭志(tEZJJMj f非平Ui/!X:辰帕险iml品的:k址。在京垃?吐白监iJJ功能时啕可通过在一定的叫闷闷嗣停止搜击战验并if j:;盼!率响山试验过们监视11 4且.5i式瞌蜻束判定当i样AFI央边4顶在的1JU战iJ.JIRJ已完成，回IJ出验站*司出现以下悄咀之一.till山阳r品!J注:她:a)iJ=:.，脸部fl(断裂zh)振嗣变化扭过现定的l丁廿比:()掂ZJlJti字，变化扭过现廷的百分比n4.6.6 盟据记景1;1记录凶验叫LJ童的温庄、中H川泪臣、大气压力、，tr品在试验过程中特定lH-rFj fFrJ嗣叫j:，t晨lVj制由和jl陆卒以及样品失地时间=4.7 试验报告出验!ll，t包插U限于阳下信息l(.J 执行际咐:b)样Jqz材料:U 样r11a作打出租l细节zd)样品的形状刷尺IJ:的民验fi)在:f)试验民自tzg)出验主与11:;,试l聪结果bGIT 38447-2020 附景A置料性附录)集成2眼睛言和检测结构静电器件的i.it验示例.l 样晶样l品I I菜:性班同验fji构和，.i1:划!tt单|i1111时制作n扇恬质卅块制成，相11￥1.t.1 J i,r 耳目忡堆的一端问道而:质iIfJ:hJJ.yj一喘问:年tli衬JtJ.:.;静11!梳齿酣括1m，庄挡在lftrt J免上，:4忡i在可发-J-:随i内的可rh，冉l质il-I:块址:陆的愤l岛电脑可输lii与拉格1JX比例的信号.井口.质flf块的刷降标出i可通过!Fi;性陆投lH 1111 于民验材料用于静IU耶-dj于i.传感器，出验材料).)导Il!.材料口样品的共际相半rII!:=tt块的ftifktE相案件梁的抗挠ri(度决定口111T样品拮构厚匪的平均生J啡试验都悦的!自j内脏411菲丰共脏相!平了i:18475KFfz;31)Jl kHz之间口哥于I:阵响!业;91411lT矗1119|白iiJ号j111战主前提HEI1f共振揣在大气环J是巾的Qfi约沟371)E11丁增加共振府的Qf且.J日要IJI恤的1.艺去除了JE脏器材!虑的挝忧民r在(一!叶的J内振础之外，在附近的帧平ll，下|内jkff检测到Jt他的iFtt辰峰町wt住在|由内*功盹.rtP的尚有明!半进行4|固A.，l样晶的显撒固悔tr监剖lItli if可f-f且应lllIAIN-EE3011m.宽l!5/H11日)lli捕民的l(Ilr古Dl:ffi.J此.闹过去!面ihE靠在Ij国.lJn 1:.而成，丹阳内吁r1IlJfj时侧即表曲的山JJnJtf去导业生-娃。:1-J1 ii与|在倒卧丧由小平?旦旦i成的EEE向电通过k:量。阳剖h步骤进口侧目史#化:0d I于叫起生她的tli.J.1斗会fl仪hn战可14ifft-115结构的出辑部位中，在试验部位一侧的中间J|人一个iltIn深的ftH:导梢的f!端是一-个半仔Y:111.5ftni的半|面1.7I-且用有)已手段估计了!但)J Jl qJ;I，,A.2 试验设备11 i T i.敢提4日险if!古胸描写二r&1r样品巾守;句悴JTz地11n共振的世话lXr I 电路fHi成咽验出梧的框罔生ul引八JF斤H样，fH I I江t医院式散槛隘mCiO/T 38447-2020 样品提蝠Il!崎握握器t;瞄嚣i咀GjJ黯白E耐用!量控制翩咱F:电JK转化酷据苗融fE监控器在考据帕面制抽幅事蛐出时槛嚣电脑控制圄A.2出验设备框固J 井ft工作.可t1J件事试验吐白tp叮!HmFH IUBi?陋路人日J I包干扰EZEjq向艳富的t1iiiJ 然而jtli进行Jl.行Jt捡时.l!il合合I I T，j 11，-1-:同!j!丰的怦JF1选择忡j也小岳j1jj过f.