SJ∕T 11762-2020 半导体设备制造信息标识要求[电子].pdf
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1、ICS31.550L95中 华 人 民 共 和 国 电 子 行 业 标 准SJAT117622020半导体设备制造信息标识要求Requirementsforsemiconductorequipmentmanufacturinginformationtagging-09发布2020-04-01实施2020-12中 华 人 民 共 和 国 工 业 和 信 息 化 部发 布SJ/T117622020次s前言III1范围2规范性引用文件3术语和定义.4设计及原则.35半导体设备制造信息标识的6附录A(规范性附录)9ooSJ/T117622020言刖本标准按照GB/T1.12009给出的规则起草。请注意
2、本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别这些专利的贵任。本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(TC203)提出并归口。本标准起草单位:中国电子技术标准化研究院、北京七星华创电子股份有限公司、东莞市中镓半导体科技有限公司、北京京运通科技股份有限公司、中微半导体设备(上海)有限公司、北京京仪自动化装备技术有限公司。本标准主要起草人:冯亚彬、王海涛、赵力行、张立眉。oIIISJ/T117622020半导体设备制造信息标识要求1范围本标准规定了半导体设备制造信息标识的术语和定义、设计和原则、使用及相应的综合标签库。半导体设备制造信息标识包括半导体制造设备选择、安装、使用和维护时
3、需要的各种类型的技术和商业信息。信息类型包括操作手册/指南、安i除手册、发行说明、培训手册本标准的目的是规定信息的拷贝、印刷和方面再使用和再记,建立信总交木标准不的元素或者计划、备件/零部件清单、维修/故障排记 进 信 息 的 电 子 交 换 和 分 配、训材料和在线支撑应用互验证时所必需的标psWS的是规定文件电子交换yr是编写规范或电子演示规范。如何使用所定义2规 范 性下 列用于本文件。凡是不注ISO3术 语 和下列术语和定3.1属性attribu属性是元素开始注:幵始标签在数据B3.2一致性编写应用程序conforming一致性编写应用程序用于创建一致性文档。对于一致性编写应用程序的内
4、部工作是否符合半导体设备制造信息标识规定的标记不做要求,仅要求用于输出交换的终端产品应是一致性文档。3.3一致性文档conformingdocument一致性文档是符合半导体设备制造信息标识为该类文档规定的标记规则和特定信息模型的文档。某个应用程序创建的一致性文档应可在不丢失重要信息的条件下与其他一致性的应用程序进行互换。3.4致性元素conformingelement一致性元素是使用半导体设备制造信息标识为该类元素规定名称和标记规则的元素。一致性应用程序创建的一致性元素应可在不丢失信息的条件下与其他一致性应用程序进行互换。SJ/T1176220203.5一致性呈现应用程序conforming
5、renderingapplication呈现是可以让终端用户看见或者理解文档内元素的过程或方法。例如,在纸上打印文档,在屏幕上浏览一系列元素,或通过语音合成表述一系列元素。一致性呈现应用程序应可在不造成信息重大损失的条件下打印或显示一致性文档。呈现内容与原始系统的意图应该是一致的。3.6文裆document元素的逻辑集合,如果组合正确,即是传递内部一致信息的一种手段。文档由一个或多个元素组成,并且这些元素应包含在同一个“根”元素内。3.7文档类documentclass一个文档类由遵守一套标记规则的文档或信息片段组成,并且这些文档或信息片段都包含相同的元素和元素关系。通常,一类文档具有几乎相同
6、的结构并且内容类型相似。文档类通常(但不一定)按照结构模型(例如DTD或Schema)划分。3.8文档交换documentintcrchangc/exchange从一个一致性的系统向其他系统传递一个或多个元素时,通常以文档的形式进行,称为文档交换。3.9文档模型documentmodel规定某类文档合法标记的一套结构规则称为文档模型。文档类型定义(DTD)和模式(Schema)是文档模型的不同类型。3.10文档类型定义documenttypedefinition(DTD)文档类型定义(DTD)是一种文档模型或标记规则列表,可以在标准通用标记语言(SGML)和可扩展标记语言(XML)中使用。在I
