MSE-2000R氦质谱检漏仪中文说明书.pdf

Access to your successSHIMADZUMSE-2000RM073-0682January 7,2011氮质谱检漏仪MSE-2000R 型使用说明书第1版SHIMADZU氮质谱检漏仪 MSE-2000R型（株）岛津制作所 半导体机器事业部 邮编259-1304日本神奈川县秦野市堀山下380-1请仔细阅读本说明书，正确使用本产品。请妥善保管本说明书以备今后使用。MSE-2000R System ver.3.10A6 对应版M73682.DOC-1-MSE-2000R空白页-2-MSE-2000R注释在本使用说明书中，将警告内容规定如下。小警告具有潜在危险，操作不当可能导致人员死亡或重伤。注意具有潜在危险，操作不当可能导致人身轻微或中度损害以及 设备损坏。注释正确使用本产品的附加说明。声 明1）本说明书版权归株式会社岛津制作所所有。未经本公司许可不得转载、复制部分 或全部内容。2）本说明书内容如有改动恕不另行通知。3）本说明书内容力求准确，如有错误或遗漏敬请谅解。4）本产品和维修零部件的供应期限为制造结束后10年。超出此供应期限之后，可 能无法供应维修零部件，敬请谅解。但是，非本公司原装的零部件，其供应期限 山该零部件的生产厂商规定。MSE-2000R注意1请勿分解、改造请勿采用非指定的使用方法请在充分理解安全事项及警告内容的基础上使用本产品。如不按照本使用说明书进行操作，会影响安全性。以下安全事项十分重要，解详细内容。请阅读正文了注意关于开包及搬运主机重量略大于45 kg,此外，在装箱状态下其重量约大于58 kg。开包及 搬运时，请务必由2人以上进行操作，并请注意不要扭伤腰等。注意请勿在主机上方放置重物或坐于主机上方如在主机上方放置重物或坐于主机上方，会导致主机罩盖变形破损，影 响安全性，敬请注意。-4-MSE-2000R警告保养检查本装置时本装置内部存在高压电(450 V)部分。为防止触电，在保养检查本装置时，请务必先关闭POWER开关并拔掉电源线，然后再卸下顶盖。再者，在本装置的AC插口部设有联锁用的罩盖，如不拔掉电源线便无法 卸下顶盖。此外，在运转时请务必先安装好顶盖。拔下电源线的状态连接电源线的状态注释关于装置内部温度警报本装置会监视装置内部温度，如超出上限温度50 C,便会发出警报，装 置将无法运转。发生该警报时，请确认装置设置环境温度是否过高(规格值为38 以 下)、装置背面的风机过滤器是否脏污从而降低了冷却效果。如在高温状态 下继续运转，可能会导致所搭载的MDP的轴承破损等。MSE-2000R注意关于使用电压本装置的输入电源电压在客户订购时已预先从单相AC 100/110/115/120/200/220/230/240 V的8种电源电压中任选了一个,在出厂前 已由工厂设定完毕。设定的电压值记载于装置背面的产品铭牌上，请务必确 认后再使用。此外，如您使用其他电源电压，请和本公司联系。企注释切断装置的电源时在切断装置的电源时，请务必先按下红色的SAVE键，然后再关闭 POWER开关。直接切断电源时，虽不会造成故障，但部分数据（累计运行 时间等）将不被保存，敬请注意。此外，如停止本装置，测试端口部可能会返回到空气中。特别是在测试 端口上装有被检件，在真空密封状态下只将本装置停止时，请充分注意。警告装置翻倒时立即将装置扶回原状态，并确认油旋转泵的泵油有无溢出。确认油位计,如泵油正在减少，则代表较多的泵油已溢出，倘若在泵油散布于电气系统四 周时直接运转，可能会起火，非常危险，因此请绝对不要运转。请立即与本 公司联系后退回工厂进行修理。企注释关于油旋转真空泵泵油的废油废容器的处理处理方法已由法律作出规定。请遵照法律妥善处理。如有疑问，请咨询 本公司。-6-MSE-2000RSHIMADZU氮质谱检漏仪MSE-2000R型 目录1.前言.92.概要.93.保修.104.规格性能.125.开包和数量确认.156.运转之前.177.各部分名称.198.操作方法.228.1.启动.238.2.灵敏度校正.298.3.测试.3484数据处理功能.448.5.停止.459.输入输出系统.479.1.记录仪输出.479.2.打印机(选购件).499.3.RS-23 2C.509.4.EXT-UNIT.5510.密码的设定和解除.5610.1.操作方法.5611.条件设定.5711.条件设定菜单.57112条件设定项目(System).5812.功能菜单(Utility Menu).6812.1.