三坐标测量的误差分析及校正.doc
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4、误差来源进行分类,针对几何误差总结了现存的检测方法,最后给出了有利于实现低成本精度升级的误差修正方法。关键词:三坐标测量,误差,修正,精度1. 背景概况三坐标测量机(Coordinate Measuring Machine,CMM)是指在一个六面体的空间范围内,能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器,又称为三坐标测量仪或三次元。三坐标测量机就是在三个相互垂直的方向上有导向机构、测长元件、数显装置,有一个能够放置工件的工作台(大型和巨型不一定有),测头可以以手动或机动方式轻快地移动到被测点上,由读数设备和数显装置把被测点的坐标值显示出来的一种测量设备。显然这是最简单、最原始的测量机。有
5、了这种测量机后,在测量容积里任意一点的坐标值都可通过读数装置和数显装置显示出来。测量机的采点发讯装置是测头,在沿X、Y、Z三个轴的方向装有光栅尺和读数头。其测量过程就是当测头接触工件并发出采点信号时,由控制系统去采集当前机床三轴坐标相对于机床原点的坐标值,再由计算机系统对数据进行处理和输出。因此测量机可以用来测量直接尺寸,也可以获得间接尺寸和形位公差及各种相关关系,也可以实现全面扫描和一定的数据处理功能,为加工提供数据和测量结果。自动型还可以进行自动测量,实现批量零件的自动检测。一下是两种三坐标测量机的实图。 2. 关键问题TP是接触式结构三维测头,由测头体、测杆、导线组成。测头体内部结构如下
6、图所示,这是一个弹簧结构,弹力大小即测力。由3个小铁棒分别枕放在2个球上,在运动位置上形成6点接触。在接触工件后产生触发信号,并用于停止测头的运动。在测杆与工件接触之后,再离开时弹簧把测杆恢复到原始位置。测球恢复位置精度可达到1um。TP是接触式测头,其功能是在测尖接触表面的瞬间产生一个触发信号,因此其内部为一微开关电路。测头体与测杆内部弹簧结构连接,在复位状态(未接触表面)电路导通。一旦测尖接触表面,测杆偏离复位状态,电路截止,形成一个触发信号。在此瞬间可以记录各个坐标位置,从而实现对工件测量。对于CMM测量机,影响测量精度的测头性能参数为:测力、测量速度、测杆长度和测量方向。测头的测力(和
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