路ff号i间想IFt出id号的1J.i隔fU阳f;t.实现日愤挺高的11btE啦!司jIA-号酷古jlf_闹;肯放大器放大后11日战至阳也随齿躏括部G白?Et际i革时如:司11.-号的tUHiTE11，11=20V1PMl=MVE-咀j立削illHii:与1-t!阳也挥梅到样品的。-胳l1li辄L使用也前此大器和与角度位甜i古IOC lt例的t-l!f自号洲世柿齿也在4振啊11,nJ.l 1cl1 f 11!f_阳怪i卖1|l阳路标!蓝得到.J主样能略舵捕;电信号臼用现干j)ift/ff应jntdiM辑军民耻部f;lI的J不过在于巳剧的团-i武块也恪角度.tU有限J(廿析的i7，主可估计11U抖旦出嘘Zfitk的jJditJj过-JIU战白描l寄电踹-样品在共tEJ阳!半下提功团均由样l品的位阵在恒EEid.臼马/1增益控制(f(;C)趾箭在缸葫i!峙中建立f样品的缸帕吁11 I软件投制.川江、的参与tt!ffi吁flpt!U画院1rJ:铀ili控制n如果脏iJ)拉制rt!盹AGr的脏制设itf自迅速增JJU111于高Q(r:导致帆ht谐脏的延迟nJ能去破坏t辰1骂的状在n4|ifai缸缸iJJtE几|-3草种rdJf吁:.并且几毫在Jrilit验;而;jti:I!lTtE帕过大失就芒为防止上述现挚，fllf士i(C 嗣tr:i f拌机的拉削iJ也过10且哎tl:增长号j主种hzit导班也志脏7)1的EE帕增大，并且设民值442亏跑过过i4IflftE酝刷上1t-所币的时Frij与被击时间阳H:工作常141试验站果没有I刺眼的25响-使JU这种山1J母i沽.t-I!(且阵信号是被irJ1;目的输出(HIII于地-信号是抱定的E弦，样AAEI被fH世是屈;封(.t J而不会失地西吁试验剖L失地Uj.信号台商一个正弦荫的扭照中断Flk降临号的1)主形kfHtU;nn.J间内ff融机;皮附现i刚到.而长1日Jflg(il.胳信号吁在一定的问阳内11r.A(汇杭J!刑的脏嗣i己zt下来吾同u，.J j刚咐1l己录温!支平Ujr.n 1丁确定Jt再发牛尖她.已由tl1在幅的号肩il顷半的号通过眼敢出路程l!yi己录-ik口在些试验巾.在失散l瞬间的f:r阵信号吁被敢于25波器idi盖下北，(,c ll 1 r l.阵信号的突变轴发)，i.3 试验条件11 f于ft以测情tfp志强ri.:(E试验系统sll-样品的事-t后嗣通过削步的坡futi院确定在51阳镜下班察振制-阿边的位路是相同的j罹功!阳!中通过iSF1卒-电1i转拙器illJ恬;在l回丰bfj捡过程巾电!l91卒变化由于什醉卒(约2川Hz)的点小融ititdMJ段时间tl16日hiJ验过碍中.号怦itmh立置于描闹1!1J.r;的1内.嗣jEmJ飞土()矗l吃.烟叶洒自:YJ49745l纠z(i8/T 38447-2020 A.4 栩如l相好刊!thf且-imlM样品的共据朝i中niIJnt过程巾，撮功的酝阳阻持在1:fJL险的挝低振酬，叫下.同此可认卫1-1影响i式验鸟飞果=在栩栩。WJ问-测出所有:样品的共提!率-世有出现样lVIt民功的失嗷口CiO/T 38447-2020 附录B(置料性附录)外部咂动和集成庄重结构幢删位移)器件的it瞌示倒8.1 样晶样品111f.非阳机槌.J制i在.材料沟单lyi陆片结构在nr明B.I所tJ.:在迫个系统中-E世块被2个战l个梁支J芋.但帘)1二干行于衬Ilf古I且l上Ji(l 11:梁上Hi作l个陀的Il!阳，并tH1此事!fJi通l也幅古染的形丘吉导致ff:峨山阳的改变.fEY吕-咀且息J9i通电桥抽出哺|也日变化持测也格的变化E1&:岐电阻t负自酷性压幢trtl国幢电脚1l(正段性)lli敏电Il.