GB50073-2001 洁净厂房设计规范.pdf
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1、 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 UDC 中华人民共和国国家标准 P GB 500732001 洁 净 厂 房 设 计 规 范洁 净 厂 房 设 计 规 范 Code for design of clean room 20011113 发布发布 20020101 实施实施 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 联合发布 中华人民共和国建设部 第 1 页,共 41 页 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 中华人民共和国国家标准 洁 净 厂 房 设 计 规 范洁 净 厂 房 设 计 规 范 Code for design of clean room
2、 GB 50073-2001 主编部门:中华人民共和国信息产业部 批准部门:中 华 人 民 共 和 国 建 设 部 施行日期:2 0 0 2 年1 月1 日 中 国 建 筑 资 讯 网中 国 建 筑 资 讯 网 2001 北 京 第 2 页,共 41 页 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 关于发布国家标准 洁净厂房设计规范的通知 建标2001231 号 根据国家计委“关于印发一九九二年工程建设国家标准制订、修订计划的 通知”(计综合1992490 号)的要求,由信息产业部会同有关部门共同修订的洁净 厂房设计规范 ,经有关部门会审,批准为国家标准,编号为 GB50073-
3、2001,自 2002 年 1 月 1 日起施行。其中,3.0.1、4.2.2、4.2.3、4.3.1、4.3.2(1 款)、4.3.3(1、2、4、5 款)、4.3.4(1 款)、4.3.7、4.4.1、4.4.3、4.4.4、4.5.1、5.2.1、5.2.2、5.2.3、5.2.4、5.2.5、 5.2.6、5.2.7、5.2.8、5.2.9、5.2.10、5.2.11、5.3.1、5.3.2(1、2 款)、5.3.3(1、2 款)、 5.3.5(1 款)、5.3.7(1 款)、5.3.10、6.1.4、6.1.5、6.2.1、6.2.2、6.2.4、6.3.1(1、3、4 款)、 6.
4、3.2、6.3.3、6.4.1(1、2、3、4 款)、6.5.1、6.5.2、6.5.3、6.5.4、6.5.5、6.5.6、6.5.7、 6.6.2、6.6.4、6.6.6、7.2.2、7.3.1、7.3.2、7.3.3(1、4 款)、7.4.1、7.4.2、7.4.3、7.4.4、 7.4.5(2 款)、8.1.1、8.1.3、8.1.5、8.1.9(2、3 款)、8.4.1、8.4.2、8.4.3、8.4.4、8.4.5、 9.2.2、9.2.3、9.2.6(1 款)、9.2.7、9.3.3、9.3.4、9.3.5、9.3.6、9.4.1、9.4.3、9.5.2、9.5.3、 9.5.4
5、、9.5.5、9.5.6、9.5.7 为强制性条文,必须严格执行。原国家标准洁净厂房设 计规范(GBJ73-84)同时废止。 本规范由中华人民共和国信息产业部负责管理,中国电子工程设计院负责具体 解释工作,建设部标准定额研究所组织中国计划出版社出版发行。 中华人民共和国建设部 二一年十一月十三日 第 3 页,共 41 页 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 前前 言言 本规范是根据建设部、 计委计综合1992490 号和1992建标字第 10 号文的要求, 由我部负责主编。具体由中国电子工程设计院会同有关单位共同对洁净厂房设计 规范GBJ 73-84 修订而成。在修订过程
6、中,修订组结合我国洁净厂房设计建造和运 行的实际情况,进行了广泛的调查研究和必要的测试工作,认真总结了洁净厂房 设计规范GBJ 73-84 执行 10 多年来的经验,等效采用国际标准 ISO14644-1洁净 室及相关受控环境,第一部分-空气洁净度等级的洁净度等级。广泛征求了全国有 关单位的意见,最后由我部会同有关部门审查定稿。 本规范共 9 章和 4 个附录。其主要内容有:总则、术语、空气洁净度等级、总体 设计、建筑、空气净化、给水排水、气体管道、电气等。 本规范在执行过程中,希望各行业、各单位结合工程实践,认真总结经验,如 发现需要修改和补充之处,请将意见和有关资料寄交北京市海淀区万寿路
7、27 号中国 电 子 工 程 设 计 院 洁 净 厂 房 设 计 规 范 管 理 组 ( 邮 编 :100840 传 真:010-68217842E-mail:www.ceedi),以供今后修订时参考。 本规范主编单位、参编单位和主要起草人: 主编单位主编单位:中国电子工程设计院 参编单位参编单位:信息产业部第十一设计研究院 中国石油化工集团上海医药工业设计院 中国建筑科学研究院 主要起草人主要起草人:刘存宏 陈霖新 张利群 王唯国 缪德骅 郝锡泽 赵 海 俞渭雄 周春海 晁 阳 贺继行 陆 原 肖红梅 樊勖昌 谭易和 黄德明 郭兴周 冷捷敏 冯佩明 第 4 页,共 41 页 洁净厂房设计规范
8、 资料编号: GB 50073-2001 目目 次次 1 总 则 .7 2 术 语 .8 3 空气洁净度等级.12 4 总 体 设 计.13 4.1 洁净厂房位置选择和总平面布置.13 4.2 工艺平面布置和设计综合协调 .13 4.3 人员净化和物料净化.14 4.4 噪 声 控 制.15 4.5 微 振 控 制.16 5 建 筑 .18 5.1 一 般 规 定.18 5.2 防火和疏散.18 5.3 室 内 装 修.19 6 空 气 净 化.21 6.1 一 般 规 定.21 6.2 洁净室压差控制 .21 6.3 气流流型和送风量 .22 6.4 空气净化处理 .23 6.5 采暖通风、
