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类型DI水制备.ppt

  • 上传人:pc****0
  • 文档编号:13086503
  • 上传时间:2026-01-14
  • 格式:PPT
  • 页数:21
  • 大小:3.07MB
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    DI 制备
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    单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,去离子水制备及废水处理,桂林电子科技大学职业技术学院,主要内容,去离子水的制备,废水处理,超纯气体与化学试剂纯度,去离子水简介,去离子水(,DI,,,D,eion,i,zation Water,)又称,高纯水或超纯水,,是指去除呈离子形式杂质后的纯水,将水中导电介质去掉,并将其中,不离解胶体、气体及有机物、生物细菌,等去除或降低到最低含量。,国际标准化组织,ISO/TC,给出的“去离子”定义为:“去离子水完全或不完全地去除离子状态物质,去离子过程主要采用,离子交换树脂处理方法,”,去离子水纯度,将水中阴阳离子完全去除是几乎不可能的,去离子水随离子浓度也有,纯度高低,之分,常用电阻率来衡量去离子水的纯度和质量。,每平方厘米,DI,水的电阻值转换为电阻率,随温度增加,去离子水电阻率越低,说明去离子水所含离子浓度越高,去离子水质量越差。,25,下,电阻率为,18,兆欧,.,厘米的去离子水是最理想生产用水。,目前,制备去离子水主要采用,Ro,(,Reverse osmosis,),反渗透,法,制取,应用离子交换树脂去除水中阴离子和阳离子。,去离子水的制备,离子交换树脂是一类具有离子交换功能的高分子聚合物材料。在溶液中能将自身离子与溶液中的相应,“,同号,”,离子进行交换。按交换基团性质不同,离子交换树脂可分为,阳离子,交换树脂和,阴离子,交换树脂两类。,离子交换原理,一、,【,水通过阳离子交换树脂(,苯乙烯强酸阳离子树脂,),水中的阳离子被树脂吸收,树脂中的,H,离子被置换到水中,并与水中阴离子组合成,无机酸,】,二、,【,含无机酸的水再次通过阴离子交换树脂(,苯乙烯型强碱阴离子,),,OH,离子被置换到水中与水中,H,离子结合成水,即可获得去离子水,】,目的:去除水中的阴、阳离子,获得去离子水,交换装置,渗透与反渗透,【,渗透现象,】,:低浓度溶液中的水或其他溶剂通过半透性膜(,允许溶剂,【,水,】,分子通过,不允许溶质分子通过,)进入到较高浓度溶液中的现象,【,反渗透,】,又称逆渗透,以,压力差(渗透压),为推动力,从,浓溶液中分离出溶剂,。根据各种物料所需的不同,渗透压,,可采用大于渗透压的反渗透达到,分离、提纯和浓缩,的目的。,渗透与反渗透,渗析作用,【,渗析,】,又称,透析,:一种以浓度差为推动力的,膜分离,操作,,利用膜对溶质的选择透过性,实现不同性质溶质的分离:,即利用,半透膜,能透过小,分子,和,离子,但不能透过,胶体粒子,的性质从,溶液,中除掉,杂质,小分子或离子的过程。,血液透析,利用半透膜原理,通过扩散、对流体内各种有害及多余代谢废物和过多,电解质,移出体外,达到净化血液的目的,并吸达到纠正水电解质及酸碱平衡的目的。,电渗析,在渗析作用基础上,外加直流电压,,电场作用下进行渗析,溶液中的带电溶质粒子(如离子)通过渗析膜迁移的现象称为,【,电渗析,】,。利用电渗析可以进行提纯和分离物质,电渗析法可以加速离子的迁移速度,达到,较快速度去除离子,的目的。,【,尽管电渗析法可以加速渗析速度,但由于其实现的是,离子反扩散,,因此其速度也是比较慢的,】,基本制备工艺,从普通自来水制备去离子水的基本步骤:,杂质过滤,反渗透膜离子交换,紫外杀菌,重复离子交换,基本工艺流程,【,预处理系统,】,回流阻止器、双介质过滤器(石英砂或无烟煤,/,碳过滤器)硬水软化系统,单层离子交换:初级,DI,水制备,废水处理,废水,(Wastewater),是指,居民活动过程,排出的水及,径流雨水,的总称。包括,生活污水,、工业污水和雨水径流,入排水管渠等其它无用水,指没有直接利用价值的水。,水质指标,(,1,)物理指标:,总固体、悬浮物、溶解物、浊度、色度、放射性、电导率,等,(,2,)化学指标:,生化,及化学需氧量、总需氧量、总有机碳含量、有机氮含量等。,(,3,)生物指标:细菌等微生物含量,废水处理法,集成电路产业涉及废水通常是工业废水,处理方法如下,:,【,物理方法,】,沉淀、筛选和离心分离,筛选,分子筛过滤;离心分离法,离心力作用;,【,化学方法,】,混凝、中和、氧化还原法,混凝:混凝剂吸附离散颗粒形成络合物;,【,物理化学法,】,吸附、萃取、离子交换、膜分离法等,【,生物法,】,利用,特殊微生物,消耗掉杂质微粒。,处理系统,废水处理作用过程,一级处理:处理悬浮固体、调整,PH,值、,【,预曝气,】-,利用,活性污泥,进行,污水处理,。池内提供一定污水停留时间,满足好氧微生物需氧量及污水与活性污泥充分接触的条件。,二级处理:大幅度去除水中胶体和溶解物状态的有机物:活性过滤法(,Activated Bio Filtration),和生物膜法,三级处理:去除水中残留的氮、磷等元素的高级处理:生物脱氮法、离子交换等。,超纯气体与化学试剂浓度,超纯气体,为了保证集成电路制造工艺过程的低缺点率和低污染率,纯度满足,IC,制造要求的气体称为超纯气体。,生产过程中,常采用给定的气瓶和管道颜色来存储和输运不同种类的气体:表,12-4,。,化学试剂纯度,化学纯(一般化学实验,中蓝,,99.5%,);,分析纯(用于分析试验,金光红,,99.7%,),,优级纯(精密分析试验、深绿色标签,,99.8%,)、,电子纯(电子元件中使用的化学试剂,又称超净高纯试剂,金属含量极低,,99.99%,),MOS,纯(特高纯,应用于深亚微米集成电路,金属杂质含量小于,1ppb,),等离子体质谱纯、等离子体发射光谱纯、原子吸收光谱纯,表达溶液浓度时,单位:,ug/mL,;,表达固体中成分含量时,单位:,ug/g,或,g/t,Ppm,part per million,百万分之,10,的,6,次方,ppb,part per billion 10,亿分之,10,的,9,次方,ppt,part per trillion,万亿分之,10,的,12,次方,浓度表示单位,化学试剂纯度与盛放容器纯度有很大关系,因此容器也需根据,化学试剂纯度不同而采用不同材质制作。,
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