无尘室管理及7S本.ppt
《无尘室管理及7S本.ppt》由会员分享,可在线阅读,更多相关《无尘室管理及7S本.ppt(45页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、目目 的的 :使相关人员能了解无尘室环境的基础知识使相关人员能了解无尘室环境的基础知识及无尘室管理规定,进而达成环境清净化及无尘室管理规定,进而达成环境清净化之要求。之要求。无尘室常识及无尘室常识及7S7S管理管理课课 程程 大大 纲纲认识无尘室认识无尘室污染防制手法污染防制手法无尘室日常管理无尘室日常管理无尘室进出作业标准无尘室进出作业标准静电防制静电防制常犯问题点说明常犯问题点说明7S7S管理制度及含义管理制度及含义(1)微尘脏污造成微尘脏污造成ITO蚀刻蚀刻(2)微尘造成微尘造成TP组合组合异物短路异物短路(3)微尘造成微尘造成IC短路短路(4)微尘造成微尘造成IC Bonding后变形
2、短路后变形短路微尘粒子的影响微尘粒子的影响Y认认 识识 无无 尘尘 室室无无 尘尘 室室 之之 演演 进进19581958美国为发展太空科学开始作无尘室之研究美国为发展太空科学开始作无尘室之研究19611961完成空军之无尘室规格完成空军之无尘室规格(100000(100000级级)1963 DEC1963 DEC美国联邦无尘室规格公布美国联邦无尘室规格公布(F.S209)(F.S209)1966 AUG1966 AUG修正修正F.S 209A F.S 209A 增加设计及测试方法等增加设计及测试方法等1010项项1973 APR1973 APR修正修正F.S 209BF.S 209B气流量及
3、温湿度范围气流量及温湿度范围1977 MAY1977 MAY修正修正F.S 209B F.S 209B 增加增加10001000级标准级标准1987 OCT1987 OCT修正修正F.S 209C F.S 209C 增加增加1010级与级与1 1级标准级标准(1M DRAM(1M DRAM问市问市)1988 JUN1988 JUN修正修正F.S 209D F.S 209D 标准标准1992 DEC1992 DEC修正修正F.S 209E F.S 209E 采取公制单位采取公制单位(Class M1-Class M7)(Class M1-Class M7)构成无尘室需具备因素构成无尘室需具备因素
4、能有效去除空气中飘浮之微尘粒子能有效去除空气中飘浮之微尘粒子能防止微尘粒子之产生能防止微尘粒子之产生温度与湿度可以得到控制温度与湿度可以得到控制各区域之压力可以得到调节各区域之压力可以得到调节有害之废气可被排出有害之废气可被排出有害之废水可被排出有害之废水可被排出建物结构物与隔间具有气密建物结构物与隔间具有气密有静电防制有静电防制有电磁干扰之预防有电磁干扰之预防有节省能资源之考虑设计有节省能资源之考虑设计安全因素之考虑安全因素之考虑无无 尘尘 室室 之之 适适 用用 范范 围围工业用防尘室工业用防尘室I.C.R(Industrial Clean Room)I.C.R(Industrial Cl
5、ean Room)半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天半导体、电子工业厂、光学机械、精密机械、航天生化及医药用防尘室生化及医药用防尘室B.C.R(Biological Clean Room)B.C.R(Biological Clean Room)制药、医疗设施、生物实验室制药、医疗设施、生物实验室无无 尘尘 室室 的的 构构 造造防尘室的主要结构是通过空调机吸引外界的空气。空调机内部设置一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器,用这种方式将灰尘及微子粒子一般过滤器、中效能过滤器、高效能过滤器,用这种方式将灰尘及微子粒子去除。去除。经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入,型成气流
