压阻式传感器ppt.ppt
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1、 压阻式传感器1.1.半导体的压阻效应半导体的压阻效应2.2.体型半导体应变片体型半导体应变片3.3.扩散型压阻式压力传感器扩散型压阻式压力传感器4.4.压压阻式阻式加速度传感器加速度传感器5.5.压阻式传感器的测量电路压阻式传感器的测量电路6.6.压阻式传感器的应用压阻式传感器的应用1.半导体的压阻效应 n固体材料受到压力后,它的电阻率将发生一定的变化,所有的固体材料都有这个特点,其中以半导体最为显著。当半导体材料在某一方向上承受力时,它的电阻率将 发生显著变化,这种现象称为半导体压阻效应。n压阻式传感器的灵敏系数大,分辨率高。频率响应高,体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。n因
2、为半导体材料对温度很敏感,因此压阻式传感器的温度误差较大,必须要有温度补偿。1.1压阻效应 金属材料金属材料 半导体半导体材料材料 半导体电阻率 l l为半导体材料的压阻系数,它与半导体材料种类及应力方向为半导体材料的压阻系数,它与半导体材料种类及应力方向与晶轴方向之间的夹角有关;与晶轴方向之间的夹角有关;E E为半导体材料的弹性模量,与晶向有关。为半导体材料的弹性模量,与晶向有关。对半导体材料而言,对半导体材料而言,l l E E(1+)(1+),故,故(1+)(1+)项可以忽略项可以忽略 半导体材料的电阻值变化,主要是由电阻率变化引起的,而电阻率半导体材料的电阻值变化,主要是由电阻率变化引
3、起的,而电阻率的变化是由应变引起的。的变化是由应变引起的。半导体单晶的应变灵敏系数可表示半导体单晶的应变灵敏系数可表示半导体的应变灵敏系数还与掺杂浓度有关,它随杂质的增加而半导体的应变灵敏系数还与掺杂浓度有关,它随杂质的增加而减小减小 利用这种效应制成的电阻称为固态压敏电阻,也叫力敏电阻。用压敏电阻制成的器件有两类:一种是利用半导体材料制成黏贴式的应变片;另一种是在半导体的基片上用集成电路的工艺制成扩散型压敏电阻,用它作传感器元件制成的传感器,称为固态压阻式传感器,也叫扩散型压阻式传感器。1.2 压敏电阻分类2.体型半导体电阻应变片 这种半导体应变片是将单晶硅锭切片、研磨、腐蚀压焊引线,最后粘
4、贴在锌酚醛树脂或聚酰亚胺的衬底上制成的。体型半导体应变片可分为6种。普通型:它适合于一般应力测量;温度自动补偿型:它能使温度引起的导致应变电阻变化的各种因素自动抵消,只适用于特定的试件材料;灵敏度补偿型:通过选择适当的衬底材料(例如不锈钢),并采用稳流电路,使温度引起的灵敏度变化极小;高输出(高电阻)型:它的阻值很高(210千欧),可接成电桥以高电压供电而获得高输出电压,因而可不经放大而直接接入指示仪表。超线性型:它在比较宽的应力范围内,呈现较宽的应变线性区域,适用于大应变范围的场合;P-N组合温度补偿型:它选用配对的P型和N型两种转换元件作为电桥的相邻两臂,从而使温度特性和非线性特性有较大改
5、善。2.1 结构型式及特点 主要优点主要优点 灵敏系数比金属电阻应变片的灵敏系数大数十倍 横向效应和机械滞后极小 温度稳定性和线性度比金属电阻应变片差得多 2.2 测量电路 n恒压源恒压源n恒流源恒流源电桥输出电压与电桥输出电压与R R/R R成正比,输出电压受环境温度的影响成正比,输出电压受环境温度的影响。电桥输出电压与电桥输出电压与R R成正比,环境温度的变化对其没有影响。成正比,环境温度的变化对其没有影响。半导体应变片最突出的优点是灵敏度高,这为它的应用提供了有利条件。另外,由于机械滞后小、横向效应小以及它本身体积小等特点,扩大了半导体应变片的使用范围。其最大的缺点是温度稳定性差、灵敏度
6、离散程度大(由于晶向、杂质等因素的影响)以及在较大应变作用下非线性误差大等,给使用带来一定困难。2.3 半导体应变片的优缺点3.扩散型压阻式压力传感器 在弹性变形限度内,硅的压阻效应是可逆的,即在应力作用下硅的电阻发生变化,而当应力除去时,硅的电阻又恢复到原来的数值。硅的压阻效应因晶体的取向不同而不同,即对不同的晶轴方向其压阻系数不同。虽然半导体压敏电阻的灵敏系数比金属高很多,但是有时还是不够。因此为了进一步增大灵敏度,压敏电阻常常扩散(安装)薄的硅膜上,让硅膜起一个放大作用。3.1 结构类型压阻式压力传感器结构简图压阻式压力传感器结构简图1 1低压腔低压腔 2 2高压腔高压腔 3 3硅杯硅杯
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