7、SO8879中,DTD的定义为“由应用程序确定的某种特定类型文档的、采用SGML的标记规则。文档类型定义包括在文档类型声明中表述的元素类型、元素关系、属性及其他可以由标记描述的相关信息的正式规范。因此,DTD规定了符合SGML语法的标记词汇。”。3.11元素element元素是信息流中一段连续并且己命名的信息。通常,元素内的数据具有语义或结构上的关系。例如,一个人的姓、一个错误代码、一个外部数据指针、一个段落或一个包含若干步骤的过程。一个元素既是文档中信息的唯一寻址单元,也是文档外部信息寻址单元的标识符。3.12标记markup对于半导体设备制造信息标识,将加入到数据中为数据提供相关信息,并使
8、数据更具有可用性的额外数据字符定义为标记。本标准定义的标记为内部标记,该标记作为数据位于相同数据流内部。3.13非一致性文档nonconformingdocument非一致性文档是指未正确使用标记或者未遵守半导体设备制造信息标识规定的标记规则的文档。3.14标准通用标记语言standardgeneralizedmarkupIanguage(SGML)2SJ/T117622020标准通用标记语言(SGML)是一种定义电子文档结构和描述其内容的国际标准语言(见ISO8879:1986)。SGML是一种构建标记的元语言。3.15标签tag标签是符合SGML标准规则的一串字符(也用于XML和HTML)
9、。标签位于数据流中,指示元素的开始和结束。在半导体设备制造信息标识中,标签尽可能与元素名称匹配。3.16可扩展链接语言extensiblelinkinglanguage(XLL)可扩展链接语言作为简单超文本链接(例如HTML)和复杂链接的语法和语义,提供诸如多路径链接、多终止链接、基于结构从外部文档寻3.17可扩展标记语言可扩展标记语言(单、更简化、更容是包括链接规范接规范可以为获得授权也7(#。&在设计上比SGML更简JSSGML更灵活。XML其他规范。XLL链在本标准中既未仅包含SGML最常用的功语言族,在结构上可以包括如样式表文本链接提供S4设 计 及4 . 1信 息为 了:的,信|幵始
10、和|_pj元以及元醵照半娜备以下功能:i:说的关系应用程选择启动和限 制 条 件(生成如索引验证文档的结构妄标记达到如下目的:5IL织特定的元素进行再使用或交换;4.2SGML标准和XML建议语族半导体设备制造信息标识的S的是规定用于创建XML数据(按照定义,也是SGML数据)的规则和标记,以使这些数据在互联网和内联网中具有最大互换性和移动性。因此,在设计时,所有的标记和规则应完全符合W3CXML建议。规定超文本链接符合可扩展链接语言(XLL)也是为了达到上述目的。半导体设备制造信息标识的目的是创建符合XML要求及类型符合SGML要求的数据。采用SGML和XML句法编写的DTDs应符合SGML
11、的XML子集要求,不应使用XML所禁止的功能和语法,如异 常 和#CONREF属性。按照半导体设备制造信息标识产生的标记数据应是合法的XML。SGML编辑或者转换工具的初始使用者应与其供应商核实,确保在不做修改的前提下,这些工具与文档相适用。元素、属性和实体的名称在本标准的模块集合中应保持一致。当某些元素在不同的模块内可能有不同的内容模型时,所有的名称定义和使用在本标准的DTD组内应保持一致。这意味着命名空间问题(如按照XML命名空间建议编址)在木标准的范围内是不相关的。SJ/T1176220204 . 3交换要求半导体设备制造信息标识规定用于信息交换,而不是信息幵发(编辑)或信息演示(呈现)
12、的标记。因此,标记规则不包括在信息编辑或呈现中使用的某些性能和功能。例如,某些元素可能是必需的,但是对于这些元素的序列不做严格限制。所有一致性交换应遵守半导体设备制造信息标识所规定的标记和结构规则。4 . 4通用建模原则4.4.1文档(信息)模型可以命名元素,描述元素之间的关系以及设S标记或内容限制,并控制信息标记。4 . 4.2模型应采用SGML和XML文档类型定义(DTDs)的形式,也可包括XML定义的模式(schema)。4 . 4.3不存在全面的通用信息模型,每个DTD或其他的规则集合应针对特定元素或特定的文档类型进行建模。4.4.4标记主要根据所描述信息的本质进行设计,而如数据量和实
