电子显微镜介绍.pptx
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1、L o g o电子显微镜电子显微镜 electron microscopeL o g oCompany L o g oCompany L microscope(electron microscope,EM)EM)一般一般是指利用电磁场偏折、聚焦电子及电子与物质是指利用电磁场偏折、聚焦电子及电子与物质作用所产生散射之原理来研究物质构造及微细作用所产生散射之原理来研究物质构造及微细结构的精密仪器。近年来,由于电子光学的理结构的精密仪器。近年来,由于电子光学的理论及应用发展迅速,此项定义已嫌狭窄,故重论及应用发展迅速,此项定义已嫌狭窄,故重新定义其为一项利用电子与物质作用所产生之新定义其为一项利用电
2、子与物质作用所产生之讯号来监定微区域晶体结构、微细组织、化学讯号来监定微区域晶体结构、微细组织、化学成份、成份、化学键结和电子分布情况的电子光学装化学键结和电子分布情况的电子光学装置。置。v用电子光学仪器研究物质组织、结构、成分的用电子光学仪器研究物质组织、结构、成分的技术称为电子显微术。技术称为电子显微术。L o g oCompany L o g oCompany L 电子显微镜技术发展简史电子显微镜技术发展简史 L o g oCompany L 电子显微镜的组成电子显微镜的组成v电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成电子显微镜由镜筒、真空装置和电源柜三部分组成。镜筒镜筒镜筒镜筒荧光屏
3、荧光屏荧光屏荧光屏探测器探测器探测器探测器电子透镜电子透镜电子透镜电子透镜样品架样品架样品架样品架电子源电子源电子源电子源电子源是一个电子源是一个释放自由电子释放自由电子的阴极,栅极,的阴极,栅极,一个环状加速一个环状加速电子的阳极构电子的阳极构成的。成的。电子透镜电子透镜用来聚焦电子,用来聚焦电子,是电子显微镜是电子显微镜镜筒中最重要镜筒中最重要的部件。的部件。探测器用来收探测器用来收集电子的信号集电子的信号或次级信号或次级信号 真空装置用以保障显微镜内的真空状态,这样电子在其路径上不会被吸收或偏真空装置用以保障显微镜内的真空状态,这样电子在其路径上不会被吸收或偏向,由机械真空泵、扩散泵和真
4、空阀门等构成,并通过抽气管道与镜筒相联接。向,由机械真空泵、扩散泵和真空阀门等构成,并通过抽气管道与镜筒相联接。电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成电源柜由高压发生器、励磁电流稳流器和各种调节控制单元组成样品可以稳定地放在样品架上。样品可以稳定地放在样品架上。此外往往还有可以用来改变样此外往往还有可以用来改变样品(如移动、转动、加热、降品(如移动、转动、加热、降温、拉长等)的装置温、拉长等)的装置。L o g oCompany L o g oCompany L 3个纳米。扫描式电个纳米。扫描式电子显微镜主要用于观察固子显微镜主要用于观察固体表面的形貌,也能与体表面的形貌,也
5、能与X X射射线衍射仪或电子能谱仪相线衍射仪或电子能谱仪相结合,构成电子微探针,结合,构成电子微探针,用于物质成分分析用于物质成分分析3发射式电子显微镜用于发射式电子显微镜用于自发射电子表面的研究。自发射电子表面的研究。用途用途L o g oCompany L TEM(Transmission Electron MicroscopyTransmission Electron Microscopy,亦称投射式电子显微镜)因电子束穿透样品后,再用电子透镜成像放大而得名。v成像原理:成像原理:透射电镜是以电子束透过样品经过聚焦与放大后所产生的物像,投射到荧光屏上或照相底片上进行观察。透射电镜的分辨率
6、为0.10.2nm,放大倍数为几万几十万倍。由于电子易散射或被物体吸收,故穿透力低,必须制备更薄的超薄切片(通常为50100nm)。其制备过程与石蜡切片相似,但要求极严格。要在机体死亡后的数分钟钓取材,组织块要小(1立方毫米以内),常用戊二醛和饿酸进行双重固定树脂包埋,用特制的超薄切片机(ultramicrotome)切成超薄切片,再经醋酸铀和柠檬酸铅等进行电子染色。电子束投射到样品时,可随组织构成成分的密度不同而发生相应的电子发射,如电子束投射到质量大的结构时,电子被散射的多,因此投射到荧光屏上的电子少而呈暗像,电子照片上则呈黑色,称电子密度高v构造构造:透射式电子显微镜镜筒的顶部是电子枪,
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