莱宝真空检漏仪Phoenix L300 中文操作说明书.pdf
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1、cerlikonleybold vacuumPhoeniXL300氮质谱检漏仪操作说明书产品号:250000250001250002251000251001251100251101pHOENlXL 300目 录1.一般介绍.1.1 本手册使用中的注释.1.1.1 安全符号.1.1.2 表示法.1.1.3 真空工艺符号.1.1.4 术语定义.1.2 引言.1.2.1 用途.1.2.2 技术数据.1.2.2.1 P hoeniXL300 物理数据.1.2.2.2 电气数据.1.2.2.3 其它数据.1.2.2.4 环境.1.2.2.5 P hoeniXL300 dry 物理数据.1.2.2.6 电
2、气数据.1.22.7其 它数据.1.2.2.8 环境.1.2.2.9 P hoeniXL300 Modul 物理数据.1.2.2.10 电气数据.1.2.2.11 其它数据.1.2.2.12 环境.1.3拆箱 1.3.1 提供的设备.1.3.2 附件和选用件.1.3.2.1 吸枪 SL300.1.3.2.2 遥控单元.2.安装.2.1 工作场所.2.2 电气连接.2.2.1 系统供电.2.2.2 数据采集系统的连接.2.2.2.1 选项(附件).222.2数字输出.2.2.2.3数字输入.2.224记录器.2.2.2.5 RS232.2.2.2.6遥控单元.22.3真空连接.2.3.1 吸入口
3、.2.3.2 排气口.2.3.3 放气.2.3.4 气镇连接.2.4缺省设置.3.首次运行检查.3.1 必须的设备.3.2 初次运行概述.3.2.1 启动和测量.3.2.2 内部校准.3.2.3 检验.4.工作原理.4.1 弓I言.4.1.1 P hoeniXL300 真空系统.4.1.1.1 P hoeniXL300 dry 真空系统.4.1.1.2 P hoeniXL300 Modul 真空系统.4.1.2 控制面板.4.1.2.1 液晶显示器.4.1.2.2 START(启动)按钮.4.1.2.3 STOP(停止)按钮.4.1.2.4 ZERO(调零)按钮.4.1.2.5 MENU(莱单
4、)按钮.4.1.2.6 软键.4.1.2.7 数字输入.4.1.3 真空法.4.1.4 分流法.4.1.5 吸枪模式.4.1.6 遥控单元控制.4.1.7 遥控单元触摸屏.5.P hoenix 的使用.5.1 显示器.5.2 起动模式下屏幕.5.3 待机模式卜显示器.5.3.1 气镇.5.4 测量模式下屏幕.5.4.1 调出校准.5.4.2 扬声器音量.5.4.3 显示器上状态行.5.4.4 数字显示模式.5.4.5 趋势模式.6.莱单简介.36.1 主菜单.6.2 视图.6.2.1 标尺线性/对数.6.2.2 显示范围自动/手动.6.2.3 时间轴.6.2.4 对比度.6.2.5 待机模式下
5、本底.6.2.6 显示下限.6.3 模式.6.4 触发器和报警.6.4.1 触发电平1.6.4.2 触发电平2.6.4.3 触发电平3.6.4.4 单位.6.4.5 音量.6.4.6 报警延迟.6.4.7 音频报警类型.6.4.7.1 定点.647.2漏率比.6.4.7.3设置点.6.4.7.4触发报警.6.5 校准.6.6 设置.6.6.1 真空设置.6.6.1.1 放气延迟.6.6.1.2 真空范围.6.6.1.3 分流设备.6.6.1.4 吸枪因子.6.6.1.5 机器因子.6.6.1.6 内部测试漏孔漏率.6.6.2 过滤器和本底.6.6.2.1 计算吸入口区段本底.6.6.2.2 本
6、底抑制.6.6.2.3 漏率过滤器.6.6.3 质量.6.6.4 接口.6.6.4.1 控制的位置.6.6.4.2 确定记录器输出.6.6.4.3 RS232 协议.6.6.4.4 确定P LC输出.6.6.4.5 确定P LC输入.6.6.4.6 记录器输出定标.46.6.5 杂项.6.6.5.1 时间和日期.6.6.5.2 语言.6.6.5.3 校准请求.6.6.5.4 前级泵检修周期.6.6.5.5 油过滤器检修周期.6.6.5.6 油过滤器检修信息.6.6.6 参数保存/装入.6.6.6.1 装入参数组.6.6.6.2 保存参数组1.6.6.7 监视功能.6.6.7.1 真空模式压力限