功能菜单(Utility Menu).6812.2.时钟设置(Set Date&Timer).6812.3.省电(Power-saving Mode).6912.4.灯丝切换(F ilament).7013.状态显示.71-7-MSE-2000R13.1.Status 画面.7114.警报和错误.7314.1.警报发生.7314.2.警报内容和应对措施.7414.3.错误发生.7814.4.错误内容和应对措施.7915.返送回本公司的方法.8116.保养检查.8216.1.项目和时间.82162检出灵敏度的确认.83163风机用过滤器的清扫更换.84164机座内部和主机罩盖的清扫.84165汕旋转真空泵泵汕的补充/更换.8516.6.关于MDP的保养.8616.7.校正漏孔的更换.8716.8.分析管离子源.88169皮拉尼真空计.9116.10.放大器的零点调整.9216.11.放大器的增益调整.9217.附录.9317.1.压力单位换算表.93172流量单位换算表.9317.3.保养零部件清单.9417.4.选购零部件清单.95-8-MSE-2000R1.刖s非常感谢您购买本公司的MSE-2000R型氮质谱检漏仪。请您在使用本装置前充分阅读 本说明书，以便了解本装置并充分发挥本装置的性能，方便您长久使用。2.概要本装置是运用了质谱仪的原理，用氮作为示踪气体的检漏仪。氮泄漏测试方式是各种泄 漏测试方式中灵敏度及精度最高的一种方式。该MSE-2000R型检漏仪搭载了具有高压缩比的牵引分子泵和高性能汕旋转真空泵及高 性能分析管，是实现了高灵敏度低BG的全自动便携式氮质谱检漏仪。此外，本装置还具 有以下优点。1）从装置维护到装置嵌入，是用途广泛的便携式通用机。2）通过采用本公司独有的技术，实现了卓越的BG恢复性能。即使长时间检出大泄漏，BG也能在短时间内恢复。因此可立即进行下一试验，减轻作业延迟的压力。3）搭载了实现高灵敏度低BG的SAT-41A型分析管。分析管配备了 2根长寿命的镀氧 化牡钺灯丝。4）搭载了可实现BG稳定性的高压缩比牵引分子泵和检漏仪专用的油旋转真空泵。5）灵敏度校正采用自动调整方式，电源接通后约4分钟便启动完毕。6）可实现从启动到测试及停止的外部控制（需要AUX-DIO单元）。7）搭载了使用数字声源的各种音色的声音警报功能。8）GUI为12X9 cm的LCD和触摸屏面板。即使在泄漏测试过程中也可任意切换泄漏量、排气系统图、带实时滚动功能的泄漏量图形显示。9）支持不同的电源电压单相AC100/110/115/120/200/220/230/240 V（在订购时指定）10）备有各种选购件。吸枪单元、NST-2000V型（通用型）。吸枪单元、NST-2000F型（快速响应型）。载体单元（单体搬运用）。变压器外壳（铝合金制）。泄漏指示器单元（连接线长8MT）-9-MSE-2000ROAUX-DIO单元（序列器通信接口卡）。数据记录软件（PC用）ORS-23 2C连接线。校正漏孔，MSL-12（外部自动灵敏度校正用）。带过滤器的中心圈。打印机接口3.保修3.1.保修期保修期为交付给客户后1年。3.2.保修对象此产品除以下非保修对象项目之外，在验收后（交付）1年的时间内发生了因本公 司而造成的故障等时，作为“免费保修期”，本公司或本公司指定的维修公司将免费进 行机器的保养检查或零部件的更换等。此外，关于本保修事项，如通过个别合同等另 行规定，将以此为优先，本保修事项不再适用。声明1.除非另有约定，否则通过本商品的开发所得的知识的知识产权归岛津制作 所所有。2.（1）本商品保证符合规格书中所记载的规格或品质，但对于本商品相关的一 切使用目的及使用结果，并不向客户保证其适用性及完整性。2.（2）在和客户的合同中规定的保修期内发现了本商品的瑕疵时，本公司将免 费对该瑕疵进行维修或更换零部件。除非客户和本公司之间另有约定，否则恕不接受以下所示的一切担保或赔偿。由于本商品的不运行而对客户的事业活动带来影响时的损害赔偿 其他本商品的瑕疵相关的一切间接或二次损害的赔偿3.3.非保修对象1）本公司指定外的操作或误操作引起的故障2）和本公司无关的改造引起的故障3）本公司安装后的易耗品的更换。分析管（包括反射极）的脏污引起的更换分解清洗。油旋转真空泵用泵油。牵引分子泵用轴承形圈、垫片、电磁阀柱塞类等的易耗品4）天灾等引起的故障3.4.关于运往国外注释关于符合/不符合证书的发行运往日本国外时，需要发行符合/不符合证书等，请咨询本公司。