(fl植11:)压蛐电阻(正幢幢JIW黯-Jt脏器样品pgt样，时，由量臂嚣b)现晴圆主:提!圄B1 样晶的结构试脸部位1f I单耐1时件向异性i掘出卖Jt!R形成。F随11也阳1制作在样品丧Ittl JTJ T脆illJJt-f品挺帆。面j立白制元分相i样iJz上hl大山)J:fn贡fh-t块平:ftif.路之间的共系剧也性刊f样品上IIJ:f吐大盹j通过恩斯恤l也恬蛐lll的电Hihfj11111人1iJ1=1 l 1)1.品;耻材料共缸器作:RJ-f机例-质情块班匹lnI1nlhltE|J nln1.11#JE O lJ nlm J个支持梁均主1长500nug缸2001inE，月12dfinE口iHtlftft品的jctt4lMi率).JS咽5KHz8，9KHzo且2试验设备试验设晶*班桂j￥In I￥I B,2 1f Jl 传感器集成在中FAiEI上如IJ￥1B.l J吁7f.一个多JJ!I-k I i!i胜vf悻作J，J散振器m样IV1111金属排壳封!在J非问走在!长也指J脏器二白JlJ振411it J:t!.1Jft载在共撮器上的1m速度k/)1,n 驱司Jt-I!路J烹制捕;通过UI路142月的输入.t1 11鸟在马Ijf自号.从而产1:.七t1F脏司L耳区司Ji高月111161阳邮电:tii.(PLL)控制10 通过fl iJJ增益控制电路15刮稳定提幅.:ll.I11 r I拌机i2JF:口J l fJL nJ 用于监测11 控制电路fl到的制国制与t!率成比例的电rr辅JliD吕王Ei主样的某垃并ft他ffl注意样品的安装FJ;1主1t匠司j特件合同其=支柱收在!而发牛;变化lJ了判定样Iittt培育失珑，i十:机再!声记录-i欠it路信号以及J!丰转化信号=1ijE幅制ltiL置在酶的24)PS-出验部且可散步IJ定Jf:记录已失地民(i8/T 38447-2020 样品示植睡l/l，):.黯掘j撞m悻榈蹦据油if也南器撮I晴锢剧r邮电路自Ji，fJI蛐晶控制黯事考制世i输出阳也也脑掉巾l固日.2世瞌设备方框圄8.3 试验条件J验在l10y-斗曰:击的苍-.i1f幅地l-t;l内进行口蝠事-11!lli，辑化器输出血事在同于1帧率下进行位好特忡i式拉白在1点也怕下较大的振帧内发I=.;U:坟t-.t:Jl 试验也以略低于共振糊中的lj!卒进行c出!J古时间:句口h(约10踊J.1lX散h样1日1I被盹盯在旧m1111可拉的ifiJ争室内温度2340飞士0.5QC.相-，ji!J JJ(5 0士1)/1.Ex.位置在西闭容器中Dbiz验时的是!:HZ 且)植用干船开1达到低jnI唁气1二下峙的唁气.;晶rrr2.U飞士。|J飞.相J市区(.3U土l)Mhb)j(流L.fIlI i，币u豆豆i气:币u主22.tT十忡.吨.柯r，J f!r I主(0,-)JI=c)通过层f白血的氨气流温阻23咽。(士。-5吃-相l叫i日ELZ(5t士)叫0B田4韧|盟。参号强度的i拥ltt可白i呵种hikn第一种k址是i静态时;验-在前;击dj飞拉下-随J豆叶!巨头fll在质fIttk中心话导失边可如三和11)/i去是通过W验设前边渐增Jln振嗣-fgiE亏fi:1 失边点FiIM且度v在;样品的JM响出验中.米自iJJ 甜的1古巴施加.tJ:散报-础上井.iJ.1 J r i!IJ h:1Ji(-i样品的共m顿平都被确定由此外，白握手H白宫fkflifHtu的lNfnJ内碰过j主战反愤IU，甜的样Iiill113jzU确认(约1fil l)曲CiO/T 38447-2020 附录:(查制性附录)基于帕里斯(paris)定律和韦伯(Wetbull)分布的性材料撞贵寿命理诠表达式应力和擅劳寿命的关票C.1:材料蝶旺i吁院型化均等现长度的裂挂矗盹lft料的坡好特irj可iIB过他n1Paris在律进行合理阳轩5通过随rnPflr起Ht.