7、制.6.6.7.2 吸枪模式压力极限.6.6.7.3 最大抽空时间.6.7 信息.6.7.1 维护.6.8 访问控制.6.8.1 访问校准功能.682修改菜单一P IN.6.8.3 调零.7.校准.7.1 引言.7.2 校准程序.7.2.1 内部校准.7.2.2 外部校准.7.3 校准系数一数值范围.8.错误和警告信息.8.1 提示.8.2 错误和警告清单.9.维修.9.1 欧瑞康莱宝真空的服务.9.1.1 维护计划.9.1.2 拆开 P hoenix.9.1.3 更换过滤网.9.1.4 换油.9.1.5 清洁.9.1.6 更换熔断器.9.1.7 油过滤器.9.2 涡轮分子泵.符合EC声明.5
8、1.一般介绍我们建议您认真阅读本技术手册,确保从启动开始就一直保持最佳工作状态。本技术手册包含P hoeniX检漏仪的功能,安装,启动和操作等重要内容。本手册所有内容基于P hoeniXL?00检漏仪。我们保留修改设计和给定数据的权利,插图也不受限制。1.1 本手册使用中的注释1.1.1 安全符号有关操作安全与防护的主要标记有:正确操作或使用的有关规程,否则会造成设备事故或轻微损坏。注意防止危及各种人身伤害的有关规程。当心1.1.2 表示法参阅图的标法是依次由各号和项号组成的。例如,图2/7表示图2中项目7。1.1.3 真空工艺符号下面给出的是本手册中使用的一些重要真空符号:Q/)普通真空泵
9、涡轮分子泵(V;测量仪表X-阀61.1.4术语定义自动量程修正自动选择前置放大器量程和真空范围。P hoeniX自动量程修正依据选择的运行模式覆盖整个范围或漏率。为了达到控制目的不仅使用漏率信号,而且使用试样内(入口压力 P 1)压力和前级压力(P 2),通过阀门进行主量程间量程切换。主 量程内精细量程转换靠切换前置放大器增益系数实现。质量定位自动调谐这个功能自动调整质谱室使显示最大漏率。控制处理器改变产生选 定质量范围离子的电压直到离子探测器探测到最大离子流为止。在 每次校准过程中自动进行质量定位。自动调零氨本底测定和自动修正。通过这个功能,确定仪器内部零电平,然后从当前漏率信号中扣除。在校
10、准过程中或如果P hoeniX在待机或放气模式下已预先运行至少 20秒,当再次操作启动按钮时进行自动调零。如果预先抑制的氨本 底下降,使在调零期间仅显示下限显示值,则自动修正零电平。菜单菜单可使用户按他的要求编程P hoeniXo菜单为树状结构。缺省工厂供货时P hoeniX的状态。GROSS(粗检)GROSS是允许高入口压力(0.215mbar)的测量模式。最小可检测 漏率为 lX10-8mbarl/soFINE(精检)HNE是允许入口压力V0.2 mbar的测量模式。最小可检测漏率为 IXIO_10 mbarl/s0PRECISION(精细检)P recision是P hoeniX dry
11、仅允许入口压力V0.01 mbar的测量模式。在这种模式下P hoeniX灵敏度最高,最小可检测漏率W2X W11 mbar1/So前级管道压力涡轮分子泵和旋片泵之间前级管道内压力。最小可检测漏率在真空模式下P hoeniX能检测的最小漏率(W5E-12 mbar 1/s)。内部筑本底测量系统内存在的氮分压。在待机模式下测量的内部氢本底电平,要从测量信号中扣除掉。测量模式P hoeniX测量试样漏率。71.3引言1.3.1 用途P hoeniX是氢检漏仪。该仪器可以两种不同方法检测试件漏孔位置和漏 孔大小:,试件首先抽空,用氨气喷试件外表面。它要求在P hoeniX与试件之 间进行真空连接(真
12、空模式)。或者在试件内充入超压氢,用连接到吸入口吸枪从外表面检测试件。(吸 枪模式)。当心P hoeniX仅用来检漏。不得用作抽空系统(尤其是抽腐蚀性或含水气体)。抽可冷凝气体和蒸汽:当抽空试件时,试件内水蒸汽会到达前级泵。对 于空气中水蒸汽一尤其在潮湿场所或使用含水试件时一有时可超过允 许水蒸汽含量。当水蒸汽增加超过允许值时,泵油中水汽冷凝。因而油特性改变,泵有 被腐蚀的危险。在可冷凝气体和水汽环境下使用检漏仪时,必须定期检查前级泵汕质 量。因此你必须判断泵内是否有水蒸汽冷凝。通常油是浅颜色透明的。当汕内有水蒸汽时,工作温度下油呈昏暗乳状物。当停泵时,水蒸汽冷凝,汕中水分增加。当心检漏工作(
13、在这过程中冷凝气体或水汽被抽出)结束后,不得立即停检 漏仪。必须打开气镇阀(见第5.3.1节)继续运行(至少20分钟)直到 泵油中不含水汽为止。如果忽视本说明造成泵内腐蚀,则不在我们担保之列。必须经常控制泵油高度。必须按正常换油周期换厂商提供的汕。见旋片 泵说明书。如果P hoeniX用于有毒物质场所,请与Oerlikon Leybold Vacuum公司联 系以提供消毒规程。如果检漏仪与危险气体接触,必须填写污染声明。81.3.2技术数据1.3.2.1 PhoeniXL 300 物理数据最大入口15 mbar最小可检测氢漏率在真空模式下W5xio mbar 1/s在吸枪模式下V1 X 10:
