大宗气体特气系统介绍专题培训课件.ppt

大宗气体特气系统介绍大宗气体特气系统介绍Section 1气体的类型气体的类型Section 2气体供应方式气体供应方式Section 3气体设备气体设备Section 4尾气处理尾气处理Section 5控制系统控制系统ContentContentSection 6大众气体输送系统大众气体输送系统Section 7压缩空气压缩空气(CDA)气体类型气体类型1,1,按照气体的使用量分类按照气体的使用量分类:(1),(1),大宗气体大宗气体:(2),(2),特殊气体特殊气体:2,2,按照气体的性质分类按照气体的性质分类:(1),(1),惰性性气体惰性性气体 (2),(2),助燃性气体助燃性气体 (3),(3),易燃性气体易燃性气体 (4),(4),腐蚀性气体腐蚀性气体 (5),(5),氧化性气体氧化性气体 气体类型气体类型3,3,按照气体的纯度分类按照气体的纯度分类:(1),(1),一般气体一般气体:(2),(2),高纯气体高纯气体:4,4,按照气体常温条件下的状态分类按照气体常温条件下的状态分类:(1),(1),气态气体气态气体(2),(2),液态气体液态气体 (3),(3),高压气体高压气体 (4),(4),低压气体低压气体 1:On-site gas generator supply:CDA,GN2,O2 现场制造气体现场制造气体2:Bundle supply:H2,He 集装格供应气体集装格供应气体3:Lorry tank supply:Ar,O2 液体槽车供应气体液体槽车供应气体4:Gas cylinder supply:Special Gas 钢瓶供应气体钢瓶供应气体气体供应方式气体供应方式 流量计流量计Tank LorryN2 Plant液态气体储罐液态气体储罐Purity GasGeneral GasOutside OfBuildingInside OfBuilding过滤器过滤器0.02m,0.01m无尘室无尘室气体纯化器气体纯化器过滤器过滤器(0.05m)过滤器过滤器(0.1m)调压器调压器气化器气化器r气体供应方式气体供应方式气体输送系统气体输送系统特殊气体系统特殊气体系统气体输送系统气体输送系统特殊气体系统特殊气体系统-流程图流程图特殊气体集中输送系统特殊气体集中输送系统(BSGS)气体输送系统气体输送系统气瓶柜气瓶柜安全安全设计设计(外外壳壳)不不锈钢锈钢 316L VIM/VAR选选用材料符合特殊用材料符合特殊气气体需要体需要100%内内表面表面电电子抛光子抛光无无颗颗粒粒泄漏率泄漏率:1 x 10 10 Atm-cc/sec(He)PLC 控制控制&触触摸摸瓶瓶操作操作 和和 维护维护方便方便全自全自动动循循环环工工艺艺自自动动工工艺钢瓶艺钢瓶切切换换安全安全选项选项&联动联动装置装置显显示器示器:EL Mono or TFT Color气瓶柜气瓶柜 流程图流程图Gas Cabinet Flow DiagramA:PROCESSB:PURGEN2C:GENERALN2D:LEAKCHECKHeE:EXHAUST气体分流箱气体分流箱(VMB)(VMB)在不用停止供在不用停止供气气的的条条件下增加使用点件下增加使用点降通降通过减过减少少气瓶柜气瓶柜的的数数量量来来降低降低费费用用系系统统和安全和安全选项类选项类似于似于气瓶柜气瓶柜设计简洁设计简洁1 X 8 输输送送VMB P&IDVMB P&ID:Process In:Process In:Process Out:Process Out:Process Out :Process Out :Process Out:Process Out:Process Out :Process Out :Process Out:Process Out:Process Out:Process Out:Process Out:Process Out:Process Out:Process Out:Purge N2 In:Purge N2 In:Gas Gas InIn气体输送系统气体输送系统尾气处理尾气处理SafetyDesign&SystemDesigned with Anti-corrosionMaterialEasyOperationandMaintenanceLowRunningCostHighEfficiencyPLCController&TouchPanelFullAutoCycleProcessSafetyOption&InterlocksApplicableMonitoringSystem Dry Scrubber Thermal Wet Scrubber Plasma Type POU ScrubberPlasma chamberWater chamberInlet port(4 ports-standard)Touch screenMiddle flange Flow controller(N2,Air water)Controller of Gas and Chemical Supply System Free Volt Main Power PLC Process Touch Panel Operation Display:EL Mono or TFT Color COM:RS-232C 422,485,Data Highway Box Size W796 x D330 x H315Signal TowerManometerEMG12”TFT Color DisplayGas Flow Gas Flow DiagramDiagramActual Actual PressurePressureMonitoring SystemMonitoring SystemGMS Concept FlowPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKPOWERFUSEP R O GR U N T E S T B R E A K E R R O R B A T T A L A R MT E S T R U N R E M O T E P R O GN700P R O G R A MEthernEthernet et LinkLinkWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINKWIRE WIRE LINKLINK ServerFull Point I/O Panel PCGas CabinetVMBHubHubHubHubEthernet TransceiverGas CabinetVMBGas CabinetVMBServerFull Point I/OServerFull Point I/OMonitoring SystemMonitoring SystemGMS大众气体大众气体定义:在空气中可以提取的气体,如氮气,氧气,氩气,氦气等.储藏方式:低温储罐,高压钢瓶低温气体低温气体低温液体在常压下一般沸点低于-180例如液氧(-182.9)液氩(-185.7)液氮(-195.8)液氦(-268.9)低温储罐低温储罐储罐和槽车储罐和槽车大众气体输送系统大众气体输送系统钢瓶内气体钢瓶内气体 （1）压缩气体 临界温度低于-10的气体，经加高压压缩，仍处于气态者称压缩气体，如氧、氮、氢、空气、氩、氮等。这类气体钢瓶若设计压力大于或等于12MPa（125kg/cm2）称高压气瓶。（2）液化气体 临界温度10的气体，经加高压压缩，转为液态并与其蒸气处于平衡状态者称为液化气体。（3）溶解气体 单纯加高压压缩，可产生分解、爆炸等危险性的气体，必须在加高压的同时，将其溶解于适当溶剂，并由多孔性固体物充盛。在15以下压力达0.2MPa以上，称为溶解气体（或称气体溶液），高压钢瓶高压钢瓶大众气体输送系统大众气体输送系统-气瓶架气瓶架大众气体输送系统大众气体输送系统-气体汇流排气体汇流排压缩空气压缩空气(Compress Dryer Air)(Compress Dryer Air)压缩空气(CDA)是指经空气压缩机压缩后,经干燥,压力高于大气压的空气.压缩空气是一种能源，是一种由电能转化而来的能源。作为用来开动机具和阀门的主要能源,它易于控制，使用方便，能灵巧精确地完成动作，有缓冲作用，而且不发热、没有污染。空气压缩机及辅助设备空气压缩机及辅助设备空气压缩机冷冻式干燥机过滤器储罐空压机站内流程图空压机站内流程图