真空设备检漏的注意事项.docx
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1、真空设备检漏的注意事项为了保证真空设备或系统具有良好的密封性能,仅仅在设备安装完毕后去寻求漏孔的位置,堵塞漏孔的通道是远远不够的。有必要在真空设备或系统的设计、制造、调试、使用各个有关环节中随时进行真空检漏工作。真空设备设计中的注意事项1、根据设备的工艺要求,确定真空设备的总的最大允许漏率,并依据这一总漏率确定各组成部件的最大允许漏率。2、根据设备的最大允许漏率等指标,在设计阶段就初步确定将要采用的检漏方法,并将其作为指导调试 验收的基本原则之一。3、根据设备或部件的最大允许漏率指标,决定设备的密封、连接方式和总体加工精度,以及何种动密封形式能够满足要求。如,法兰采用金属密封或橡胶密封。4、容
2、器结构强度设计时,考虑如果采用加压法检漏被检件所应具有的耐压能力和结构强度。5、选择零部件结构材料时,考虑是否使用了可能被工作介质和示漏气体腐蚀而导致损坏的材料。6、结构设计时,在容器或系统上要留有必要的检漏仪器备用接口,以便在设备组装、调试过程中检漏使用。尤其是大型、复杂的管路系统,通常需要采用分段检漏方法,因此在管路上要设置分段隔离的阀门,并在每一隔离段上预留检漏仪器接口。7、零件结构设计时,尽量避免采用可能干扰检漏工作的设计方案。例如在真空室內螺钉孔不能采用盲孔形式,因为安装螺钉后螺孔内部剩余空间的气体只能通过螺纹间隙逸出,形成虚漏。从而延长系统抽气时间,干扰检漏正常进行。如图真空检漏中
3、不应出现的结构。8、与此类似,结构设计中不允许存在连续双面焊缝和多层密封圈结构,因为这会在中间形成“寄生积”内的气体会形成虚漏;而当内、外双侧焊缝或密封圈同时泄漏时,“寄生容积”使示漏气体穿越双层焊缝的响应时间过长,无法正常检漏。9、焊接结构设计时,尽量减少总装后无法检漏的焊缝。真空设备制造过程中的检漏在设备的加工阶段,有必要跟随加工工艺(尤其是焊接工艺)及时地对半成品零部件进行检漏。对于制造完毕后无法接触、检漏或修补的部件,焊缝质量要严格检漏,不合格的及时重焊、补焊并重新检漏,符合要求后才可以进行下一道工序。特别是对于大容器的组焊、加工,中间过程的检漏十分关键,必要时应该设计、制造专门的检漏
4、工具(如探漏盒、盲板等)。对于采用双层室壁水冷夹套的真空室体,最好首先组焊完内层室壁并检漏,确认没有漏孔后再组焊外层室壁。同样道理,对于室壁外侧有保温层等不易拆卸结构的情况,必须首先对室壁做严格检漏,然后才能包覆外层结构。在条件允许情况下,所有真空法兰与其接管(包括真空室体法兰与室体壁)均应采用焊后加工法兰表面的工艺。不经焊后加工的法兰,即便在安装调试阶段可能满足了密封要求,但在设备使用过程中,受热、振动等因素也可能诱发焊接应力的释放,从而导致法兰变形和密封性能下降。加工制造过程中,严格执行真空作业卫生和作业规范,对于提高真空设备和系统的气密性也是很有帮助的。焊接坡口打磨成型后,需经去油清洗并
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