6、经过过滤的清净空气经过天花板上的出风口向室内吹入,型成气流使气流成为正压是很重要的。气流经过回风口使气流成为正压是很重要的。气流经过回风口(地板地板)、回风通道返回空、回风通道返回空调机内。室内的压力通过右上部的气压闸来控制调整。调机内。室内的压力通过右上部的气压闸来控制调整。Y污染防制手法污染防制手法1.1.外部异物侵入防止(不带入)外部异物侵入防止(不带入)z防尘室保持正压防尘室保持正压(0.5mm Aq 0.5mm Aq 以上以上)z工程管路不漏气、漏水工程管路不漏气、漏水z原物料搬入前要清洁擦拭原物料搬入前要清洁擦拭z空气滤网适当设置与管理空气滤网适当设置与管理2.2.室内发尘源抑止(
7、不产生)室内发尘源抑止(不产生)z穿防尘衣穿防尘衣z生产线自动化人员不聚集生产线自动化人员不聚集z设备发尘位置管理设备发尘位置管理z不使用易发尘材料不使用易发尘材料3.3.室内尘埃不积蓄(不堆积)室内尘埃不积蓄(不堆积)z墙壁体力求光滑无死角以便于检视及清墙壁体力求光滑无死角以便于检视及清洁洁z制程设备四周应留有空间制程设备四周应留有空间z防尘室要定期清洁与保养防尘室要定期清洁与保养4.4.产出的异物被排出(排除)产出的异物被排出(排除)z足够的换气次数足够的换气次数z污染源直接排出室外污染源直接排出室外z空调的气流速度要适当空调的气流速度要适当无尘室的污染源防止四原则无尘室的污染源防止四原则
8、Y无尘室日常管理无尘室日常管理1进入更衣室前需在门口脱鞋方可进入,不允许穿着拖鞋在更衣室内走动(违者每次罚款30元)。2更衣室内地板,柜子顶端不允许随意乱丢手套,口罩等垃圾,违者每次罚款30元。3领取手套,发帽,口罩等物品时,需按顺序排队领取。手套,发帽等物品需以破旧换新方可领取,如无破旧物品换新,则需以手套1元/双,发帽1元/个购买,否则不予发放。进入更衣室相关规定进入更衣室相关规定更衣室内不允许穿拖鞋更衣室内不允许穿拖鞋1.进入无尘室之工作人员须穿着合适之连体无尘衣服、鞋子、网帽,不进入无尘室之工作人员须穿着合适之连体无尘衣服、鞋子、网帽,不可穿着过宽或过紧之连体无尘衣、鞋、网帽。可穿着过
9、宽或过紧之连体无尘衣、鞋、网帽。2.穿着连体无尘衣、鞋、网帽、口罩等,须依下列顺序进行(见无尘服穿着连体无尘衣、鞋、网帽、口罩等,须依下列顺序进行(见无尘服穿戴步骤彩图)穿戴步骤彩图)a、戴上口罩(钢丝线朝上,以手指按捏钢丝,使口罩与鼻梁密合、戴上口罩(钢丝线朝上,以手指按捏钢丝,使口罩与鼻梁密合(如下如下图图)b、扎好头发,戴上网帽(头发不可露出,如下图)。、扎好头发,戴上网帽(头发不可露出,如下图)。c、穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴)、穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴)(如下图如下图)。d、戴上手套(衣袖口须包住手套口)、戴上手套(衣袖口须包住手套口)(如下
10、图如下图)。e、着装完成照镜检查服装仪容、着装完成照镜检查服装仪容无尘衣穿戴标准无尘衣穿戴标准1.戴上口罩戴上口罩,钢丝线朝上钢丝线朝上2.扎好头发,戴上扎好头发,戴上网网帽(头发不可帽(头发不可露出露出)3.穿着连体无尘衣(先拉上拉链,穿着连体无尘衣(先拉上拉链,最后粘好颈部魔术贴)最后粘好颈部魔术贴)4.穿上无尘鞋穿上无尘鞋 无尘衣穿戴流程无尘衣穿戴流程1.1手套口反折卷入衣袖手套口反折卷入衣袖 手套未卷入袖口手套未卷入袖口5.戴上手套(手套口反卷入衣袖)戴上手套(手套口反卷入衣袖)OK规范佩带图规范佩带图 NG 错误佩带图错误佩带图无尘衣穿戴流程无尘衣穿戴流程1.2步骤一:轻踩在海绵上沾
