备用闲置设备管理制度.doc

文件名备用闲置验收管理制度文件编号QEO/BYHN/ZD-10-09-2016（A/0）页码4/42、原材料及产品质量指标2.1、原料质量指标 名称品种规格消耗量吨/年备注氯气氯%（体积）99.8水和其它含氧杂质%（质量）0.015.三氯化氮%（质量）0.002不挥发的残余物%（质量）0.0159573符合GB-T-5138-1966标准的优质品氢气1氢%（质量）99.9972氧%（质量）0.0033露点 -60286（原始氢4%，循环氢282）2.2、产品质量指标2.2.1、合成HCL质量指标（体积） HCL含量：9597% H2含量：35% 无游离氯（含量小于20ppm） 水分含量200ppm2.2.2、CDI回收HCL质量指标（体积） HCL含量：95% H2含量：5% 氯硅烷含量：0.5%2.3、技术经济指标 产能（按70%）：合成HCL-9859T/a 消耗CL2：9573T/a 消耗H2：286T/a（其中补充氢4T；循环氢282T）3、工作原理3.1 HCL、合成工艺原理 HCL的合成是采用氢气在氯气中不爆炸燃烧的条件下进行的方法来制备： 反应式：H2 + CL2 = HCL 反应的发生需要一定的前提条件，即提供一定的能量，在光照或加热的情况下，二者能迅速反应，释放出大量的热。3.2 、工艺流程3.2.1 、工艺流程说明（附工艺流程图）氯化氢合成是由三套相同的合成炉系统，氢气、氯气缓冲罐，事故排放接收设备组成（其中H2、CL2缓冲罐及事故排放装置为三套合成炉系统共用）3.2.1.1、原料 外购液氯汽化后，到缓冲罐01V0701，经干燥后由管道输送至氯气缓冲罐V3-1.1.08。氢气来自制氢厂房及CDI装置，由管道输送至缓冲罐V5-1.1.10。3.2.1.2、HCL吸收 为了吸收合成炉R1-1.1.01、R1-1.1.01/1、R1-1.1.01/2安全薄膜阀动作时的事故废气，以及合成炉开停车或不合格的废气，设置HCL吸收装置。系统由两台（一开一备）一级降膜吸收器D1-1.1.1.01、D1-1.1.1.02，一台二级降膜吸收器D1-1.1.1.03，HCL吸收塔T1-1.1.1.08，储罐容器V1-1.1.1.04、V1-1.1.1.05、V1-1.1.1.06、V1-1.1.1.07、V2-1.1.1.09、V2-1.1.1.10、收集罐V4-1.1.1.29和换热器E1-1.1.1.11，泵P1-1.1.1.21/22，P1-1.1.1.23/24，P2-1.1.1.25/26等组成，充分吸收HCL后，尾气经T1-1.1.1.08排空，制得20%以下的盐酸输送到三废车间处理，收集排放的废液被收集到设备V4-1.1.1.29，继而用0.5MPa的氮气压送到三废车间处理。4、操作步骤4.1 开车前的准备4.1.1 、按照工艺流程，依次对系统内所有设备（包括内件）、管道、阀门、分析取样点、电气、仪器仪表、安全设施等的施工安装进行检查和验收，确保其符合设计要求。4.1.2 、确认公用工程(供电系统、氢气、氮气、脱盐水、压缩空气、循环水等)装置均已完成试车并投入正常运行；接通所有公用工程物料的供应管线，使之处于可用状态。烧碱（10NaOH溶液）的配制。4.1.3 、DCS操作系统准备工作：按设计条件校对所有仪表元件的位置、接管、标记及量程；对所有调节阀逐一进行试验调校，保证其对所控参数能作出正确反应，并在仪表空气出现故障时能正确开闭；试验所有报警系统，确保其灵敏有效；对所有的安全阀进行校核、整定。 4.1.3.1、启动仪表电源和操作员站。 4.1.3.2、检查远传仪表和现场仪表是否正常。 4.1.3.3、启动各调节阀，观察运转是否正常。 4.1.3.4、检查各控制点设定值是否符合规定值。 4.1.3.5、检查测控点的逻辑关系是否正确。 4.1.3.6、以上检查合格，控制阀关闭待用。4.1.4、 确认消防、安全、急救等设施齐全、可用。