13、施容易程度等因素作为次要考虑因素。4 . 4.5DTDs应采用内容相关或结构相关的模块以模块化方式建立。模块化的B的是尽可能地利用已有的信息内容模型。只有在分析新的内容时,才应建立新的元素结构。4 . 5信息建模4.5.1元素类型SGML和XML元素可以识别多种类型的信息。在多数情况下,下列元素中只有一部分适用;但是在某些情况下,下列所有元素类型都是适用的。在设计结构和标记文档时,元素应按照以下类型的层次结构进行设计。只有当一种类型的元素不足以明确识别信息时,再考虑使用该元素之后的其他元素。内容元素一识别信息内容的元素,如聱告、程序步骤、零件编号、安装手册或物料清单等。结构元素一识别文档中某部
14、分的结构作用的元素,如标题、段落或列表项等。指针元素一指向其他位罝的元素,无论是在本文档或其他文档,例如对照索引、脚注参考或URL等。-格式元素一用于识别文档中的某一部分格式上有别于周围文本的元素,并且该部分没有内容、结构或指向元素可以说明,例如粗体元素。格式元素一般作为最后的手段使用,具有格式相关属性的内容元素、结构元素或指针元素比格式元素更可取。4 . 5.2元素命名DTDs中标记的命名应上下文一致。具有相同功能但可能在不同位置出现的元素应采用相同的元索名称,与该元素所在位置无关。例如,对标题来说只有一个元素,而不是对于章节标题、表格标题、图标题等采用各自不同的元素。在XML中,名称需要区
15、分大小写。为了与XML兼容,所有名称也应当区分大小写。(在SGML中,因为名称可以随时转变至大写,所以名称不需要区分大小写。)所有元素标签名称应小写。实体名称和属性名称可以大小写混合,也可以小写或者大写,以与名称的习惯用法相匹配。如无需考虑这些因素时,应采用小写。属性值一般应小写,除非有充分的理由采用其他形式,例如本身需要大写的国家代码表。4 . 5.3递归结构个元素内部可能包含一个或多个与其自身相同的元素时,有以下方式建模:3SJ/T117622020使用递归结构。(在递归中,一个元素可以包含自身。一个section可以包含一个或多个section,同时,这些section也可以包含sect
16、ion,以此类推。)通过对顶层和下层的命名创建明确的层次结构。(一个section可以包含一个或多个subsections,而每一个subsections也可以包含一个或多个,以此类推。)通过将顶层结构编号为“1”,下层结构顺编号为“2”,“3”等创建一个明确的层次结构(sectioul可以包含一个或多个section2,每一个也可以包含一个或多个,以此类推)。在这种情况下,应采用递归结构对元素进行建模,因为对于编写、编辑和数据重复使用来说,递归是最优的方式,可以在不修改section内标识的条件下把section从一层移动到任意其他层。4 . 5.4内容建模创建可最大限度重复使用并且与XML
17、兼容的SGML元素,不应釆用以下几种SGML建模功能:RCDATA和CDATA声明内容(元素和实体不能被识别的字符数据);“AND”连接器(用于指定需要连接的所有元素,但顺序无关紧要);内容模型的包含和排除;有害的混合元素内容。此外,内容建模应遵守以下规则:每个元素应单独声明;不应使用内嵌注释或空注释,只可使用完整的注释声明;外部参数实体的替换文本应格式良好,按照XML规范声明;不应使用实体类型CDATA、PI以及括号内的文本;DTDs中允许使用未标记的部分;外部实体应同时包括一个系统的和一个公共的标识符。4 . 5.5属 性每个元素的属性列表应独立声明。属性值不应包含外部实体的引用。如果声明
18、值不是指定列表,只可采用以下声明值关键词:CDATA(字符数据);ID(当前文档中元素的唯一标识符)IDREF和IDREFS(同一文档中指向其他元素ID的一个或多个指针);一ITY或ENTITYS(个或多个己定义的实体的名称)_JTOKEN或NMTOKENS(完全由名称字符组成的一个或多个单词)。在所有属性声明中,默认的属性值应是文字,并且仅可以使用以下默认值关键词:REQUIRED(必须出现的);#IMPLIED(可选择的,可以被应用程序应用);#FIXED(固定的,不能修改)。;ENTNM1;4.6元素上下文格式化与属性格式化使用格式化属性指示显示器或打印中的译文应在特定情况下,即没有其他
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如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
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