11、湿鞋底。步骤一:轻踩在海绵上沾湿鞋底。步骤二:沾湿的鞋底在刷子上来回刷三次,步骤二:沾湿的鞋底在刷子上来回刷三次,清洁鞋底脏污。清洁鞋底脏污。清洁鞋底清洁鞋底 进入风淋室进入风淋室、入口和出口的门不可同时打开,、入口和出口的门不可同时打开,进入风淋室以进入风淋室以3人为上限(具体如风人为上限(具体如风淋室要求),不得超过。淋室要求),不得超过。、空气吹风未停止时,禁止将风、空气吹风未停止时,禁止将风淋室的门打开。淋室的门打开。、空气淋浴时、空气淋浴时,须高举双手并转动须高举双手并转动身体身体,以利灰尘吹除,吹净时间以利灰尘吹除,吹净时间10S以上。以上。、空气淋浴时,双脚须踩踏脚踏、空气淋浴时
12、,双脚须踩踏脚踏粘垫粘垫3次以上,以利清除鞋底灰尘、次以上,以利清除鞋底灰尘、异物。异物。、风淋室的吹气口不得任意调整。、风淋室的吹气口不得任意调整。、风淋室入口门禁系统拆除,须、风淋室入口门禁系统拆除,须恢复原始功能,入口门开,出口门恢复原始功能,入口门开,出口门须关闭。须关闭。不能带入无尘室之物品不能带入无尘室之物品1.没有经过清洁之器材设备或测定器等物品没有经过清洁之器材设备或测定器等物品2.瓦楞纸箱、木材、铅笔、普通用纸、橡皮擦、瓦楞纸箱、木材、铅笔、普通用纸、橡皮擦、立可白立可白3.普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张普通未经过特别处理之记录或笔记用纸张4.香烟、打火机、饮料、食品、
13、泡泡糖、化妆品香烟、打火机、饮料、食品、泡泡糖、化妆品挥发性油剂或瓦斯罐等挥发性油剂或瓦斯罐等Y静静 电电 防防 制制任何物质在静止状态呈任何物质在静止状态呈“电中性电中性”,但当不同带电的两个物体,但当不同带电的两个物体,彼此接触、摩擦或分离时就会产生静电,例如用布摩擦过的尺,彼此接触、摩擦或分离时就会产生静电,例如用布摩擦过的尺,可以吸起碎纸。若静电过大就会造成静电放电可以吸起碎纸。若静电过大就会造成静电放电(Electrostatic Discharge(Electrostatic Discharge简称简称ESD)ESD),会引起火花,甚至会引起暴炸。精密的半导体组件只要几百伏特的静电
14、位,会引起火花,甚至会引起暴炸。精密的半导体组件只要几百伏特的静电位,就会造成破坏。就会造成破坏。静静 电电 之之 产产 生生各种物体经彼此摩擦后,由于电子移转率之不同,所产生之静电荷各种物体经彼此摩擦后,由于电子移转率之不同,所产生之静电荷也就有大小之分,表中所列之物体,是按也就有大小之分,表中所列之物体,是按“摩擦电摩擦电”的静电位大小而的静电位大小而排列次序,愈在上位者,愈趋正电性,愈下愈趋负电性,当上、下排列次序,愈在上位者,愈趋正电性,愈下愈趋负电性,当上、下两物体摩擦时,顺序差越远则所产生的静电荷越大。两物体摩擦时,顺序差越远则所产生的静电荷越大。静静 电电 产产 生生 之之 大大
15、 小小(1)(1)破坏电子回路破坏电子回路(2)(2)吸附微尘粒子,造成污染吸附微尘粒子,造成污染(3)(3)放电火花易引起灾变放电火花易引起灾变表表 2-5 2-5 静电之破坏电压静电之破坏电压静电之破坏力静电之破坏力-以半导体为例以半导体为例1.1.物体接地物体接地 -物体如果是导体,将其接地可以使静电流向打大地释出物体如果是导体,将其接地可以使静电流向打大地释出2.2.增加环境湿度增加环境湿度 -非导电物体表面吸收水份,可以增加其导电性,非导电物体表面吸收水份,可以增加其导电性,藉以使静电释出,一般湿度应控制在藉以使静电释出,一般湿度应控制在40 60%RH40 60%RH3.3.在物体