-10-MSE-2000R注意关于所使用的电源电压的适应本装置的输入电源电压在客户订购时已预先从单相AC 100/110/115/120/200/220/230/240 V的8种电源电压中任选了一个,在出厂前 已由工厂设定完毕。设定的电压值记载于装置背面的产品铭牌上，请务必确 认后再使用。此外，如您使用其他电源电压，请和本公司联系企注意1关于海外维护原则上需要购买另行发行的保养零部件清单（面向海外）并实施分析管 灯丝的更换、分析管的分解清洗及皮拉尼真空计的更换等的培训。-11-MSE-2000R4.规格性能4.1.检出灵敏度1）Qmin2）Qmax3）最大测试端口压力：10-12Pa*m3/sHe：10 Pa*m3/sHe：1000 Pa4.2.分析管1）方式2）灯丝：180磁场偏转型（磁束密度0.17 T）：镀氧化针钺灯丝（配备2根）4.3.排气系统1）牵引分子泵排气速度2）油旋转真空泵排气速度：3 3 L/s：30 L/min(50 Hz)4.4.真空计1）测试端口部2）牵引分子泵排气口部：皮拉尼真空计（16000 Pa）：皮拉尼真空计（16000 Pa）4.5.重量1）主机:约 45.0 kg4.6.外部连接口1）测试端口：NW25KF4.7.输入输出1）泄漏量记录仪输出：端子台（5芯）尾数部DC+01.0V指数部DC+01.2V2）RS-23 2c 接口3）外部单元接口 14）外部单元接口 2：D-SUB9针（公头）：D-SUB9针（母头）：C016 3 0G006 100 12（7芯插座）4.8.安全功能1）漏电断路器2）油旋转真空泵热保护器：额定3 0 mA：自动复归型-12-MSE-2000R4.10.排气系统图SHIMADZU 氮质谱检漏仪 MSE-2000R型-13-MSE，2000R4.11.季避刃4函翳e07-7-6|繇 FEH*T图纸名称日文）Jl,X.Jl.Z/.X.MSiE,-tZiO.O.O,R.制作DSO梅原K l,t CHK井川批准APP芦田尺度SCALE1：5TITLE.ENGLISH岛津裂作所SMIMAOZU COHPORAT1 ON KYOTO JAPAN图纸 尺寸A3图纸解号OWQ NO.261-93270页%修订REVA识别CLASS2 0.MSE-2000R5.开包和数量确认5.1.开包1）开包步骤记载于随附的开包要领图中。注意关于开包及搬运主机重量略大于45 kg,此外，在装箱状态下其重量约大于58 kg。开包及 搬运时，请务必由2人以上进行操作，并请注意不要扭伤腰等。请在充分理解 安全事项及警告内容的基础上使用本产品。本使用说明书的下列安全事项十 分重要。请阅读正文了解详细内容。2）开包结束后，为慎重起见，请再次确认包装物和装置主机上有无外伤；油旋转泵的泵 油有无从装置主体中溢出等情况。企注意发现外伤时。发现了外伤等时，请立即告知送货人员。O由于外伤等而需要更换零部件时，请和本公司联系。外伤严重，氮质谱检漏仪的主机内部也可能破损时，请绝对不要运转。如果发现油旋转泵的泵油从氢质谱检漏仪的主机中溢出，请和本公司联系。此时，请绝对不要运转。3）包装物（也包括装放氢质谱检漏仪主机的塑料袋）在因检查或修理等而将装置返送回 本公司时需要用到，因此请勿丢弃，务必妥善保管。-15-MSE-2000R检漏仪主机及附件的内容如下表。请确认是否齐全。如有缺失，请和本公司联系。5.2.数量确认No零部件编号产品名称数量1261-61514-00261-61514-01261-61514-02261-61514-03261-61514-04261-61514-05261-61514-06261-61514-07MSE-2000R ASSY,100 V（单相 AC100V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,110 V（单相 AC110V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,115 V（单相 AC115 V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,120 V（单相 AC120V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,200 V（单相 AC200V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,220 