4.1.5 、系统的吹扫和干燥 4.1.5.1、开车前，用安全灯逐个设备检查，有杂物积垢的应用刷子或其他方法清理干净。特别要把安装过程中遗留下来的杂物清理干净。 4.1.5.2、用压缩空气逐段吹扫所有管道，除去灰尘和颗粒物。吹扫时，禁止从管道向设备中吹扫，防止颗粒等杂物吹入设备中。 4.1.5.3、吹扫时拆开设备和阀门前的管道作为吹出口；管道吹净前拆下流量计限流孔板，待管道吹净后重新安装。 4.1.5.4、用0.5MPa.G的压缩空气，按流程顺序逐台设备、逐条管道吹净（不得跨越设备、管道、阀门及工序之间的连接管道），反复多次吹扫，并用白绸于出口检查，无污物贴附其上为合格。在吹扫主管道的同时，注意吹扫相邻的蒸汽、空气、排污、分析取样、仪表管等。 4.1.5.5、设备最低处或死角，必要时采用人工清扫。 4.1.5.6、系统如果有水，用热氮气干燥（露点达到-60）。 4.1.5.7、吹扫和干燥完成后，正确连接设备，应加或拆盲板，恢复主工艺系统的畅通，关闭设备上的阀门。4.1.6 、气密性实验（以一套为例，另两套操作类似） 气密性实验是为了保证阀门及法兰等的正确连接，无泄漏。 4.1.6.1、 H2管线的气密性实验 a）、用N2对氢站至合成工段H2缓冲罐的氢气管道充压至0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏； b）、用N2对CDI返回至合成工段H2缓冲罐的氢气管道充压至0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏； c）、用N2对合成工段H2缓冲罐至H2调节阀FV0202a前的氢气管道充压至0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏； 4.1.6.2、氯化氢合成主系统的气密试验 气密试验过程中，所有的管道、阀门、法兰的焊缝、连接处，都应该用涂抹肥皂水的办法，检查是否泄漏；系统充压完成后保压30分钟，压力不下降为合格。 a）、关闭HV0201a，打开HV0203a，向H2管道中通入氮气，气源压力0.6MPa.G，对其管道焊接处、阀门和法兰的焊缝及连接处涂抹肥皂水进行检漏。 b）、打开吹扫氢主管道H110102a03a-15-C2C-N手动阀，对其充氮检漏。 c）、打开H2调节阀FV0202a及前后手阀，关闭HV0204a、HV0205a，向R1-1.1.01通入氮气，确认管路畅通，确认R1-1.1.01、E1-1.1.02、E2-1.1.03无内窜外漏。 d）、向V1-1.1.05通入氮气，确认V1-1.1.05无内窜外漏和其安全阀、放液阀运转正常。 e）、检查合格，系统卸压到0.05MPa.G，封闭备用。4.1.7、 系统气体置换 4.1.7.1、打开HV0203a 用0.5MPa.G氮气充压到0.2MPa.G，然后打开打开HV0207a卸压到0.05MPa.G，从氯化氢吸收塔放空阀排气，同样操作进行三次后封闭0.05MPa.G压力备用。 4.1.7.2、氢站出口及CDI返回H2至合成工段H2缓冲罐的管道，从氢站或CDI的入口通入N2充压至0.2MPa.G，然后打开打开H2缓冲罐的放空阀卸压到0.05MPa.G，同样操作进行三次后封闭0.05MPa.G压力备用。 4.1.7.3、汽化工序汽化器至氯气缓冲罐的管道，可在对氯气缓冲罐充入氯气时，打开其顶部至氯气事故缓冲罐的排气阀，用合格氯气进行置换，置换的氯气经事故缓冲罐排入氯气吸收塔进行吸收。4.1.8、 检查点火枪设施。 4.1.8.1、氢气和压缩空气的管线安装正确，并用0.5MPaG氮气试压后无泄漏。 4.1.8.2、电子打火设施正常。 4.1.8.3、氢气和压缩空气管线上的阀门启闭正常。4.1.9、泵的试车 （1）试车用循环水 （2）应在泵的入口管线上安装临时过滤网 （3）封闭的水循环回路应是该系统可能的最长管线 （4）充水的容器应放空通大气，防止可能造成的真空 （5）试车前，操作人员应熟悉泵的资料，按说明书进行操作4.1.10、 把所有连锁阀、调节阀设定为手动，并关闭。