洁净空调系统讲解实例分析-PPT.ppt

按一下以編輯母片標題樣式,按一下以編輯母片,第二層,第三層,第四層,第五層,*,*,*,洁净空调系统讲解实例分析,空調潔淨二課,1,Water System,AIR System,值班工作,心得,與建議,THE END,AGENDA,2,Cooling Tower System,Chiller System,PCW System,Warm Water System,Hot Water System,Water System,3,Water System,4,COOLING TOWER,廢熱的最終散發點。即除去冰機運轉時產生之熱能及,FAB,內所產生之熱能。,利用液體薄膜表面蒸發汽化，吸收底層液體熱量，降低冷卻水溫度。,回水溫度,(,約,35),會因工廠負載而有所改變,，,因此,風扇轉速會依據出冷卻水出口溫度,(28),為設定點，利用變頻器加,、,減風扇速度。,二廠共,10,座，位於,CUB,樓頂。,18(A/B),風扇為,40HP,，,910(A/B),風扇為,60HP,。,5,COOLING TOWER,水份散發後，補水水源係利用,RO,回收水及,MUA,冷凝回收水。若不足加入自來水。,補水啟動液位,:42cm,，,停止液位,:52cm,。,由,CUB,地下室,300T*2,地下室冷卻水槽,。,電導度大於,1500s/cm,，,由回水管,(7A,旁,),進行排水。,排水同時進行補水，電導度降至,1350s/cm,停止排水。,加藥。,因水塔是對大氣開放，因陽光照射及接觸大氣中細菌，易生長藻類及細菌,。,加藥控制是利用定時器，自動啟動加藥,Pump,，,並設定,Pump,每分鐘輸出量，達到藥量控制。,藥品種類,:TKC-3603(,水垢腐蝕抑制劑,),、,TKC-640(,殺菌劑,),、,漂白水,(,滅藻劑,),。,6,Water System,7,CHILLER SYSTEM,利用冷媒由蒸發器,，,汽化,(,吸熱,),、經壓縮機,，,壓縮,(,放熱,),提供,5,冰水。,熱力學第一定律,當有熱能（,Q,）,由於溫差的原因，由外界傳入一物體，通常會有溫度升高（粒子平均動能增加）且體積膨脹（對外界做功,W,）,的情形。我們把物體內所有粒子的總機械能稱為該物體的內能（,U,），,則由能量守恒可得：,Q,U,W,即 系統吸收的熱能系統內能增加量系統對外做功值。,8,CHILLER SYSTEM,冰水供給,:MUA,冰水管排、,RCA,溫控水排、,PCW,熱交換器,及,CDA System,。,溫水供給,:MUA,熱水管排。,冰水系統共,110,號冰機,，其中,3,、,6,、,9,為熱回收冰機，可提供約,35,溫水,。,Chiller Water Pump(CHP)110,號，,50HP,。,供應,5Kg/cm2,冰水進入冰機。,Second Chiller Water Pump(SCHP)110,號，,250HP,。,供應,5Kg/cm2,冰水至,MUA,、,RCA,、,CDA,及,PCW,熱交換器及,CDA System,。,9,CHILLER SYSTEM,冰機啟動,a.,與電力課確定用電狀況。,b.,確定閥件是否開啟。,c.,啟動冷卻水,pump,，,確定壓力,(,約,4Kg),是否建立。,d.,啟動冰水,pump,，,確定壓力,(,約,5Kg),是否建立。,e.,檢查油槽液位,(,視窗一半以下,),及溫度,(140145),。,f.,啟動冰機。調整,SCHP(,手動部分,),頻率使平衡運轉。,冰機啟動時機,a.,運轉冰機負載皆大於,90%,。,b.,二次冰水,pump,接近,60Hz,運轉,(,冰水主管路流量增加時,),。,c.,預計外氣溫度將持續升高。,10,CHILLER SYSTEM,冰機關閉,a.,與電力課確定用電狀況。,b.,按下冰機停止鍵,(,紅色,),，注意不可連續壓二次,(,緊急停止,),。,c.,等候關機後冷媒循環時間結束。,d.,關閉冷卻水,pump,。,e.,關閉冰水,pump,。,f.,調整,SCHP(,手動部分,),頻率使平衡運轉。,冰機關閉時機,a.,運轉冰機負載總和,%/,冰機運轉數目 小於,65%,。,b.,二次冰水,pump,接近,25Hz,運轉,(,冰水主管路流量降低時,),。,c.,預計外界氣溫將持續下降。,11,Water System,12,PCW System,提供,15,輸送壓力,(5.05.5kg),低溫水供應,FAB,內生產機台所需的冷卻水。,利用冰機提供,5,冰水,及板式熱交換器,降溫。,隨時注意出口,5.05.5Kg,，確定管線輸送正常。,電導度,:20s/cm,40s/cm,。,PH:6.08.0,。