T∕ZZB 0310-2018 滑阀真空泵.pdf
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1、前 言 本标准按照 GB/T 1.12009 给出的规则起草。 本标准由浙江省浙江制造品牌建设促进会提出并归口。 本标准由浙江省标准化研究院牵头组织制订。 本标准主要起草单位:浙江真空设备集团有限公司。 本标准参与起草单位:台州市计量技术研究院、台州市质量技术监督检测研究院、浙江杭真能源科技股份公司(排名不分先后)。 本标准主要起草人:杨华飞、钟云会、陈岚、阮立、许涛、余子英、罗根松、吕培先、朱东锋。 本标准由浙江省标准化研究院负责解释。 滑阀真空泵 1 范围 本标准规定了滑阀真空泵的术语和定义、型式与基本参数、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标牌、标志、包装、运输和贮存、质量承诺。
2、本标准适用于单级、双级滑阀真空泵(以下简称泵)。 2 规范性引用文件 下列文件对于本文件的应用是必不可少的。 凡是注日期的引用文件, 仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件,其最新版本(包括所有的修改单)适用于本文件。 GB/T 191 包装储运图示标志 GB/T 10322012 三相异步电动机试验方法 GB/T 3163 真空技术 术语 GB/T 32412010 电声学 倍频程和分数倍频程滤波器 GB/T 3785.12010 电声学 声级计 第 1 部分:规范 GB/T 6070 真空技术 法兰尺寸 GB/T 94392010 灰铸铁件 GB/T 13306 标牌 GB/T
3、 13384 机电产品包装通用技术条件 GB 147112013 中小型旋转电机通用安全要求 GB/T 151732010 电声学 声校准器 GB/T 19956.12005 容积真空泵性能测量方法 第 1 部分:体积流率的测量 GB/T 19956.22005 容积真空泵性能测量方法 第 2 部分:极限压力的测量 GB/T 212712007 真空技术 真空泵噪声测量 GB/T 336332017 真空技术 容积真空泵水蒸气容限的测量 JB/T 76732011 真空技术 真空设备型号编制方法 JB/T 81072011 容积真空泵 振动测量方法 SH/T 05281992 矿物油型真空泵油
4、 3 术语和定义 GB/T 3163中界定的以及下列术语和定义适用于本文件。 3.1 体积流率 volume flow rate 在理想状态下,单位时间内流经泵入口的气体体积,单位为L/s。 注:在实际上,一个给定泵在规定条件下工作,对给定气体的体积流率(S)取该气体的流量(Q)与在给定测试罩内规定位置的平衡压力(p)的商。 3.2 几何体积流率 geometric volume flow rate 泵每转理论吸气容积与额定转速的乘积,单位为L/s。 3.3 基础压力 base pressure 泵按规定条件工作,在不引入气体的情况下,标准测试罩内趋向稳定的压力,单位为Pa。 3.4 振动位移
5、 vibration displacement 物体相对于某一参考坐标位置的变化的矢量,单位为m。 3.5 能效比 energy efficiency ratio(EER) 泵在规定条件下工作,泵最大功率时的体积流率与消耗功率之比,单位为L/(skW)。 3.6 气镇 gas ballast 将适量非可凝性气体 (镇气) 引入到压缩腔内,使泵内避免或减少在压缩过程中产生冷凝液的一种方法。 3.7 水蒸气容限 water vapour tolerance 标准环境条件 (293K,65,101325Pa) 下,连续运转时泵内不发生冷凝,所能抽除水蒸气的最高入口压力,单位为(Pa)。 3.8 最低
6、启动温度 minimum starting temperature 入口在大气压力下,泵能启动的最低泵表面温度,单位为()。 4 型式与基本参数 4.1 型式 滑阀真空泵的结构为:与泵腔同心的主轴上安装有偏心轮和滑阀,转动时偏心轮带动滑阀(环)沿泵腔内壁滑动和滚动、 滑阀 (杆) 在装于泵壳适当位置可摆动的导轨中滑动, 把泵腔分为两个可变容积。分单级和双级两种结构。 4.2 型号表示方法 型号的编制和表示方法应符合JB/T 76732011的规定。 4.3 标记示例 单、双级滑阀真空泵标记示例: a) 体积流率为 70L/s 的双级滑阀真空泵,标记为:2H-70; b) 体积流率为 150L/
