JJG 765-1992 平面标准器检定规程.pdf
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1、中华人民共和国国家计量检定规程J J G 7 6 5-1 9 9 2平 面 标 准 器Fl at ne s s St a ndar d1 9 9 2 一0 2 一1 5 发布1 9 9 2 一0 8 一0 1 实施国 家 技 术 监 督 局发 布J J G 7 6 5-1 9 9 2尹.。乙6.心-。.。.乞平面标准器检定规程马.。.。;?。.0.。.护V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o fJ J G 7 6 5-1 9 9 2Fl a t n e s s S t a n d a r d 本检定规程经国家技术监督局于 1 9 9 2 年
2、0 2 月 1 5日 批准,并 自1 9 9 2年 0 8 月 0 1日起施行。归 口单位:航空航天工业部三O四研究所起草单位:航空航天工业部三O四研究所本规程技术条文由起草单位负责解释J J G 7 6 5-1 9 9 2本规程主要起草人:苏铁志 参加起草人:陈奇清(航空航天工业部三0四研究所)(航空航天工业部三0四研究所)w w w.b z f x w.c o mJ J G 7 6 5-1 9 9 2目录一概述 .一(1)二检定项目和检定条件 .(1)三技术要求和检定方法 .(2)四 检定结果的处理和 检定周期 。,一(7)附录四面互检时计算检定方法误差实例(平面标准器总不确定度).f 8
3、)w w w.b z f x w.c o mJ J G 7 6 5-1 9 9 2平面标准器检定规程本规程适用于建标后作量值传递的平面标准器的周期检定。一概述 平面标准器包括标准平面等倾干涉仪、组。平面等倾干涉仪是用来检测平面平晶、面测量光学仪器,其光学原理如图 1 00 1 5 0 mm平面标准平晶组及 2 1 0 m m长平晶长平晶、研磨面平尺平面度的一种高精度平1 0 1 1咔 片“1 2 3 一 4 5a 6 7 图11 一光源(钠光灯);2 一小孔光阑;3 一透镜;4 一半反射镜;5 一上平晶;6-钢球支承架;7 一下平晶;8 一半透半反镜;9 一物镜;1 0 一目镜分划板;1 1
4、一目镜标准平晶组是用来传递工作平晶用的高精度平面标准。长平晶组是用来传递研磨面平尺平面度的标准。二检定项目和检定条件1 平面标准器受检项 目和主要检定工具列于表 1(主要影响平面标准器测量准确度的基本技术指标)。2 检定平面标准器时室内温度为(2 0 士5)IC。检定标准平晶时应放在检定室内时间不少于 3 0 h,放置在检定仪器内等温时间不少于 2h。平晶标准器的综合误差检定时室温变化在 2 4 h内应不大于 1,在 1 h的变化应不大于0.1。1w w w.b z f x w.c o mJ J G 7 6 5-1 9 9 2表 1序号检定项目主要检定工具1等倾干涉仪测微目镜的示值误差及回程误
5、差万能工具显微镜2等倾干涉仪纵向手轮示值误差及回程误差3 0 0 mm标准尺3等倾干涉仪接长筒的作用长平晶4标准干涉环直径D。值的标准偏差2 1 0 mm长平晶及 0 1 5 0 m m 平晶及对应支承架5等倾干涉仪干涉条纹小数测量的重复性2 1 0 m m长平晶及 0 1 5 0 m m 平晶及对应支承架6标准平晶的平面度工作计量器具等倾干涉仪70 1 5 0 m m标准平晶二截面平面度差工作计量器具等倾干涉仪8标准平晶的局部平面度平面等倾干涉仪及 0 6 0 mm一级平晶9标准平晶的稳定度观察数据1 0平面标准器的总不确定度平面等倾干涉仪标准平晶组三技术要求和检定方法3 等倾干涉仪测微 目
6、镜的示值误差及回程误差3.1 要求 在整个行程 8 m m范围内应不大于0.0 1 m m,回程误差应不大于 0.0 0 5 mm.3.2 检定方法 在万能工具显微镜上检定,首先将仪器的测微 目镜从仪器上取下,旋下它的目镜头后放置在万能工具显微镜的玻璃台上固定好。调整工作台使测微 目 镜分划板上的十字线移动方向平行,再将测微鼓轮对零。万能工具显微镜工作台再纵向移动,使测微鼓轮分划板十字刻线的中心在万能工具显微镜上读出零位的读数。然后依次将测微鼓轮对在1,2,3,3.5,3.7 5,4,4.5 5,6,7,8 m m等点上,并依次在万能工具显微镜上分别读出以上位置的读数,每个读数减去零位点的读数