V（单相 AC220 V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,230 V（单相 AC230V 参考注 1）MSE-2000R ASSY,240 V（单相 AC240V 参考注 1）12071-60815-05071-60814-04电线组,KP-300+KS-16A 参考注 1）电线组,KP-4819D+KS-31AY 参考注 1）13260-14120-02消声器,AN203-02 通气口用14M073-0682使用说明书,MSE-2000R15IS5-19029-01氨质谱检漏仪,MSE-2000R型检验报告16262-68356旋转泵油,R-2 IL 参考注2）17260-11800思高清洁魔布（DIOOMM分析管反射极清洗用1注1）附带的电源线的一次侧电源插座的型号为主机电源电压为AC100120 V规格时：KP-3 00主机电源电压为AC200240 V规格时：KP-4819Do注2）如在日本国内，会将“旋转泵汕,R-2”装入装置主机的泵中后再发货。为海外时,将从装置主机的泵中抽出泵油，然后将旋转泵油,R-2作为附件发货。包装物品清单-16-MSE-2000R6.运转之前6.1.泵油的注入（运往海外时抽出泵油后再发货）请在汕旋转真空泵GDH-3 0型中注入泵油R-2O请参考“油旋转真空泵GDH-3 0型 泵油的补充/更换二企注意关于油旋转真空泵的泵油在补充/更换油旋转真空泵的泵油时使用R-2。更换一次约使用600cc。切 勿将不同种类的油旋转真空泵用泵油注入到氮质谱检漏仪内置的油旋转真空 泵中使用，否则将造成启动不良。6.2.设置条件1）主机供给电源：单相AC100 V10%、6 A、50/60 Hz单相 AC110 V10%、6 A、50/60 Hz单相 AC115 V10%、6 A、50/60 Hz单相 AC120 V10%、6 A、50/60 Hz单相 AC200 V10%、3 A、50/60 Hz单相 AC220 V10%、3 A、50/60 Hz单相 AC23 0 V10%、3 A、50/60 Hz单相 AC240 V10%、3 A、50/60 Hz,从中任选一个。2）接地：D种以上企注意关于所使用的电源电压的适应本装置的输入电源电压在客户订购时已预先从单相AC100/110/115/120/200/220/230/240 V的8种电源电压中任选了一个，在出厂前 已由工厂设定完毕。已设定的电压值记载于装置背面的产品铭牌上，请务必 确认后再使用。此外，如您使用其他电压电源，请和本公司联系。_3）环境温度：838 4）相对湿度：80%以下（在31 以下）企注意关于使用环境如超出此使用环境范围，会造成油旋转真空泵的启动不良、皮拉尼真空 计灯丝断线的误报、机器结露等安全方面的问题，因此请勿运转。6.3.请客户准备的设备1）氮气瓶2）减压阀（利用真空喷吹法或真空氢罩法进行泄漏测试时的氨气气压约为0.01-0.03 MPaG左右）3）备有以下选购件（另售）：连接被检体和氮质谱检漏仪的适配器配管、挠性管（氮 质谱检漏仪侧的测试端口为NW25KF。）、氨气喷吹管套组（套组中包括喷吹管 管架+适配器和塑料管）。-17-MSE-2000R6.4.设置场所1）请设置在通风场所。为了不遮挡本装置正面下方的空气喷出口和背面的空气导入 U,设置时请至少空出20 cm的空间。此外，为了能快速关闭背面的POWER 开关，请在右侧也留出空间。2）请勿和大量使用氮气的装置设置在同一场所或同一房间。否则，可能会造成BG 上升。3）请避免长时间在多尘的场所使用。4）为了避免装置翻倒，请设置在水平且坚固的地面上。万一装置翻倒，请确认以下 事项。企注意装置翻倒时立即将装置扶回原状态，并确认油旋转泵的泵油有无溢出。通常来说，泵油只会从油雾分离器中渗出数滴，如果渗出，请按照和油旋转泵的泵油更 换步骤相同的方法打开排气系统侧的罩盖，然后用抹布等将附着在机架或罩 盖上的泵油擦拭干净。但确认油位计后，如发现泵油正在减少，则代表较多的泵油已溢出，倘 若在泵油散布于电气系统四周时直接运转，可能会起火，非常危险，因此请 绝对不要运转。请立即与本公司联系后退回工厂进行修理。企注释关于通气口的连接装置背面的通气口（Rcl/4）上未作任何连接、处于开放状态时，请勿运转。否则，灰尘会进入，可能会导致装置故障。产品出厂时为防止灰尘，在该通 气口上附带了树脂盖，需要运转时请务必取下盖子，并安装附件消声器。