14、mbar 1/s能显示的最大氢漏率0.1 mbar 1/s测量范围12数量级漏率信号时间常数(封闭,终值的63%)2.5 1/s可检测质量2,3,4质谱室180扇形磁场离子源2灯丝,钺/氧化钮吸入口DN 25 KF起动时间(启动后)W2 min为了降到最小可检测漏率范围,必须满足一些条件。P hoeniX已完全预热。环境状况必须稳定(温度,无振动/加速度)试件抽空足够长(本底不再下降)ZERO必须激活。1.3.2.2电气数据电源230V,+1-5%,50Hz功率消耗420 VA保护类型IP 40电源线(EU,USA,UK)2.5 m1.3.2.3其它数据阀门电磁尺寸(长,宽,高)mm490X4
15、30X315重量kg40.0噪声水平dB(A)54音频报警dB(A)95污染水平(按IEC 60664-1)2过电压等级(按1EC 60664-1)II1.3.2.4 环境用于室内允许环境温度(运行期间)+10.+40允许贮存温度0.+60最高相对湿度80%(最高 31)在40。线性下降到50%最大允许海拔高度(运行期间)2000 m91.3.2.5 PhoeniXL300 dry 物理数据最大入口压力最小可检测氢漏率真空模式,吸枪模式能显小的最大氢漏率测量范围漏率信号时间常数(封闭,终值的63%)入口抽速(氢)GROSS模式 P RECISION 模式 FINE模式可检测质量质谱室离子源吸入
16、口起动时间(启动后)15 mbarW2xl0/mbar 1/s 1X1O7 mbar 1/s 0.1 mbar 1/s 12数量级 2.5 1/s2,3 和 4 180扇形磁场2灯丝,钺/氧化铝DN 25 KF W2 min1.3.2.6电气数据 电源230V,50Hz115V,60Hz功率消耗保护类型电源线(EU,USA,UK)350 IP 402.5 m1.3.2.7其它数据阀门尺寸(长,宽,高)mm重量kg噪声水平dB(A)音频报警dB(A)污染等级(按IEC 60664-1)过电压类别(按IEC 60664-1)电磁490X430X31535.554952II1.3.2.8 环境用于室
17、内允许环境温度(运行期间)允许贮存温度最大相对湿度+10.+400.+6080%(最大 31)在40线性下降到50%最大允许海拔高度(运行期间)2000 m1.3.2.9 PhoeniXL300 Modul 物理数据最大入口压力最小可检测氮漏率在真空模式下-用涡旋泵15 mbarW8X IO_12 mbar 1/s10用油封泵在吸枪模式下能显ZK的最大氢漏率测量范围漏率信号时间常数(封闭,终值的63%)入口抽速(氢)GROSS模式一 FINE模式可检测质量质谱室离子源吸入口起动时间(启动后)1.3.2.10 电气数据电源功率消耗保护类型电源线(EU,USA,UK)1.3.2.11 其它数据阀门
18、尺寸(长,宽,高)mm重量kg噪声水平dB(A)音频报警dB(A)污染等级(按IEC 60664-1)过电压类别(按IEC 60664-1)1.3.2.12 环境用于室内允许环境温度(运行期间)允许贮存温度最大相对湿度最大允许海拔高度(运行期间)5xl012mbarl/s 1X1O 7 mbar 1/s 0.1 mbar 1/s 12数量级 2.5 1/s2,3 和 4 180扇形磁场2灯丝,钺/氧化钮DN 25 KFW2 min100 V.230V,50/60 Hz350 VAIP 402.5 m电磁490X430X31529.513V(约7mA)低的含义:U 视图时间轴趋势模式时间轴的长度
19、可以按已给定的16960秒之间时间间隔修改。软键3:箭头下缩短时间轴长度。最小值为16秒软键5:?帮助功能软键7:箭头上增加时间轴长度。最大可调整值是960秒。6.2.4 对比度主菜单视图对比度显示的对比度可以改变。常规条件下推荐值约为50。如果无意中将显示设置的太亮或太暗,以致于不能正常读数,可按下述方法调整:38先关掉P hoeniX,然后再启动它,在起动阶段,按下键3或7直到能再次正常读出显示值 时再将手抬起。只有经过对比度菜单确认后才能把该设置存入EP ROM。如果不确认该设置,当再次打开仪器之后仍使用以前的设置。软键3:箭头下将对比度渐渐变暗,最小值为0软键4:颠倒显示把屏幕对比度颠
