《电池的特殊工艺》.ppt
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1、电池的特殊工艺(复习)西南科技大学理学院2011.05.021整理ppt主要特殊工艺l绒面的制备l扩散方法的改进l制作背面场l金属电极的制作l透明电极的制作2整理ppt一、绒面的制备1、绒面介绍 外貌类似“倒金字塔”状的一个个小锥体是由相交晶面形成的。绒面电池的硅表面通常平行于(100)面,倒金字塔由(111)面相交而成。配一副图片 教材P823整理ppt2、绒面的特点优点:l使入射光有两次机会进入电池,总的反射为33 33=11,比光滑硅片的反射率33低很多;l入射光经反射使入射光能够更接近在电池表面被吸收,增加载流子的收集几率。一、绒面的制备4整理ppt缺点:l绒面工艺过程操作增加难度l绒
2、面能吸收所有波长的光,使电池表面的温度升高,降低电池效率l表面制备金属电极难度加大,会消耗更多的金属材料一、绒面的制备5整理ppt制备原理:l硅的各向异性腐蚀剂通常采用碱性溶剂。在氢氧化钠、氢氧化钾、联氨、乙二胺或硅酸钠的水溶液里,水是氧化剂。添加醇类能起络合作用,如异丙醇、n-丙醇、仲丁醇或邻苯二酚。在高浓度的碱、联氨的水溶液中,氧化与络合两种作用同时存在 一、绒面的制备6整理pptl腐蚀液对不同晶面的腐蚀速率差别很大,方向的腐蚀速率比方向的腐蚀速率高达10倍以上。在水、乙二胺、邻苯二酚腐蚀剂中,(100)、(110)和(111)的腐蚀速率分别近似于50:30:3(微米/小时)。一、绒面的制
3、备7整理ppt制备方法一:l在60%的联氨(N2H4)水溶液中,加热到90,腐蚀30分钟,腐蚀速率为1.6微米/分,腐蚀深度可达48微米。一、绒面的制备8整理ppt制备方法二:l19%的氢氧化钾水溶液中,在80时腐蚀120分钟,腐蚀速率为0.59微米/分。腐蚀深度可达71微米。一、绒面的制备9整理ppt制备方法三:l0.71.0%的氢氧化锂水溶液,用无水乙醇作为分散剂,温度大于90,腐蚀6分钟以上,可得黑色均匀的绒面。一、绒面的制备10整理ppt制备方法四:l腐蚀液中氢氧化钠与异丙醇的质量配比为1:7,配制浓度合适的NaOH溶液(浓度在23%之间左右,原因如下:由于硅表面的平均反射率与少数载流
4、子的寿命是判断单晶硅绒面制作成功的主要参数,通过查阅文献发现:在90的条件下,单晶硅片表面的平均反射率在NaOH的浓度为2%时最低,降低到16%。同时,NaOH的腐蚀液质量的浓度越大,载流子的寿命就越高,在质量浓度为3%的NaOH腐蚀液在90腐蚀20min所得的载流子寿命最长,为0.8994us。)一、绒面的制备11整理ppt二、扩散方法的改进l标准工艺中我们讲到的是扩散批量生产制作pn结,通过改进工业中用离子注入的方法连续的掺杂制作pn结l离子注入的定义(后续)12整理ppt离子注入概述l最早应用于原子物理和核物理研究l提出于1950sl1970s中期引入半导体制造领域13整理ppt离子注入
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