注释关于通气口的连接需要另外进行氮气通气等时，不使用附件消声器而按照相应的方法进行 连接，但请将该外加压力的上限值设为0.03 MPaG。将该外加压力设为0.1 MPaG以上时，如进行VENT操作，会因压力差过大而无法打开电磁阀，从 而导致电磁阀破损，因此请绝对不要采取该做法。-18-MSE-2000R7.各部分名称740SHIMADZUOpen Close8 9Cal.Leak 623EnterOOQOm Range 平板键详情图7.1.检漏仪主机正面测试端口NW25KF(带KF 25盲法兰)(2)LCD+触摸屏面板由3 20X240点(带背光)的液晶图形显示器和9X6点阵的触 摸屏面板组成。(3)平板键具有25个键的平板键。Save保存数据后停止装置时按下此键。Test开始/停止泄漏测试时按下此键。Vent中断泄漏测试，排空测试端口时按下此键。Zero将测定过程中的泄漏量强制归零时按下此键。、T用于各种条件设定等的光标移动和设定值选择。也 T Range用于各种条件设定中移动光标。此外，还具有在测定过程中的 泄漏量中设定量程保持的功能。09、用于在各种条件设定或时钟设置等设定中输入数值。|Enter|在各种条件设定或时钟设置等设定中确定时使用。此外，正在 进行泄漏测试时，如工序处于待机状态，按下此键便可进入下 一工序。7 Copy)执行画面硬拷贝时按下此键。但需要选购件打印机和连接线。8 Open在测试画面中且正处于泄漏测试待机或泄漏测试过程中时，可 任意打开内置的校正漏孔。|9 Close)在测试画面中且正处于泄漏测试待机或泄漏测试过程中时，可 任意关闭内置的校正漏孔。(4)空气喷出口(请勿遮挡)(5)空冷风机FM2风为吹出方向，带护罩(位于罩盖内部)-19-MSE-2000R80Q iDIO回 SHIMADZUHELIUM CALIBRATED LEAK FOR HELIUM LEAK DETECTOR(1)空冷风机FM1(2)空冷风机FM3(3)通气口 VENT(4)电源插口图7.2.检漏仪主机背面：风为吸入方向，带过滤器(请勿遮挡)：风为吸入方向，带过滤器(请勿遮挡)：用于排空测试端口的进气口。连接口尺寸为Rcl/4。不进 行氮气通气时，请安装附带的消声器。：连接附带的电源线。-20-MSE-2000R(5)电路保护器MAIN(6)电源开关POWER|(7)外部单元连接器1(8)外部单元连接器2(9)选购件连接器用(10)记录仪端子台(H)扬声器音量(12)MDP 灯(13)RS-232C 连接器(14)(打印机连接器)(15)(AUX-DIO 单元用)(16)放大器ZERO调节器(17)校正漏孔铭牌(18)产品铭牌(19)油位计(20)排出阀(21)放大器SENS调节器：额定AC100-240 V20A、漏电切断电流3 0mA：进行电源的打开/关闭。此外，需要关闭电源时，请务必 先按下SAVE键，待停止处理结束后再关闭电源。：使用选购件粗抽单元、NRP-2000型或吸枪单元、NST-2000 型时进行连接(7芯插座)。：使用选购件粗抽单元、NRP-2000型或吸枪单元、NST-2000 型时进行连接(D-SUB9针、母头)。连接此连接器后，各单元将被自动识别。：对应选购件：泄漏量记录仪输出端子台。LEAK+/-：泄漏量尾数部：DC+01.0V)RANGE+/-：泄漏量指数部：DC+01.2V)F G：机架地线：声音警报的音量调节旋钮。：在牵引分子泵正常旋转时点亮。：RS-23 2C连接用连接器。连接时需要专用连接线。(D-SUB9 针、公头):这是用于连接打印测试结果或执行画面硬拷贝的打印机的 连接器，但没有标准配备(备有选购件/(D-SUB25针、母头)。符合Centronics标准，连接线规格和DOS/V兼 容机相同，关于打印机主机具体的机型名称，请咨询本公 司。：安装选购件AUX-DIO单元的部位。安装有盲板。：放大器零点调整用的调节器。：显示装置主机中内置的校正漏孔的序列号、泄漏量和其校 正日。：显示装置的型号、序列号和电源电压。：油旋转真空泵的油位计。：油旋转真空泵的排出阀位于此罩盖之内。：放大器灵敏度调整用的调节器。可在X 1/10到X5的范围内调整放大器的灵敏度。此外，该调节器在出厂时已被设置在xl倍的位置，通常请勿变更设置位置。符号意 义1电源ONO电源OFF交流电源表7.1.装置的符号-21-MSE-2000R8.操作方法企注释疑似发生了故障时使用本装置时，无论怎样都无法按照使用说明书进行操作！