试谈半导体铜线工艺流程模板.doc
试谈半导体铜线工艺流程模板.doc
- 配套讲稿：
如PPT文件的首页显示word图标，表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制：
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片，仅作为作品整体效果示例展示，禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词：
- 半导体 铜线 工艺流程 模板
- 资源描述：
-
n n 半导体铜线工艺步骤 时间:-09-03 剩下:0天 浏览: 37 次 收藏该信息 一、 铜线键合工艺 A、铜线工艺对框架特殊要求-------铜线对框架要求关键有以下几点： 1、 框架表面光滑，镀层良好； 2、 管脚共面性良好，不许可有扭曲、翘曲等不良现象 管脚粗糙和共面性差框架拉力无法确保且轻易出现翘丝和切线造成烧球不良，压焊过程中轻易断丝及出现tail too short ； B、保护气体----安装时候确保E-torch上表面和right nozzle 下表面在同一个平面上．才能确保烧球时候，氧化保护良好．同时气嘴在可能情况下尽可能靠近劈刀，以 确保气体最大范围保护 C、劈刀选择——同金线相比较，铜线选择劈刀差异不是很大，但还是有一定差异： 1、铜线劈刀T 太小2nd轻易切断，造成拉力不够或不均匀 2、铜线劈刀CD不能太大，也不能太小，不然轻易出现不粘等现象 3、铜线劈刀H和金线劈刀无太大区分（H比铜丝直径大8µm即可，太小轻易从颈部拉断） 4、铜线劈刀CA太小线弧颈部轻易拉断，太大易造成线弧不均匀； 5、铜线劈刀FA选择通常要求8度以下（4-8度） 6、铜线劈刀OR选择大同小异 D压焊夹具选择 铜线产品对压焊夹具选择要求很严格，首先夹具制作材料要选择适当，同时夹具表面要光滑，要确保载体和管脚无松动要，不然将直接影响产品键合过程中烧球不良、断线、翘丝等一系列焊线问题。 二、 铜线特征及要求 切实可行金焊线替换产品 。 细铜焊线（<1.3mil） 铜焊线，机械、电气性质优异，适适用于多个高端、微间距器件，引线数量更高、焊垫尺寸更小。 铜焊线（1.3-4mil） 铜焊线，不仅含有铜焊线显著成本优势，而且降低了铜焊点中金属间生长速度，这么就为大功率分立封装带来了超一流可靠性。 铜焊线成本优势 因为铜成本相对较低，所以大家更愿意以铜作为替换连接材料。对于1mil焊线，成本最高可降低75%*，2mil可达90%*，具体则取决于市场情况。 铜焊线优异性能 铜线导热导电性能显著优于金线和铝线，所以能够以更细焊线直径达成愈加好散热性能及更高额定功率。和金相比，铜机械性质更强，这么在模压和封闭过程中能够得到优异球颈强度和较高弧线稳 铜焊线优点（和金焊线相比） 材料成本低 • 降低单位封装成本，提升竞争优势 导电性好 金焊线4.55 10 E7/ Ohm m 铜焊线5.88 10 E7 / Ohm m • 在微间距封装中能够采取更细焊线 • 微间距应用性能优异（焊垫尺寸较小） • 提升功率调整器件（TO220、TO92、DPAK等等）电流容量和性能 导热性好 金31.1 kW/m2 K 铜39.5kW/m2 K • 传热效率更高 机械性质高 • 抗拉强度更大、延伸特征愈加好 • 模压中含有优异球颈强度和较高弧线稳定性 金属间（IMC）生长速度慢 • 提升机械稳定性、降低电阻增加量 • IMC生长较为温和，从而提升了键合强度 降低金属间生长速度，提升可靠性 和金线焊点相比，铜线焊点中金属间生长速度显著减小。这就降低了电阻、减小了产热，并最终提升了焊接可靠性和器件性能。因为铜线中金属间生长速度、电阻和产热均低于金线，故而电阻随时间增加量和老化速度同时得到减小。 铜线在焊接后能够形成比金线更稳定、刚性愈加好弧形 能够适应更长弧度（最长弧度7mm） 铜焊线经典尺寸及标准机械规格 直径 um 20 25 28 30 38 50 65 75 密耳 0.8 1.0 1.1 1.2 1.5 2.0 2.5 3.0 延伸率（%） 8-16 8-16 10-20 10-20 10-20 15-25 15-25 15-30 断裂荷载（g） 5-10 8-15 10-20 12-22 20-30 40-55 60-80 80-120 铜焊线包装和存放 铜含有较强亲氧性，所以必需对铜焊线进行保护以延长其保留期。为此各卷铜焊线均采取吸塑包装，并在塑料袋内单独密封 除了以上优点为，铜线还有以下特征： 1.铜线易氧化，标准上拆封铜线48小时用完。 2.铜线硬度高，轻易产生弹坑、不粘、断丝、、烧球不良 三、铜线和金线在键合工艺参数区分 1.EG-60 铜线压焊工艺参数和金线相比较最大改变是加大了contact force，以增加产品可焊性，为了减小弹坑风险，通常情况下1mil以下铜线采取LOW-Power模式，而1.2mil以上通常采取High-power模式 Set up machine  Set up machine(改为铜线方法)  F16() 1090ABBB bond sequence [normal (gold wire)->copper  F16 Tail control (降低tail too short 报警)  F16 1090ABB40  Menu 1 12-16  Menu 9 20  Menu A 8  F15 bond process control(降低 NSOP NSOL)  F15 ()10803  Menu 0 比gold wire 要 大部分  Menu 3 0  Menu 4 比bond