20、倒。软键5:?帮助功能软键7:箭头上将对比度渐渐变亮。最大值为99。6.2.5 待机模式下本底主菜单 视图待机模式下本底在待机模式下可以显示,也可不显示内部本底漏率。缺省设置是关。软键3:关不显示本底漏率软键5:帮助功能软键7:开显示本底漏率没有抽出的残余气体(如氢)产生内部本底。残余气体源是空气或从检漏仪内表面放出 的吸附气体。内部本底决不会完全消失。长期抽空的很洁净系统本底约为lOimbarl/s。在常 规条件下,本底水平为IO-10 mbar 1/s或低于10-9 mbar 1/s范围。当按START时一,当前内部本底会从以后测量信号中自动扣除。因此能保证测量试件的漏 率仅为净漏率。当再
21、次转换到待机/放气时,25秒后计算新内部本底。更新值加有下划线。这就意味着当 该值有下划线时一,如果按START,则实际本底信号将被扣除。当该值没有下划线时,如果按 START,最后一次待机老本底信号将被扣除。6.2.6 显示下限主菜单,视图显示下限这种模式限制测量漏率范围(检测极限)。这仅对真空模式有效。软键3,7:在1X10和lx1。-%之间改变检测下限P hoeniXL300 dry 的下限范围在 1 X 10$和1 x 1011 mbar 1/s 之间软键5:?帮助6.3 模式主菜单 模式模式菜单图19使子菜单能选择不同工作模式。39图19模式菜单键号 名称1 取消3 吸枪457 真空
22、8 OK6.4触发器和报警主菜单 触发器和报警在这个菜单图20可以设置触发电平,说明返回主菜单而不改变现有设置将使用吸枪模式在这菜单中不用在这菜单中不用将使用真空模式保存设置返回到先前菜单扬声器音量和漏率及压力单位。图20触发器和报警菜单键号名称说明1返回返回主菜单2触发电平1确定触发电平1,第641节3触发电平2确定触发电平2,第6.4.2节4触发电平3确定触发电平3,第643节5单位选择漏率和压力单位,见第644节6音量见第6.4.5节7报警延迟见第6.4.6节8音频报警类型选择不同报警类型,见第647节406.4.1 触发电平1主菜单 触发器和报警触发电平1能设置第1触发电平值。有关输入
23、说明见第4.1.2.7节数值输入。触发1,2和3是可编程开关阈。当大于这些阈值时,P hoenix有如下反应:显示 如果漏率大于(即高于)程控值,在显示器状态行,反相显示符号Trigger 1,2 和 Trigger 3。继电器输出 数字输出中继触发器换向。详见第2.222节数字输出。报警/扬声器 此外给触发电平1规定的不同报警类型起作用,(见第647节音频报警类型)。6.4.2 触发电平2主菜单,触发器和报警触发电平2能设置第2触发电平值。有关输入说明,见第4.127节数值输入。如果超过触发2,相应继电器将切换。显示器也会指示(见上)。6.4.3 触发电平3主菜单触发器和报警触发电平3能设置
24、第3触发电平值,有关输入说明,见第4.127数值输入。如果大于触发3,相应继电器将切换,显示器也会指示(见上)。6.4.4 单位主菜单 触发器和报警,单位能选择喜欢的漏率单位。有4个压力单位(mbar,P a,Torr,atm)和5个漏率单位(mbar 1/s,P a m3/s-l,Torr 1/s atm cc/s s ft3/yr)可供选择。对于吸枪模式有以下可供选择测量单位(见第6.3节)ppm g/a eq(氮漏率等效于漏率 R134a)oz/yr eq(氮漏率等效于漏率R134a)。软键2:箭头上向上卷,选择压力单位。软键3:箭头下向下卷,选择压力单位软键6:箭头上向上卷,选择漏率单
25、位软键7:箭头下向下卷选择漏率单位6.4.5 音量主菜单 触发器和报警,音量能将扬声器调整到最小响度和正常音量。最小响度是不能超过的,为最小值的扬声器最小音量。因此不要将实际音量偶然地调整 到低于环境噪声水平值。41实际音量可在15(最大)和按最小响度确定的值之间调整。软键2:箭头下降低最小响度。最小值为0。软键3:箭头下降低实际音量。最小值由最小音量限定。软键4:高频音关/高频音开软键5:帮助功能软键6:箭头上提Wj最小音量。最大值为15软键7:箭头上提高正常音量。最大值为156.4.6 报警延迟主菜单,触发器和报警 报警延迟在某些应用中(例如在“室测试系统”中抽空时),按START之后必须
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
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