7、即为该点的实际值。测微鼓轮上的受检点的标称值与实际值之差即为该点的示值误差。回程误差是在上述检定正行各点检测后,再以最后一点对零。按上述各点反向转动 2J J G 7 6 5-1 9 9 2鼓轮得到其反向读数。正反两次同一点的读数差,即为该点的回程误差。其测量次数应不少于3 次,取3 次平均值定为回 程误差。4 等倾干涉仪纵向手轮示值误差及回程误差4.1 要求 在 1 8 0 mm内示值误差不大于0.1 m m,3 0 0 m m内不大于0.1 5 m m,回程误差不大于0.1 m m.4.2 检定方法 将 3 0 0 m m标准尺放在检 3 1 0 m m长平晶支承架的工作台上,取下测微 目
8、镜接上接长管,调整测微 目镜的位置,以便在视野内看清毫米标准尺上的刻度。调整标准尺使其刻度与工作台运动方向平行,再将手轮 0 刻线对准指标线。用测微 目镜的测微螺旋副移动分划板上的十字线,使其与毫米标准尺的起始零刻线对准,然后移动工作台,每隔3 0 m m检一点,在手轮刻度上读出手轮的示值误差。手轮刻度的示值误差取与标准尺刻度值的最大差值确定。手轮示值的回程误差由在正反行程同一点上的读数差值确定。其方法同 3.2 款。5 等倾干涉仪接长筒的作用5.1 要求 测微目镜配上接长筒。调节其位置使在工作台的不同高度位置上能看到长平晶非工作面上的十字刻线,最低位置是将长平晶工作面朝上放在长平晶支承架 1
9、 0 0 m m处。当按长平晶检定状况,应能在视野同时看见上下两长平晶的十字刻线。5.2 检定方法 试验与观察6 标准干涉环直径 D。值的标准偏差6.1 要求 应不大于仪器本身给定的D。值,不确定度0.0 1 m m.6.2 检定方法 分别将 1 5 0 mm平面平晶及 2 1 0 m m长平晶支承架安装在等倾干涉仪上,放上相应的平晶 后,测量视场内 离中心最近较清楚两环的直径,并按式(1)求出D o D o=丫 D 子+,一 叹(1)式中:D。标准干涉环直径;D内圈干涉环直径;D*+1 外圈干涉环直径。在1 0 个不同干涉级的 情况下,进行D。的测量,并以1 0 次测量结果的 平均值作为其
10、D。值。(2)J J G 7 6 5-1 9 9 2式中:D。:每次测量得D o 值;D 0-1 0 次D。值的 平均 值。其中由(2)式算得的 3。不大于 0.0 1 m m.7 等倾干涉仪干涉环条纹小数测量的重复性7.1 要求 重复性 3。应不超过 0.0 2 5 干涉级。7.2 检定方法 在 3 种不同干涉级的情况下重复测量 1 0次干涉环直径,并求出千涉级数,再按下式 计算式中:K;干涉级测量计算值K;=元干涉级 1 0 次平均值。一 K,:-K99 D iD,一;(3)最大重复性(3 的 应不超过 0.0 2 5干涉级。8 标准平晶的平面度8.1 要求 对于0 1 5 0 m m的标
11、准平晶 平面度不应大于0.0 3 j a m。对于2 1 0 m m长平晶无自 重变形的平面度在一 0.3-0 ti m范围内。8.2 检定方法 0 1 5 0 m m标准平晶在平面等倾干涉仪上用在 1级平晶中选出的平面度较好的四块平晶,以四面互检法检定。长平晶选平面度较好的四块长平晶进行。0 1 5 0 m m平晶被检两个截面应与刻字位置成 4 5“角,每个截面的方向如图2 所示。图2 对长平晶应按非工作面上刻有的十字线位置进行四面互检法检定。按四面法互检时,应采用规格相同的序号为 1,2,3,4四块平晶或长平晶依次组合6次。按 1 一 2,1 一 3,2 一3,1 一 4,2 一4,3 一
12、 4 组合。J J G 7 6 5-1 9 9 2两两叠合的 i 点测得值分别设为A;,B C i,D i,E i,F i,每块平晶在该点的计算值分别设为工、1 1 i m i Ni,由 此可得出如下方程组:、+n,=A+m*=B i,+1 V i=C i:+m=Di:+Ni=E i;+N*二F;下.丁工T上nUTTU和了一1!Veses.es.2(A i+B i+C i)一(C i+E i+只)6 2(A i+D i+E i)一(B i+C i+凡)6 2(B i+D;+只)一(A i+C i+E,)(4)2(C i+E;+F i)一(A i+B i+D i)可解得四块平晶在某一截面直径方向
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