9、防排烟 .23 6.6 风管和附件.24 7 给 水 排 水.26 7.1 一 般 规 定.26 7.2 给 水 .26 7.3 排 水 .26 7.4 消防给水和灭火设备.27 8 气 体 管 道.28 8.1 一 般 规 定.28 第 5 页,共 41 页 8.2 管道材料和阀门 .28 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 8.3 管 道 连 接.29 8.4 安 全 技 术.29 9 电 气 .31 9.1 配 电 .31 9.2 照 明 .31 9.3 通 信 .32 9.4 自 动 控 制.33 9.5 静电防护及接地 .33 附录 A 洁净厂房生产工作间的火灾
10、危险性分类举例 .35 附录 B 净化空调系统设计对维护管理的要求 .36 附录 C 洁净室或洁净区性能测试和认证 .37 C1 通 则.37 C2 洁净室或洁净区性能测试要求.37 C3 洁净室测试方法.38 C4 监 测.39 C5 认 证.39 C6 记 录.40 本规范用词说明.41 第 6 页,共 41 页 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 1 总 总 则则 1.0.1 洁净厂房设计必须做到技术先进、经济适用、安全可靠、确保质量,并应符 合节约能源、劳动卫生和环境保护的要求。 1.0.2 本规范适用于新建、扩建和改建洁净厂房的设计。 1.0.3 洁净厂房设计应
11、为施工安装、维护管理、检修测试和安全运行创造必要的条 件。 1.0.4 洁净厂房设计除应按本规范执行外,尚应符合现行的有关强制性国家标准、 规范的规定。 第 7 页,共 41 页 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 2 术 术 语语 2.0.1 洁净室 clean room 空气悬浮粒子浓度受控的房间。它的建造和使用应减少室内诱入、产生及滞留 粒子。室内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行控制。 2.0.2 洁净区 clean zone 空气悬浮粒子浓度受控的限定空间。它的建造和使用应减少空间内诱入、产生 及滞留粒子。空间内其它有关参数如温度、湿度、压力等按要求进行
12、控制。洁净区 可以是开放式或封闭式。 2.0.3 移动式洁净小室 clean booth 可整体移动位置的小型洁净室。有刚性或薄膜围档两类。 2.0.4 人身净化用室 room for cleaning human body 人员在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 2.0.5 物料净化用室 room for cleaning material 物料在进入洁净区之前按一定程序进行净化的房间。 2.0.6 粒径 partical size 由给定的粒子尺寸测定仪响应当量于被测粒子等效的球体直径。对离散粒子计 数、光散射仪器采用当量光学直径。 2.0.7 悬浮粒子 airborne part
13、icles 用于空气洁净度分级的空气中悬浮粒子尺寸范围在 0.15m 的固体和液体粒 子。 2.0.8 超微粒子 ultrafine particle 具有当量直径小于 0.1m 的粒子。 2.0.9 微粒子 macroparticle 具有当量直径大于 5m 的粒子。 2.0.10 粒径分布 particle size distribution 粒子粒径频率分布和累积分布,是粒径的函数。 2.0.11 含尘浓度 particle concentration 单位体积空气中悬浮粒子的颗数。 第 8 页,共 41 页 2.0.12 洁净度 cleanliness 洁净厂房设计规范 资料编号: G
14、B 50073-2001 以单位体积空气某粒径粒子的数量来区分的洁净程度。 2.0.13 气流流型 air pattern 对室内空气的流动形态和分布进行合理设计。 2.0.14 单向流 unidirectional airflow 沿单一方向呈平行流线并且横断面上风速一致的气流。 2.0.15 垂直单向流 vertical unidirectional airflow 与水平面垂直的单向流。 2.0.16 水平单向流 horizontal unidirectional airflow 与水平面平行的单向流。 2.0.17 非单向流 non-unidirectional airflow 凡不符
15、合单向流定义的气流。 2.0.18 混合流 mixed airflow 单向流和非单向流组合的气流。 2.0.19 洁净工作区 clean working area 指洁净室内离地面高度 0.81.5m(除工艺特殊要求外)的区域。 2.0.20 空气吹淋室 air shower 利用高速洁净气流吹落并清除进入洁净室人员表面附着粒子的小室。 2.0.21 气闸室 air lock 设置在洁净室出入口,阻隔室外或邻室污染气流和压差控制而设置的缓冲间。 2.0.22 传递窗 pass box 在洁净室隔墙上设置的传递物料和工器具的开口。两侧装有不能同时开启的窗 扇。 2.0.23 洁净工作台 cle
16、an bench 能够保持操作空间所需洁净度的工作台。 2.0.24 洁净工作服 clean working garment 为把工作人员产生的粒子限制在最小程度所使用的发尘量少的洁净服装。 2.0.25 空态 as-built 设施已经建成,所有动力接通并运行,但无生产设备、材料及人员。 2.0.26 静态 at-rest 第 9 页,共 41 页 设施已经建成,生产设备已经安装,并按业主及供应商同意的状态运行,但无 生产人员。 洁净厂房设计规范 资料编号: GB 50073-2001 2.0.27 动态 operational 设施以规定的状态运行,有规定的人员在场,并在商定的状况下进行工
17、作。 2.0.28 检漏试验 leakage test 检查空气过滤器及其与安装框架连接部位等的密封性试验。 2.0.29 高效空气过滤器 HEPA(high efficiency particulate airfilter) 在额定风量下,对粒径大于等于 0.3m 粒子的捕集效率在 99.9%以上及气流阻 力在 250Pa 以下的空气过滤器。 2.0.30 超高效空气过滤器 ULPA(ultra low penetration airfilter) 在额定风量下,对粒径 0.10.2m 粒子的捕集效率在 99.999%以上及气流阻力 在 280Pa 以下的空气过滤器。 2.0.31 纯水 p
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