force 稍小 Set up machine  Search high ( 降低 NSOP & tail too short)  Gold wire : 8-12  copper wire : 10-15  EFO parameter  Wire size (mil) 0.8 1.0 1.5 2.0  Current (mA) 5000-7000 1-15000  time (us) 500-800 1200-1800 Set up machine  BQM set up  Wire size (mil) 0.8-1.2 1.5-2.0  Rise time 1-2 2-3  Power level low high  Power control const-p const- p  Speed set  F15 比gold wire 稍低. 512-640 384-512 Set up machine  Set up machine  To Copper Wire  1 Higher EFO current for Cu  2 Shorter EFO time for Cu  3 In general, higher force & power  4 Longer Time factor  5 Higher WC force due to Cu hardness  6 Less Contact Power, use force to deform the ball during the contact stage then apply more base power Production issue  Ball  球不良原因：  吹气保护不好  铜线开封后预防时间太长．线有氧化（７２小时）  Tail length 不稳定造成烧球不好  Capillary 选择型号不对  Action:  调整吹气装置和E-TORCE位置，确保保护良好  更换铜线  调整２nd 焊接参数（base power and base force)确保tail length 稳定．  选择适宜capillary Production issue  1st  NSOP 原因：  Bond power 太小  Bond force 太大  Action:  在确保无crater 前提下．调整 power and force Production issue  2nd  NSOL 原因：  Bond power 太小或太大  Bond force 太大或太小  Action:  假如焊接后无留金痕迹应该调大 base power  假如焊接后有显著压断痕迹，应该调小 base power and force Production issue  2nd 后  tail too short 原因：  管脚位置浮动．  Bond power 太小或太大  Bond force 太大或太小  Action:  调整该焊点位置  假如报警后能够直接从capillary 穿下线，应该是base power 较小，应该调大base power 或减小base force  假如报警后线不能直接穿下capillary，必需把线拔除再穿话，应该减小base power 或增大base force. 四、铜线对生产效率和产品质量影响 1、产能相对较低---铜线硬度要强于金线，压焊过程中止丝几率和不粘相对增大，考虑到可焊性等原因，压焊速度相对较慢，正常情况下设备利用率是金线设备2/3左右。 2、偏心球、烧球不良（高尔夫球）产生较多----铜线2nd焊点切线稍有异常，将直接影响1st焊点烧球，气体保护范围太小或框架、夹具异常均会影响1st焊点烧球，所以在出现以上现象是，首先应排除硬件原因，然后再从参数方面处理。 3、不粘产生频繁----因为铜线特殊性，键合过程中不粘现象较为严重，在铜线键合过程中出现不粘，应从以下方面处理： A、要确保拆封铜线无氧化，沾污，拆封铜线要在48小时内用完。 B、夹具表面平整光滑，载体无松动 C、确保烧球时候，氧化保护良好 D、切线正常，无偏心球 E、装片平整度，胶量充足（胶量不足缺胶直接影响不粘，1.2mil以上铜线最为显著），固化温度均匀； F、劈刀选择合理 G、参数调整 4、弹坑风险增加---因为铜线硬度要强于金线，且轻易产生氧化，弹坑几率风险大大增 加。为了减小铜线弹坑风险，需从以下方面处理： A、配置专员每班做例行弹坑验证，包含更换品种，夹具及设备维修后。 B、加强过程监控---更换劈刀、修改1st、EFO参数后必需作弹坑试验； C、对部分硬件如气嘴、流量（保护气体），夹具，压缩空气等每班最少做一次检验，同时提醒作业员随时检验。 D、立即和用户沟通，铜线产品Pad测试点（探针印）小于20%，同时要确保一定铝层厚度，铝层厚度对照表以下图所表示： Wire Thickness Bond pad thickness Metallization Composition 0.8mil 1.0µm Al, Si, Cu 1.0mil 1.5µm Al, Si, Cu 1.2mil 2.0µm Al, Si, Cu 1.5mil 3.0µm Al, Si, Cu 2.0mil 3.0µm Al, Si, Cu 3.0mil 4.0µm Al, Si, Cu 4.0mil 4.0-6.0µm Al, Si, Cu 5.0mil 6.0-8.0µm Al, Si, Cu 6.0mil 6.0-8.0µm Cu/NiP/Pd/Au bravoroy at -12-10 00:09:38 thanks..good...up zjw_828 at -3-04 11 :49:38 Eagle60做TO220没问题，线径2。