,補水以,DI Water,為主,，若有大量失水則補足自來水,。,13,PCW System,開機,:,a.,檢查,Pump,、,Heat Exchanger,、,Filter,前後各手閥是否開啟,(Open),。,b.,檢查回水閥後方手動閥是否打開。,c.,由值班室啟動,(ON),系統。,關機,:,a.,由值班室關閉,(STOP),系統。,b.,將回水氣動閥後方手動閥關閉,，以防止大量回水，造成,Tank,水位過高,。,失水,a.DI Water,停止供應時需注意,Tank,水位是否正常，低於,95cm,時打開,City Water,手動閥做緊急補水至,100cm,。,b.,持續監控水位，至,DI Water,恢復供應。,14,Water System,15,Warm Water System,Warm Water System,a.,利用冰機,(3,6,9,熱回收冰機,),運轉產生之熱源。,b.,提供,35,熱水，,5Kg,壓力。,c.,供給,MUA,熱盤管,，,加熱除濕後之低溫外氣使用。,Warm Water Pump(WWP)13,號，,50HP,。,供應,5Kg/cm2,溫水進入溫水主管。,Second Warm Water Pump(SWWP)13,號，,150HP,。,供應,5Kg/cm2,溫水至,MUA,熱,盤管。,16,Hot Water System,容量,:4000kw*2,運轉溫度,:125,小火溫度,:105,調整溫度,:117,17,Hot Water System,提供加溼系統、,Hot DI,、,DI,再生等所需熱源。,利用,N2,加壓提高沸點，提供高於,110,熱水。,容量,:4000kw*2 Set,。,於每月月保養後交換啟動。,啟動,/,切換機,a.,啟動備用鍋爐。,b.,檢查鍋爐上方手動閥，置於,”,開,”,。,c.,待備用鍋爐穩定後，關閉原運轉鍋爐。,18,1.Make-up Air,2.Recirculation Air,3.EXHAUST,a.ACID Exhaust,b.AMMONIA Exhaust,c.General Exhaust,d.Solvent Exhaust,AIR System,19,Make-up Air,冰水管排除濕 熱水管排加溫 蒸氣管 加濕 風車 無塵室靜壓,C/R,控制,溫度,:22.5,0.5,相對濕度,:43.5%1,20,Make-up Air,外氣空調系統,，提供新鮮空氣、溫溼度控制及潔淨室壓力。,數量,:F1-MUA-0112,共,11,部,。,1,、,38(7,部,),供應,C/R,，提供風量,:90,000 CMH*7,。,912,供應,FAB 1F,，提供風量,:46,000CMH*4,。,S4-MUA-0103,共,3,部,。,13(3,部,),供應,C/R,，提供風量,:70,000 CMH*3,。,CMP-MUA-013,共,3,部。,13(3,部,),供應,C/R,，提供風量,:44,200 CMH*3,。,啟動,:,a.,確認電力盤,/,變頻器電盤,/,緊急維修隔離盤供電正常,。,b.,現場設備硬體，控制閥位，儀俵配管等有無異常。,c.,冰水,(5)/,溫水,(35)/,空氣,/,電力供應是否正常。,d.,具自動控制功能，由值班室直接啟動。,21,Recirculation,Air,RCA,控制,/,保持 無塵室溫度,除去空氣中粉塵,保持空氣流動方向,(,由上而下,),22,Recirculation,Air,RCA,供應,FAB C/R,工作區潔淨的循環空氣,。,控制,Clean Room,內部溫度之主要設備。,F2-RCA-0127,共,25,組,(09,24,預留,),。,處理風量,:80,000CMH/set,冷水管排能力,:190KW,。,提供約,60(,次,/,小時,),的空氣循環，由,FAB,三樓製程區經由有孔型高 架地板，向下循環至,FAB,二樓回風區與外氣空調箱送進,FAB,之新鮮空氣混合後，經過,化學濾網與,95%,濾網，去除空氣中微粒及化學污染成份，再由風車前之冷盤管將空氣冷卻至設定溫度,，,由風車將循環空氣送至,FAB,四樓，將循環空氣經由安裝於天花板上之,ULPA,濾網去除微顆粒後，送進潔淨室以達,C/R,環境,C,LASS10000.3m,。,(CLASS1000:1000,顆,/in,2,*min),23,Exhaust Air/SCUBBER,PH,控制,:Ammonia 9,24,Exhaust Air/SCUBBER,提供,C/R,內製程所排放廢氣之洗滌處理。,利用循環水吸收及酸鹼中和原理，消去排氣中酸或鹼。,酸液,(,鹼液,),由上方噴下，流經填充物使液體形生薄膜增加,表面積。