是发生了故 障吗？当出现此类症状时，请参考“警报和错误”一节。企注意关于所使用的电源电压的适应 本装置的输入电源电压在客户订购时已预先从单相AC 100/110/115/120/200/220/230/240 V的8种电源电压中任选了一个,在出厂前 已由工厂设定完毕。已设定的电压值记载于装置背面的产品铭牌上，请务必 确认后再使用。此外，如您使用其他电源电压，请和本公司联系。-22-MSE-2000R8.1.启动1）确认POWER电源开关位于关闭，然后将附带的电源线连接到AC INPUT电源插 口上。2）将该电源线的电源插头插到连接着D种接地的带接地的AC插座上。3）将POWER电源开关置于I打开。O油旋转真空泵发出运转声。风机运转。OLCD中显示CPU正在启动的进程。4）约10秒钟后,LCD中显示如右所示的标题画面。AASE-2OOORSystem Ver.3 J0A6Initializing Wait for a whileCopyHght（C）2009 SHIMADZU CORPORATIONOLCD难以看清时，请利用主机左侧面的CONTRAST旋钮调整明暗。在此期间，实施系统初始化。当画面左上角显示F DD图标时，表示正在进行文件 访问，因此请绝对不要切断电源。此外，“System Ver.”会转变为装置中实际安装 的软件的版本数，敬请确认。本书对应“System Ver.3.10A6”以上的版本。5）在条件设定中，如果设定忽略了装置异常，会显示以下对话框。按下Ok按钮，便可 进入下一步操作。Please Co nfirmPSW ModeLSW ModePM1 Disco nnect io nPM2 Disco nnect io nInvald Invald Igno re Igno re只显示被设定为无 效/忽略的项目。0k-23-MSE-2000R注释设定忽略了装置异常时忽略装置异常的设定是在之前的使用过程中发生了警报或错误时作为应 急措施而进行的设定。无论哪个项目都请尽快实施维护。此外，以Invalid|/|Ignore|进行设定并使用本装置时，如果发生故障，本 公司概不负责，敬请谅解。6）系统初始化完成后，将显不以下的启动待机画面。如在此状态下不进行任何操作,则在30秒后将在条件设定中己预先设定的模式（自 动启动或手动启动）下自动开始启动（画面被设定为自动启动时）画面标题时钟OStart-up Stand-by Jan-01-2006 00:00各按钮LauncherParameter Reset功能按钮O在上方显示该画面标题名称和时钟。画面中带阴影的方块为按钮，需要操作时请触碰画面（触碰后，按钮显示为凹陷的 形态）O下方为功能按钮。该按钮也通过触碰画面进行操作。O Auto Start-up Start按钮进入Start-up画面，并在Parameter Menu画面中设定的模式（自动启动或手动 启动）下执行启动处理。O Utility Menu按钮进入Utility Menu画面。O Parameter Setting按钮进入Parameter Menu画面。设有密码时，将显示键盘画面，不输入正确的密 码便无法进入Parameter Menu画面。-24-MSE-2000R（Launcher按钮进入LauncheH自动、手动、快速启动用）画面。按下Auto Start-up按钮、Manual Start-up按钮、Quick Start-up按钮中的任意一个后，开始启动。所有启动模式以 外的条件设定内容都不会被变更。利用Return按钮可返回到Start-up Standby画面。Launcher 按钮卜 Auto Strat-upAfter Start-up,Execute Calib.Auto maticallyManual Strat-upAfter Start-up,Pro ceed Test Stand-byQuick Strat-upStart-up witho ut Warm-up,Pro ceed Test Stand-byReturn|O Parameter Reset按钮将在Parameter Menu画面中所设定的所有参数初始化。按下此按钮，将显示 u Reset All Parameter to Default?在功能按钮Yes、No、Cancel之中，请只在 进行初始化时按下Yes。功能按钮（无菜单切换）Stop：中止距离开始启动还有XX秒的倒计时，并在此画面中待机。Status：进入 Status 画面。