所谓的等地桂芳型过扩展J，ie nJ fi以干公式口t主1民币fj(Z-j J)lt，J畔的措苛轩仲的影响Jl应下述分ff叮ql陆与iEEGPan定nn.r(C.)所IJ=(1)立=(,，K，=(,I土豆I(1 1.)J f-j-J:;到蛙!C:J!.,QlFt,.斗是(nl):一一i踊ET;JK数:(，1利n.一一材料常敬:.:l.(二.JJ申I，iffi(.)J占ij强!蓝网散j!在nl.申.位沟把中白;拉开Ji(MPH.nl1;);K L 一-一断裂f:单JLLYJ先中内斗:.JF 1(MPa nl1二Lpr!比-搁H:于民验部证的J寸噜存放于拙。J的;裂桂!三度可阳也!).J 1M小噜而且山J强度问数理论上可按式(2)-t-蚌:a 八7k z h tz111 K一一应J强.!X网敬.单位:阳把帕;:-F.h(，rv1P.rn i);u一一裂撞lE匪hthfth Jtt(mh 一一裂主主形状相关系数z114139l2d2 g一一恤力ru ti)J同单位:印抱申rHMPa)如果到道长度相于试验部位且幢小噜系童tpl等她于主阳民物t年的表IfU到撞ttj主j此可被认:R1:是俑l敬白通过J):(I).帜什斗k好.j命，ifll施JJJr山)J厅之间的关系TlJi古it(rJt)1itJHLl一乍士的1l一的.(:2);r(:-3)凡7J1;tll t 盾J1，大黠z苟地间始到瞌仅j芷:一一静态强l主m平()ltJ#(l f1 Pa):材料7;f散zg 一一施加的山)J.吊1ii.fJ!qr1 .M P a)，n昔i主4tEfEflt代人jIJJL,(二凹的布瑞即可Jk1导栩刊.J山Ff0，占J强度问-敬口入1a.,.(1,.,(/,f1J.n 擅劳窍命分布(:.2 苦耐:77珩命也H式町，1)所启-依据等址和始裂挂长岖的变化-瞌好奇命的变化是可解释的E静;在眼气监-Id-1 1 GIT 38447-2020 型I(-1)匠的变化前阳吐血两季敬的VeihuU$-布，nJ-(.,1)Jr水:叶(:，rJF气:1 1.r:巾z崽扭-(断裂可能件:一-V f.i hll U军敬;(1一一尺度:李敬z(1二施加UI.)J.吁f.flf J-J，Ifi(1 P 叶，?11Parirq注f悖应用于i在什布u.J咽llU址剧fl:，1变.JTJ等地断裂什布普ftjkjJ-ti:山j施lJU了N次喧嚣职断裂可能性可按;二(;),)H-算:F.In。j1)/(2 K:1)2)-k71t,.!)i,r.l(咽F(IFFJjj I!F-:1 exp(、EFL配EF-a、，.飞JmE飞 amE 晶 唱.一 -晶):飞1ft:罩在u所幸:!可能件:问时;:31提氏度的Vt,.j IHlll分布jJ宜参散通过rnJt(.t)中的飞机.ihu 1，尺度参敬肌l替代1 tL)代人苇式(.2)得到的等娃型建f;J主J1 t一一山)J(J下史地时的每妓裂哇ltIEz一一型垃if34武斗j应系数z一-Veihull磊散z一一幢川的出J单位1 fl(r-.1Pa);恼jfiX数2(刷n一一一-，t-l常敏:断裂剧性矗l+l_位卫j扭啊L*开i(MPa.1I1 J):一一-11，l41 5!)2 6非唱飞F a 1。n 0.人?/(相蜡负盘查t应C.3;:.J-:y;惜EEi;式验，难以自1n-J J也世定帕值.fA_J辰剧!再11直在开始时iZ削增111-1I在这个章节;.J和jtft负战过程的t12lm向j业行了Vfli,=阳世l制度随舌帽邮政散吨件增I(啕见it(fjh.r-j:1 l。一-，t，:也力u的也J每单位JJE帕(MPn)l增长率常敬21屑J1)二敬，:;通过将该JthIAU lfj)ft人式(1).Jl进行啊!