4.2、原始开车步骤4.2.1、HCL吸收装置开车4.2.1.1、启动吸收塔循环冷却水： 首先开启D1-1.1.1.01 （D1-1.1.1.02备用）、D1-1.1.1.03壳程循环冷却水出口的手动阀，缓慢开启入口调节阀TV0401、TV0501（开启度50%）及全开其前后手动阀，（循环吸收液温度TIRC0401、TIRC0501控制:4550）投入自动。开启换热器E1-1.1.1.11壳程循环冷却水出口的手动阀，缓慢开启入口调节阀TV0601（开启度50%）及全开其前后手动阀，（循环吸收液温度TIRC0401、TIRC0501控制:4550）投入自动。4.2.1.2、建立储酸槽液位： 开启盐酸储槽V1-1.1.1.04、V1-1.1.1.06、V2-1.1.1.09进水手阀，向其内供入来自管廊的软水，V1-1.1.1.04、V1-1.1.1.06液位控制：将两槽液位加到70；Lmin=200mm、Lmax=1400mm(Lmax=1400时报警），V2-1.1.1.09内10NaOH液位控制：将两槽液位加到80；Lmin=200mm、Lmax=2600mm(Lmax=2600时报警）。4.2.1.3、建立一级降膜吸收器、二级降膜吸收器、HCl碱液吸收塔吸收液循环:a.）、启动调节阀FV0401a、FV0501a、FV0601a与流量计FIRC0401a、FIRC0501a、FIRC0601a，分别设定流量24.5m3/h、12m3/h、4 m3/h投入自动。b）、开启泵P1-1.1.1.21、P1-1.1.1.23、P2-1.1.1.25前后相关手动阀，并启动泵，将容器V1-1.1.1.04、V1-1.1.1.06内的软水，V2-1.1.1.09内10NaOH液，通过吸收塔后，建立循环。4.2.2 、HCL合成炉点火4.2.2.1、确定氢气和氯气系统已正常投入，控制氢气和氯气缓冲罐压力；4.2.2.2、确定HCL吸收系统已正常运行；4.2.2.3、确定整个系统各部分已投入可正常运行；4.2.2.4、打开E2-1.1.03循环冷却水；4.2.2.5、打开FV0202a前后手动阀，FV0202a设定开度10%，打开HV0205a，HV0207a，打开T1-1.1.1.08上放空阀门，再打开氮气阀门HV0203a对系统进行赶气（大约半小时）4.2.2.5、启动HCL吸收系统4.2.2.6、关闭HV0203a停止氮气置换，关闭HV0205a，HV0207a，开启HV0204a，开现场压缩空气手阀给HCL合成炉R1-1.1.01置换，进行空气吹扫。将FV0202a设定为3，打开HV0201a及FV0202a前手阀，对氢气缓冲罐V5-1.1.10至炉前手阀的管线用0.5MPG氢气进行置换，在进HCl合成炉前氢气管线上的现场压力表口子放空20分钟后，关闭HV0201a,装上现场压力表；将PV0304a设为自动对V5-1.1.10充压至0.48MPG，将PV0304b设为自动对白碳黑送氢气，设定值为0.28 MPG，确认还原氢化到我们这边的调节阀是否设定为自动，设定值为0.52MPG,然后开启阀门HV0201a；确认开启FV0202a及其前手动阀，并设定FV0202a开度为3%；充压至炉前主氢管线上的手阀前，压力为0.5MPG。4.2.2.7、液氯库确认打开01V0701出口至氯气干燥的手动阀，再开启干燥至V3-1.1.08氯气缓冲罐的手动阀，打开V3-1.1.08进气手动阀,充压到0.6MPG，用氨水在各法兰、焊缝和仪表接口处检漏，合格后打开V3-1.1.08至氯气吸收塔之间的手动阀，卸压至0.05 MPG，重复两次后，充压至0.53 MPG，打开HV0202a及FV0201a其前后手动阀，并设定FV0201a开度为7%；充压至炉前的主氯管线上的手阀前，压力为0.53MPG。