7、s 的单级滑阀真空泵,标记为:H-150。 4.4 基本参数 泵的性能参数应符合表1的规定。 表1 性能参数 序号 型号 体积流率 L/s 基础分压力(关气镇) Pa 基础全压力 Pa 抽气效率 水蒸气 容限PW Pa 振动 m 噪声LW dB(A) 能效比 L/(skW) 推荐电机 功率 kW 关气镇 气镇 1.5KPa 2.0Pa (分压) 1 H-8 8 610-1 3.0 40 80 3103 60 81 7.5 1.1 2 2H-8 8 510-2 1.3 20 45 2103 82 3 H-15 15 610-1 3.0 40 3103 80 86 2.2 4 2H-15 15 5
8、10-2 1.3 20 45 2103 85 5 H-30 30 610-1 3.0 40 3103 100 92 4.0 6 2H-30 30 510-2 1.3 20 45 2103 91 7 H-70 70 910-1 3.0 65 3103 180 93 10 7.5 8 2H-70 70 510-2 1.3 20 45 2103 92 8 9 H-120 120 910-1 3.0 65 3103 200 93 10 11 10 2H-120 120 510-2 1.3 20 45 2103 92 8.5 11 H-150 150 910-1 3.0 65 3103 250 93 1
9、0 15 12 2H-150 150 510-2 1.3 20 45 2103 92 8.5 13 H-300 300 910-1 3.0 65 3103 380 100 10 30 14 H-600 600 500 103 55 注1:抽气效率为泵的实际体积流率与几何体积流率之比。 注2:能效比为泵最大功率时的体积流率与消耗功率之比。 注3:基础压力系指经校准的薄膜真空计所测得的示值,其中分压是指带冷阱的薄膜真空计的示值。 注4:振动系指泵在基础压力时轴承部位径向的振动。 注5:噪声系指泵在基础压力(关气镇)下运转时的噪声(声功率级)。 5 基本要求 5.1 应具备对泵的结构强度、流道、运转
10、进行设计、分析能力,分析不同的进气压力对泵结构和功能的影响,并通过试验验证泵结构和功能的可靠性。 5.2 泵主要零件偏心轮、滑阀、导轨体、泵体的材质应根据 GB/T 94392010 的要求采用 HT250 或以上的牌号。每一批次浇注铸铁件应配附带试棒,做力学检测并保存相关力学检测数据以供溯源检测。 5.3 泵外购零部件应有供应商提供的相关资质证明文件、质量承诺文件以及关键检测数据记录。 5.4 电机应符合 GB 147112013 的中小型电机通用安全要求。 5.5 泵主要零件偏心轮、滑阀、导轨体、泵体加工前要进行时效处理,泵体和滑阀等零件粗加工后需进行二次定型处理,确保泵零件的通用性、互换
11、性和泵性能的稳定性。 5.6 泵体和滑阀等零件应采用数控或高精度设备加工,加工和装配过程应设计并使用专用装具、夹具,保证零件和产品的精度和成品率。 5.7 应具备材料成份、力学性能检验分析能力和泵出厂技术指标的检测能力。 6 技术要求 6.1 泵的各项性能指标应符合表 1 规定。 6.2 泵进气口和排气口法兰依据 GB/T 6070 规定或根据合同要求设计制造。 6.3 在规定的测试条件下,泵启动 15min 内应达到基础压力 2 倍以内的水平。 6.4 泵长期连续运转的最高入口压力容许值:双级泵不低于 1.5kPa,单级泵不低于 15kPa。泵抽大气时间不得超过 30min。 6.5 泵的工
12、作环境温度为 540。 6.6 泵的最低启动温度为 12。 6.7 在泵排气阀附近测得的外表温度为泵的工作温度。如无特殊要求,泵连续运转时的工作温度不得超过 95。 6.8 泵不允许有漏油、漏水现象。 6.9 推荐采用 SH/T 05281992 规定的真空泵油。 6.10 泵外表面涂漆应光滑、色调均匀;紧固件及其他外露加工表面应做防锈处理,镀层及发黑表面应无脱落划伤。 7 试验方法 7.1 试验条件 7.1.1 泵实测转速与额定转速之差不大于 3,并应进行修正。 7.1.2 泵油种类和数量应符合设计要求。 7.1.3 水冷泵的冷却水量应符合设计要求,冷却水温应低于 30。 7.1.4 环境温
13、度应为 1825,测量期间温度波动不大于1.5,相对湿度不大于 75。 7.1.5 试验气体为干燥气体,一般为空气。 7.1.6 测量气镇泵时,其掺气量应符合设计要求。 7.2 装置 7.2.1 测试罩 按GB/T 19956.12005中图1设计制作。 7.2.2 压力计 测量压力使用薄膜真空计, 测量分压使用带冷阱的薄膜真空计。测量压力大于或等于 1Pa 时,其校准的准确度在5以内;测量压力小于 1Pa 时,其校准的准确度在10以内。 7.2.3 气体流量计 在不同测试条件下,气体流量计的准确度为: a) 流量大于 9.910-1Pam3/s,气体流量计的准确度应达到3; b) 流量在 9
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