什.fm叫获得式(l门JlJT-去市中丽的恒定增加liJt，监m.(6)。-uU,.(tj,7)的，duM2(Ft十1)a,rl:1 T f t一一一.;-.-1 1 一II pfVJ;(-2-FIIFEt j j Att11:1 1;-fl Ji JJ a/下，(1史样品旺型的阳到6散;材料常敬z断裂it)J.单位J句拖帕(，MP山:一等现初始制擅长度:r t(fu n(1J a,i GB/T 38447-2020(1,i ，押在强应.ltl.f豆豆I也申ri(MPa)t.通过比较式(门白J(3).HJ封j导得到关系J:t见式(吕)ltN t主￥(十1)九.!叶1 Afr一一-在山JJ(1.下业样占11:破裂的循邮吹散zn 一一材料端敬zN 一一一市JJl吹鼓=(苟且)i主12睐fjl:柑IJ，M负辑期间山Hj的i前列l欠趾相当于r(J I-IF缸定制血栓好试验的11f/(11-1-1)，畸环ik敬E假陆共提JM率J.1()kHz刷I初始的就ntI可I 1 n,-20 fJ.J.放恼坪X敬只有501ikEGIT 38447-2020 附景置料性附录)分析示9If1)硅的植劳过瞌结果D.l 不理性扰的右现站的.，MEMS.结构ttl!f多种1;Jr，f料制iE=时JtJ于MEMSrlJ主业结构材料之一.在强度利l瞠吁吁ftTji而有1M大的嗣12，同其!f结构是用用证!自由和l干法1尚且h.hnJ.的口|￥J IJ.l耶FiiPr-捂SNIUI哎ft)幢幢JIF出盼ffi果的机例e敬屈从事个tll扭机构Jl!J且在手段制成*r1ft击目班前Ir-击币归一化坡好出验中的irijuJIIJ.根据l草制i盖I曾负载下的平均央主史山J(静:在目!frt)陆相l丧，r，尖放前(.tJ届环JK敬也一圃iqtw由da-zzd且叨吁白白白3nMV二EI-t配且AE-AEAHr-MAE+曹0-EE-且qtH电dd唱EdaHV吁UM-qdmMV二4-EEe-aa血矗晶晶飞V￥v电、u14哼xQE电气-:,.:-,0.-，、-+晶晶.-,咽亨气节l喧J叫;.吃+o x-:A平、ok.&A,T-)(X.6o 晶晶抽飞事皇It.也血.6xf也X 晶晶国且也6,a.&Jl Jl 面飞F争x VO亨回 v o。.A.皇晶!IJ 口1.4 1.2 L 0-。.8气由4也6，.。.4。.2107 I Or 0.0 I(YI 10:11 101 10节l伊u快IO l)JI 1 O 刊1:桶耳lX敬Iti兑lIij I.k 1 L=.:;1 k H:q 中lptZZIl 1 loO;:HJ 117.:吊lqt单iilIi l kH王飞-:si k H.:;单Iilll lilt)E(I 10飞10ILo:;.)1-1 k 117.:H k 117.:;单l日l?LIlt飞10 117.;t(tL WI I;飞、坠H7.飞l82 tll，;.i且1EEtHE5wrii单品23飞1 4 1+lMUUIEaH3如飞单t172Ejli1、24JI21611119r;1 17:11 I b 9tJ巳413.:;Hz II叫H!:J)f，.%单lft:31l3 Hl LliilIE:3it4 b:i J飞二1.0.飞单J 171)Ht 1 u It/，3E:LI uo Hz;相fi.lL rrt 8纠辜ILEt22飞!6 fllbj iUFE53i涩.231，D飞.)岳，(11 I(i I 0 勺:!;)O 1-11;阳耳ITM眩目o刊事lL1231Ihl hll Ir-!I),.l./JIOO 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