4.2.2.8、现场压缩空气给HCL合成炉R1-1.1.01置换，进行空气吹扫约20分钟后，通知检验部进行取样做爆炸性结果分析，当取样分析合格后，关闭手动阀，停吹扫空气；4.2.2.9、确定以上准备工作已完成，中控人员开压缩空气电磁阀和允许点火控制，开启点火氢，现场人员现场启动点火器；4.2.2.10、当点火器火焰燃烧起来后（以现场人员通过窥视孔能看见火焰为准），火焰检测器工作检测到火焰，慢慢开启炉前主氢管线上手动阀，此时主氢燃烧，点火氢手动关闭，然后立即慢慢开启炉前主氯管线上手动阀，保证氢气过量（火焰颜色为苍白色），此时点火器停止打火；4.2.2.11、开启视镜吹扫氢；4.2.2.12、缓慢提量（原则：先氢后氯）至规定流量50后，取样分析HCL含量；4.2.2.13、HCL含量达到要求后（95-97），开启HV0205a，HV0207a，关闭HV0204a，对储罐置换，大约5分钟后，关闭HV0207a，对R1-1.1.01和V1-1.1.05进行升压，当压力达到要求（开车时V1-1.1.05控制在0.32MPa）后，即可开启HV0208a向三氯氢硅合成提供HCL。点火失败，必须重复4.2.3 9）步骤，方能重新点火。4.3 、停车4.3.1、正常停车（以一套系统为例）4.3.1.1、首先报告调度，通知制氢站停氢气，通知液氯库岗位，关闭液氯钢瓶阀，以降低液氯汽化器液位。4.3.1.2、将H2调节阀FV0202a、CL2调节阀FV0201a缓慢减小开度，减少CL2，H2流量（先CL2后H2，氢过量10%），进行降量操作。（降量操作必须先降氯后降氢配合操作）4.3.1.3、当SiHCl3合成炉停止反应时，打开HV0207a，关闭HV0208a，缓冲罐V1-1.1.05内的HCL切换到HCL吸收系统。4.3.1.4、当氯气流量计FIRC0202a显示20Nm3/h时，关闭HV0202a、FV0201a。其次关闭氢气HV0201a、FV0202a将火熄灭。4.3.1.5、开启氮气阀HV0203a，流量控制50100Nm3/h吹扫系统1个小时，关闭HV0203a。4.3.1.6、系统压力0.05MPa时，关闭HV0207a保持系统微正压。4.3.1.7、关闭各换热器循环冷却水，关闭HCL吸收系统。若停车时间长，用泵将V1-1.1.1.04、V1-1.1.1.06酸液和V2-1.1.1.09内的中和液排到5#厂房处理。HCL合成系统停车步骤类似。4.3.2非正常停车4.3.2.1 、HCL合成炉紧急停车当合成工段出现停电、停水、重大泄露及安全事故或CDI-1事故停车时：a）HCL合成炉系统H2（HV0201a）、CL2（HV0202a)、HCL(HV0205a)自动关闭。b）同时N2（HV0203a）自动打开，废气由缓冲罐V1-1.1.05前导入HCL吸收系统，合成炉完成停车并与SIHCL3合成系统隔离。c）根据缓冲罐V1-1.1.05出口压力，调节阀自动调节，加大HCL返回量，维持缓冲罐压力，保证SIHCL3合成系统仍可继续正常运行。4.3.2.2 、事故停车系统发生一般泄漏或其它原因（设备、管道、阀门、法兰密封垫等）时，视情况作降量保持HCL合成炉内火焰或正常停车处理。4.4 、HCL合成再开车4.4.1 、正常停车后的再开车 按原始开车步骤进行开车。4.4.2、事故停车后的再开车（现阶段不投连锁，故暂时取消）4.4.2.1、HCL合成炉联锁停车后、紧急停车后的再开车：用氮气吹扫系统（不包括H2、CL2缓冲罐）1小时，故障处理完毕后进入点火开车程序。4.4.2.2、HCL缓冲罐后联锁停车后的再开车：故障处理完毕，根据SIHCL3合成炉温度及系统具备正常开车条件后，缓慢提升H2、CL2的流量至正常生产值，HCL质量浓度达标后，供入SIHCL3合成炉。4.5 排酸（中和液）操作 一级降膜吸收系统、二级降膜吸收器系统、HCL吸收系统的排酸（中和液）操作类似，现以一级降膜吸收系统为例4.5.1 、当AIRA0402检测出D1-1.1.1.01的吸收盐酸质量浓度达20%时报警。