,濕式洗滌塔設計 規定,PH,控制,9,潤濕因子,0.1 M2/hr,填充塔空段滯留時間,0.5sec,填充物比表面積,:90 M2/M3,25,Exhaust Air/SCUBBER,1.,酸排氣,F1-SCF-0109:,酸排氣風車。,F1-SCS-0109:,酸排氣洗滌塔。,循環水,Pump:1200L/MIN*2/Set,。,EXHAUST FAN:45,000CMH,。,使用,50%NaOH,，中和塔內之酸性氣體。,提供,-90mmAq,5,排氣壓力。,2.,鹼排氣,F1-AEF-0103:,鹼排氣風車。,F1-AES-0103:,鹼排氣洗滌塔。,循環水,Pump:1200L/MIN*1/Set,。,EXHAUST FAN:8,000CMH,。,使用,50%H2SO4,，中和塔內之鹼性氣體。,提供,-90mmAq,5,排氣壓力。,26,Volatile Organic Compounds;VOC s,27,Volatile Organic Compounds;VOC s,揮發性有機溶劑處理系統,。,處理,Clean Room,內製程所產生有機揮發性氣體。,有機溶劑排氣利用沸石濃縮轉輪進行吸附,提高廢氣濃度,再利用燃燒機廢熱回收進行脫附,，,高濃度廢氣進入燃燒機最終處理,。,系統設計有二個熱回收器,，一為提供沸石脫附之熱源，另一為提供預熱進入燃燒機之氣體。此可降低熱排放減少熱污染,。,沸石,轉輪為蜂巢狀，運轉,(3.5rph),時分別進行低溫吸附、高溫脫附及再生三大步驟。,焚燒溫度,T1:730,脫附溫度,T3,:,180,火警警報溫度,T5:230,28,Volatile Organic Compounds;VOC s,依據法規第五章第七十條之規定,:,(1),故障發生後一小時內，向當地主管機關報備。,(2),故障發生後二十四小時內修復或停止操作。,(3),故障發生後十五日內，向當地主管機關提出書面報告。,廠務處,:,設備操作維護、異常事故公司內部通報、異常報告撰寫。,環保安全衛生部門,:,異常事故對外通報、異常報告提報、,協助異,常事故會議召開。,異常 通報項目,(1),通報人姓名、職稱,(2),發生時間,(3),故障設施、位置,(4),故障原因,(5),排放廢氣濃度、流量,(6),預計修護時間,29,值班工作,值班守則,巡檢事項,巡檢動線,ERT,任務,30,值班守則重點說明,1.,當值,:,值班人員在值班期間,不論人是否在機房內均應負起值班之責任。,2.,本身責任,:,對於所有管理的機器和設備負責查檢,運轉及供應品,質,如遇緊急情況時,按,ERT,所規定採取行動,並通知,各主管。,3.,設備運轉,:,所有機器設備運轉數值及情況均應確認正常。,4.,交接,:,(1),巡視系統,SCADA,檢查設備的狀態,(2),應確實保持接班時,運轉中的系統正常運轉,。,5.,自身安全,:,(1),可使用的通訊系統,(2),逃生路線,(3),辨知異常警報聲響,(4),消防設備位置,。,6.,留守,:,(1),負責緊急狀況的處理,(2),設備的運轉的情況,。,31,巡檢事項,1.,隨時注意有關的計測儀器,溫度,聲響。,2.,發現異常狀況時應立即採取適當的處置,並通報相關人員。,3.,確保系統在正常的情況下運轉。,32,巡檢動線,33,ERT,1.,消防,ERT=,滅火組,-,滅火的主力,NO.5871B-2004,2.Power ERT=,負責空調系統復歸,NO.5871B-2020,3.,異味,ERT=,負責確認異味來源並依廠值星官指令開啟排煙,系統,NO.5871B-2016,4.,化學品,ERT=,支援組,-,負責支援,GC,人員,NO.5871B-2009,5.,毒氣,ERT=,支援組,-,負責支援,GC,人員,NO.5871B-2012,6.,颱風,ERT=,應填寫防颱巡檢表,做好防颱措施,並監督系統,的運轉及定時巡檢之責,NO.5871B-2014,7.,地震,ERT=,應填寫地震巡檢表,並做好巡檢之責,NO.5871B-2007,34,心得及建議,心得,新進公司至今，每日忙於公司制式的各種教育訓練,。,空調設備腹地遼闊,、無所不在,!,除了維修及使用外尚,需練就一身好腳力,。,建議,個人短期間將繼續認識各個部門、各個設備之細部結構及操作使用，使值班工作更加安全,、,順利並期許能減少其他同事工作上壓力,。,未來工作方向將朝改善設備發展,，,增加設備自動化程度,。,例如,：,計劃改善,CMP-,NaOH,儲槽之手動輸送設備，預計將目前的單層,PVC,材質,輸送管線部份,，,更新為雙套管件來增加安全及防漏,，,另加裝低液位自動啟動補充,pump,裝置，防止因人員疏忽導致缺料之意外。,35,THE END,36,