AUX Mon.：进入 AUX OUTPUT 画面。-25-MSE-2000R7）启动开始后，将切换到下列Start-up画面，并执行启动进程。O在画面左侧显示排气系统图、状态、AUX监视器3种画面。可通过Menu 2的功能 按钮进行切换。O画面右上侧通常显示当前的测试端口压力（0-6000 Pa）和泄漏量（约3.0 x 109.0 x 10-Pa-m3/s）o泄漏量显示在按下NJ Range键后将变为手动量程模式。例）在-10时按下了T键时：-10（手动开始）f-09f-08f-073-06-03-02-01（最大量程）-10（手动结束）O在画面右侧显示工序的进行状况。当前正在执行或已经完成的工序以显示；未完成的工序以“O”显示。功能按钮（按下Menu 1按钮进行切换）Stop：中止启动，并返回至U Start-up Stand-by画面。O功能按钮（按下Menu 2按钮进行切换）Exhaust：显示排气系统图。显示已连接的选购件单元相应的排气系统图和电磁阀的状态。Status：显示状态。每次按下都会切换显示页面。AUX Mon.：进入序列器通信单元用AUX OUTPUT画面。显示各输入输 出信号的状态。-26-MSE-2000ROStatus画面（有1/2和2/2两页。所显示的数值为其中一例）。每次按下Status按钮,所显示的页面都会切换，显示装置的重要设定值或当前值等。此外，显示此画面时 工序将被暂停。关于所显示的项目，请参考“状态显示”。OAuto Start-up Jan-01-2006 00:00Test P 500PaAcc,Vo ltage:280Leak 30E-10Emissio n current:0.0Pam3/sFilament No.:1FP onEquip.Inside Temp：24FP LeakSensitivity Gro s：50E-09FV openSensitivity Fine：5.0E-12PM2 MDP Out let Press:MDP Rot at io n:MDP Operate Time:MCP Set Vo ltage:Auto Zero suppres:S/W Versio n No.:Operate Time:Start-ups Time:00040A02 y Ru-Ru 1111 Av Av 1190XTest P 500PaLeak 3*0E_10Pam3/sFP onFP LeakFV openPM2 500PaMDP Start-MDP NormalExhaust 11 Status|AUX Mon J|OMenu2 IOAUX OUTPUT画面。已开启的输入输出信号被反色显示。关于各信号的规格，请 参考“AUX监视器显示”。OAuto Start-up Jan-01-2006 00:00 09,AUTOTest P 598Pa01.J.ERR 10,MODETESTLeak 3*0E-1002.J.NG2 1LSTDBY03.J.NG1 12.ALARMPam3/sFP on04.J.GOOD FP Leak5.VENT 16.ZEROFV open06.LEAKMON 17.ENTERSPM2 500Pa07 JEST 18.VENTMDP Start08.READY 19.TESTMDP NormalExhaust 11 Status|AUX Mon J|OMenu2 I-27-MSE-2000R8）在启动过程中发生了警报时，将强制结束启动进程，并切换到Alarm画面。此时，请 参考“警报”。9）选择“Auto Start-up”时，将自动执行自动灵敏度校正。至此启动完成。注释开包后初次运转或长期未使用时可能会发生警报AOI:Over MDP back pressure（start-up）”,开包后初 次运转后长期未使用时，即使无故障也可能会出现该情况。此时，请暂时关 闭电源开关，等待约10秒钟左右后再次打开电源开关，尝试重新启动。仍然出现该情况时，请按照以下步骤进行操作。在进入FV启动进程时，按下Status按钮两次，进入Status 2/2,显示MDP Outlet Press.项目，在此 状态下等待压力下降到250 Pa。压力仍然不下降时，请与本公司联系。注释1发生警报A061MDP失败（一般异常）时牵引分子泵IMDP在以6000 rpm以下的转速旋转时无法重新启动。若要 重新启动，需要先等待牵引分子泵MDP静止。