4.5.2 、启动调节阀FV0402与流量计FIC0402，设定流量24.5m3/h，开启泵P1-1.1.1.22前后相关手动阀，并启动泵P1-1.1.1.22,将容器V1-1.1.1.05内的软水，通过降膜吸收器D1-1.1.1.02建立循环。4.5.3 、打开降膜吸收器D1-1.1.1.02进HCL阀，关闭降膜吸收器D1-1.1.1.01进HCL阀，打开泵P1-1.1.1.21出口至三废车间的手动阀，关闭至降膜吸收器D1-1.1.1.01的手动阀，将20%盐酸输送至三废车间，当液位200mm时，停止泵P1-1.1.1.21，至此，排酸完成。5、控制要点5.1管理要点5.1.1、氢气缓冲罐的压力。5.1.2、氯气缓冲罐的压力。5.1.3、HCL合成炉的压力、温度。5.1.4、HCL空气冷却器HCL出口温度。5.1.5、HCL水冷换热器HCL出口温度。5.1.6、HCL储罐压力、出口温度。5.1.7、石墨HCL吸收器的温度及运转情况。5.1.8、盐酸储罐的液位及盐酸的质量情况。5.1.9、各泵的运转情况。5.1.10、仪表、设备及管道的安全使用情况。5.1.11、控制氢气流量稳定。5.1.12、控制氯气流量稳定。5.1.13、每小时取样分析HCL含量（含量控制在95%97%），含量主要通过调节FV0202a和FV0201a开度来进行控制。5.2、取样分析点5.2.1、HCL质量浓度分析。（刚开车1次/小时或每调量一次）5.2.2、吸收HCL储罐内盐酸质量浓度分析。（常规1次/周，开停车或事故处理则1次/2小时）5.2.3、合成炉点火前炉内气体爆炸分析。（每次点火前）6、安全技术操作规程注意事项6.1、氯气、氯化氢都是有毒气体，正常生产和检修时，一定要正确穿戴好劳保用品。6.2、正常生产和检修时，不允许氢气、氯气、氯化氢外溢，各种有毒气体浓度控制在允许范围以内。（现场环境：氯气和氯化氢1mg/m3）6.3、氢气极易燃、易爆。与一定比例的空气、氯气混合能发生爆炸，点火前应对氢气、氯气进行安全分析。（氧含量和氢含量测定）6.4、系统进行维修，若需动火，必须用氮气充分置换。6.5、HCL岗位及氢气管线10米以内严禁吸烟和使用明火。6.6、万一发生爆炸、着火事故，应根据情况迅速关闭氢气、氯气源，对着火设备进行充氮置换，或用二氧化碳封闭灭火。6.7、点火失败，必须重复7.2.2点火准备8）步骤，方能重新点火。6.8、经常检查仪表、设备、管道的易损件和易损部位，并及时更换，防止安全隐患扩大。6.9、仪表调节阀在投入自动前。必须先用手动调节至接近正常值时，才能切换为自动控制，防止对设备造成冲击。6.10、仪表空气气源故障，按紧急停车处理。6.11、设备排空时的产品和取样的废水排至容器地槽V4-1.1.1.29,出该容器的废水靠压力为0.5MPa的氮气送到5#厂房废物处理。7、常见故障处理措施若火焰非正常熄灭，应尽快找出具体原因及时排除故障，一般原因有：7.1、合成炉压力升高，温度发生变化，系统故障联锁控制启动。（现阶段联锁取消）7.2、氢气、氯气原料供应不足，压力明显下降。7.3、系统出现有堵塞现象，表现为系统压力增大。7.4、氢气、氯气流量配比失衡，尤其HCL提量降量时。防爆膜破裂：合成炉内形成爆炸性混合物气体，发生爆炸，压力增大破裂（合成炉内压力超过0.625MPa），且应每年一次更换防爆膜，超期使用会使其承压能力下降，导致正常压力也出现破裂。7.5、阀门开关失控或内漏。根据情况及时更换或维修处理。7.6、停电：按紧急停车处理，关闭氢气、氯气进气阀，关闭HCL进SiHCL3合成炉控制阀，关闭CDI至HCL控制阀，打开吹扫氮气进气阀及至HCL吸收装置控制阀。（现阶段CDI回收HCL用氮气中和放空）7.7、系统设备、管道发生泄露，应根据情况采取隔断、放空或停炉处理，并及时报告上级，防止事态扩大。7.8、当氯气缓冲罐V3-1.1.08压力高于1.6MPa时安全阀动作（一开一备），废气排至废氯处理罐，继而送到液氯库的废气处理塔吸收处理。