16、上涂抹带电防止剂在物体上涂抹带电防止剂 -在非导电物体表面涂抹,使其成为在非导电物体表面涂抹,使其成为有导电性有导电性4.4.物体在制造时增加导电材料物体在制造时增加导电材料-如如 IC TRAY IC TRAY盘、静电袋盘、静电袋5.5.使用静电消除器使用静电消除器-可以产生正、负空气离子,来中和物体上之静电可以产生正、负空气离子,来中和物体上之静电6.6.减少接触次数,动作速度放慢减少接触次数,动作速度放慢7.7.使用防静电之无尘衣使用防静电之无尘衣8.8.穿戴静电手环或导电鞋穿戴静电手环或导电鞋静静 电电 防防 制制Y常常 犯犯 问问 题题 点点 说说 明明将食品饮料带入更衣室内将食品饮
17、料带入更衣室内包装纸箱与物品直接进入室内包装纸箱与物品直接进入室内同时打开传递箱俩侧直接交谈同时打开传递箱俩侧直接交谈涂抹化妆品或喷香水在身体上涂抹化妆品或喷香水在身体上穿脱防尘衣的动作顺序错误穿脱防尘衣的动作顺序错误未定期换洗防尘衣未定期换洗防尘衣防尘衣破损或磨耗起毛球未换防尘衣破损或磨耗起毛球未换没有定期擦拭防尘鞋底没有定期擦拭防尘鞋底随意调出风口角度及吹气时间随意调出风口角度及吹气时间在室内急速行走或奔跑扬尘在室内急速行走或奔跑扬尘在作业现场拉开防尘衣拿东西在作业现场拉开防尘衣拿东西穿防尘衣座于地板或踏高台阶上穿防尘衣座于地板或踏高台阶上选用乳胶手套的尺寸不合适选用乳胶手套的尺寸不合适在
18、作业现场脱除乳胶手套在作业现场脱除乳胶手套在乳胶手套上书写文字或图像在乳胶手套上书写文字或图像使用黏胶带后未清洗乳胶手套就作业使用黏胶带后未清洗乳胶手套就作业清扫过后未清洗乳胶手套就作业清扫过后未清洗乳胶手套就作业处理破裂玻璃后未清洗乳胶手套就作业处理破裂玻璃后未清洗乳胶手套就作业进行药剂进行药剂(水水)调配后未清洗乳胶手套就作业调配后未清洗乳胶手套就作业撕黏着踏垫后未清洗乳胶手套就作业撕黏着踏垫后未清洗乳胶手套就作业接触油溶剂后未清洗乳胶手套就作业接触油溶剂后未清洗乳胶手套就作业混用无尘抹布将脏污加载产品流动区域内混用无尘抹布将脏污加载产品流动区域内使用有回转功用的椅子使用有回转功用的椅子带
19、入非防尘室专用纸张或笔记本带入非防尘室专用纸张或笔记本在室内使用铅笔及橡皮擦在室内使用铅笔及橡皮擦在室内有撕纸或搓揉纸张动作在室内有撕纸或搓揉纸张动作在受热的地方使用非耐热胶带在受热的地方使用非耐热胶带在设备或工具的驱动部使用胶带固定对象在设备或工具的驱动部使用胶带固定对象清扫过程中未依从上而下顺序打扫清扫过程中未依从上而下顺序打扫选用错误吸尘器清扫大量发尘选用错误吸尘器清扫大量发尘接触产品正面接触产品正面将流程卡放于篮具上将流程卡放于篮具上使用空气枪将灰尘吹起使用空气枪将灰尘吹起篮具直接放于地板上沾附灰尘篮具直接放于地板上沾附灰尘在防尘室内急速行走或奔跑在防尘室内急速行走或奔跑将防尘颈部黏扣
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- 无尘室 管理
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【精***】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【精***】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。