从额定状态进入停止动作经 过10分钟或更长时间后重新启动时，可能会由于转速在6000 rpm以下而无法 启动。请在出现警报后至少等待10分钟，然后重新启动。注意泄漏量显示为“-.-xlO时泄漏量下溢。在分析管ON的工序后不发生变化而直接显示 时,调整装置背面的放大器零点调节器，将其调整为“3.0 x 10/”9.0 x 10/”左右。泄漏量显示为时，不会显示错误。虽然在该状态下也能执行 测试，但不会输出合格与否判断结果，敬请注意。-28-MSE-2000R8.2.灵敏度校正1）使用主机内置或外部设置的校正漏孔实施灵敏度校正。在BG非常高的环境下实施灵 敏度校正或灵敏度校正错误的原因调查等操作时，请通过Launcher选择灵敏度校正 模式。灵敏度校正待机过程中显示以下画面。注释何谓氨峰调整？调整加速电压，使来自校正漏孔的氨气所显示的泄漏量为最大值的操作 即为“氢峰调整”，此时的最大值称为“氢峰”。OCalib.Stand-by Jan-01-2096 00:00Ut i 1 ity MenuAuto Calib.StartParameter Sett ingSelectMenu Butto nI Calib.|I Status|aux 厢n.|LauncherTestO Auto Calib.Start按钮进入Calib.画面，并在Parameter Menu画面中所设定的模式（自动灵敏度校正 或手动灵敏度校正等）下执行灵敏度校正处理。O Utility Menu按钮进入Utility Menu画面。O Parameter Setting按钮进入Parameter Menu画面。设有密码时，将显示键盘画面，不输入正确的密 码便无法进入Parameter Menu画面。O Launcher按钮进入Launcher（自动、手动、现状维持灵敏度校正用）画面。按下Auto Calib.按钮、Manual Calib.按钮、Current Calib.按钮中的任意一个后，开始灵敏度校正。所有灵敏度校正模式以外的条件设定内容都不会被变更。O Test按钮进入 Test Stand-by 画面。O功能按钮（无菜单切换）Calib.：在待机状态下进入Calib.画面。Status：显示状态。每次按下都会切换显示页面。AUX Mon.：进入序列器通信单元用AUX OUTPUT画面。显示各输入输 出信号的状态。-29-MSE-2000R2）灵敏度校正用Launcher画面如下。利用Return按钮可返回到Calib.Stand-by画面。利用Next按钮和Previous按钮可切换Launcher画面的页面（有1/22/2两页）。Launcher 按钮OLauncher Jan-01-2006 00:00OLauncher(2/2)Apr-28-1999 15:24Mainten.|Calib.|S,-Mode Calib.S.-Chk.Calib.Excute Manual Calib.Witho ut Erro r CheckExcute Manual Calib.With Stand-Alo ne ParameterExcute Manual Calib.With Default ParameterPrevio usOAuto Calib.在自动模式下执行灵敏度校正处理。OManual Calib.在手动模式下执行灵敏度校正处理。O Current Calib.在现状维持模式下执行灵敏度校正处理。OMainten.Calib.在手动模式下执行灵敏度校正。只有在该情况下不执行BG检测。该处理是在 出现BG不良的灵敏度校正错误时为确认氢峰是否处于充分的水平而执行。OS.-Mode Calib.在手动模式且强制单体设定（F orced stand alone）下执行灵敏度校正。OS.-Chk.Calib.在手动模式且强制单体设定（F orced stand alone）下执行灵敏度校正。（与上一 项的差异在于全部使用默认值执行灵敏度校正模式及选项设定以外的条件设定）。-3 0-MSE-2000R3）在灵敏度校正工序执行过程中（也包括待机过程中）显示以下画面。灵敏度校正判断结果OAuto Calib.Jan-01-2006 00:00加速电压值GOOD ONG1OERROR ONG2280 V泄漏量Y)5joPam3/sA日日sTest P 6000PaLeak 0,5E-11Pam3/sOStand-bORough-PumpOPeak Adj ustOBG CheckOSensit i