8、图液氯库氯气缓冲罐电解氢氢气缓冲罐CDI返回的氢阻火器HCL合成炉空气冷却器水冷却器HCL储气罐HCL加热器SiHCL3合成炉CDI返回的HCLHCL吸收装置三废处理厂房空气冷却器事故HCL缓冲罐 罐记录控制程序文件编号QEO/NBYC/CX-03-2010文件类别程序文件管控部门体系建设办版本号B/0页码4/4目录1、范围2、原材料及产品质量指标3、工作原理4、操作步骤5、控制要点6、安全技术操作规程注意事项7、常见故障处理措施8、图1.目的通过对备用动、静设备的检查、维护、保养以及备用设备的定时切换，准确掌握设备技术状况，维持和改善设备工作性能，预防事故发生，减少停机时间，延长设备寿命，降低维修费用，保证正常生产。2.定义备用设备：安装在生产装置上，供另一台设备在发生故障或定期检修时切换使用的设备；为调节负荷而备用的动力设备。闲置设备：因工艺技术要求更改或淘汰落后的设备闲置达半年以上，以后生产仍需要使用的设备；事故处理及消防用设备，如：消防水泵等备用、闲置设备。3.适用范围本制度适用于硅片厂全部生产系统备用和生产系统工艺技术改造的落后淘汰闲置设备。4.备用、闲置设备的管理4.1各维修班组负责在用动、静设备及备用动、静设备的日常巡检。除负责在用动设备的温度、压力、振动、声音、润滑及电机电流等运行参数的巡检外，还应定期对备用动、静设备进行检查维护, 保持设备表面卫生良好，润滑油油位及油质正常，各密封点无泄漏。还应定期对动、静设备进行盘车和切换, 使所有备用设备处于良好状态。4.2电气班组负责对备用动设备、闲置设备电机及现场仪表的日常巡检，定期检查电机的绝缘，确保备用设备满足正常启用条件。4.3正常生产情况下，各使用工段应定期切换备用动、静设备。正常运行时，小型动设备的最长切换周期为三个月，大型动设备（电机功率200KW以上）的最长切换周期为六个月。发现在用设备出现故障或存在隐患应及时停车维修，与备用设备进行切换。4.4备用动设备要每天盘车540度以上，有联锁和无法盘车的动设备每星期点动一次，时间为30秒。启用前应检查联轴器的对中情况，设备润滑情况，并手动盘车方能启动设备。4.5对于输送易结晶介质的设备，停车备用时应清理干净设备及管道内的介质；对于输送易燃易爆或强腐蚀性介质的设备，停车备用时应用氮气置换设备及管道内的介质；对于因停车等原因长期不用的设备，应放完设备及管道内的水，防止冻坏设备及管道。4.6设备处于备用状态下在应挂“备用牌”，处在检修状态下应挂“检修牌”，投入运行时应挂“运行牌”。4.7备用设备应保证完好，因备用设备不能及时投运，造成生产事故，要分析原因，查明责任，按级上报，视事故性质大小给予处理。4.8设备闲置达半年以上，以后生产仍需要使用的设备，设备维修或包机人，应每月定期对闲置设备进行检查、维护、保养，并采取防锈、防腐措施，做好润滑并断电。设备工程师还需对闲置设备定期检查维护保养情况记录，保证其设备完好、完整，技术状态和各项性能良好，并填报闲置设备申报表，备案归档。5.设备备机管理制度的执行考核5.1各工段（使用单位）对本部运行工、设备包机人进行考核，每违反一项次，运行工、包机责任人罚款2050元/项次。5.2设备主管部门对各工段（使用单位）的设备备机管理进行考核，每违反一项次，工段负责人及设备工程师罚款50100元/项次。6.其它6.1本制度由硅片厂设备部制定，其解释权、修改权归设备部。6.2本制度从签订批准之日开始执行。7.附录附图1：闲置设备申请流程图附表1：闲置设备申报表附图1：闲置设备申请流程图附表1：闲置设备申报表申报工段： 申报时间：序号设备编号资产编码 设备名称规格及型号单价生产厂家出厂编号购置日期维护保管人合 计：台 元申请人签字： 闲置原因 生产部部门意见设备主管部门意见 分管领导意见财务部部门意见填表说明：1.在“闲置原因”一栏需说明闲置原因，由申报部门填写； 2.本闲置设备申报表由财务部归档管理；