5MIL就能够，再大话可能有点困难！ 假如成功请大家拿出来晒下，分享下！ 本企业改做220，到现在为至还是能够，合格率全部是能够，一台机器能够顶多个半自动机器，能够少不少人呢 dasiy at -4-05 18 :03:10 看了大家，我们企业也做。 企业当初准备时候，升级版本，更改EFO BOX ，加N2H2保护气，优化参数。 不过 也做部分简单产品（SOT23，SOD123/323，SOT323/363，TO220/252/263，SLP系列）！ wgfzhong1985 at -7-27 22 :23:50 220/263/dip8,top5/6 li7626505 at -1-07 20 :20:23 sop14/8/16 dip8 TO-220 highywei at -1-12 20 :37:44 EAGLE60 做TO220 用 Kaijo FB880 做SOP SC SOT DPAK 等等。还能够，比金线差 公布人: 曾斌 电话: 等级: VIP(个人) 查看店铺 传真: 价格: 面议 公布者IP： 网址: http:// QQ: 邮件: 地域: 苏州市 昆山 地址: 江西兴国 (PC: 342400 ) 提醒您： 全部信息真实性和正当性由信息提供者负责,请您在进行交易时注意分辨真伪。 对于您所进行任何交易我们不作担保，而且不负担任何法律责任。 提议选择同城当面交易、二手商家信息，提升警惕。信息，提升警惕。手机号码所在地查询： IP地址所在地查询： 本文共有留言 3 篇︱阅读 37 次 查看全部留言直接发信给： 曾斌 姓名：正宗阳澄湖大闸蟹留言内容：阳澄湖大闸蟹专卖店-10-17 12:21:04 姓名：阳澄湖大闸蟹专卖店留言内容：阳澄湖大闸蟹专卖店-10-16 20:20:22 姓名：阳澄湖大闸蟹专卖店留言内容：阳澄湖大闸蟹专卖店-10-16 18:34:34 姓 名： 姓 别： 保密 男 女 联络电话： 电子信箱： 留言专题： 您留言：展开阅读全文
咨信网温馨提示：1、咨信平台为文档C2C交易模式，即用户上传的文档直接被用户下载，收益归上传人（含作者）所有；本站仅是提供信息存储空间和展示预览，仅对用户上传内容的表现方式做保护处理，对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿，我们不确定上传用户享有完全著作权，根据《信息网络传播权保护条例》，如果侵犯了您的版权、权益或隐私，请联系我们，核实后会尽快下架及时删除，并可随时和客服了解处理情况，尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确)，网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据，个别因单元格分列造成显示页码不一将协商解决，平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺，下载前须认真查看，确认无误后再购买，务必慎重购买；若有违法违纪将进行移交司法处理，若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传，付费前请自行鉴别，如您付费，意味着您已接受本站规则且自行承担风险，本站不进行额外附加服务，虚拟产品一经售出概不退款（未进行购买下载可退充值款），文档一经付费（服务费）、不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印，是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已，我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改，文档下载后都不会有水印标识（原文档上传前个别存留的除外），下载后原文更清晰；试题试卷类文档，如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案，请知晓；PPT和DOC文档可被视为“模板”，允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容；PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得，本站不作要求视为允许，下载前可先查看【教您几个在下载文档中可以更好的避免被坑】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权，请谨慎使用；网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽－－等)目的在于配合国家政策宣传，仅限个人学习分享使用，禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题，请及时联系平台进行协调解决，联系【微信客服】、【QQ客服】，若有其他问题请点击或扫码反馈【服务填表】；文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“【版权申诉】”，意见反馈和侵权处理邮箱：1219186828@qq.com；也可以拔打客服电话：0574-28810668；投诉电话：18658249818。
实名认证
平台协调中心【客服】
自信AI助手
微信客服
客服QQ
发送邮件
意见反馈
链接地址：https://www.zixin.com.cn/doc/2425694.html