ch6溶液镀膜法化学溶液沉积.pptx
《ch6溶液镀膜法化学溶液沉积.pptx》由会员分享,可在线阅读,更多相关《ch6溶液镀膜法化学溶液沉积.pptx(22页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、61 化学反应沉积化学反应沉积 化学镀化学镀-实际上是指自催化化学镀实际上是指自催化化学镀 定义定义 在还原剂的作用下,使溶液中的金属离子在还原剂的作用下,使溶液中的金属离子还原成原子而沉积在基板上的方法。还原成原子而沉积在基板上的方法。催化剂正是膜层物质本身。无电源,自催化剂正是膜层物质本身。无电源,自身化学反应,它与一般的化学沉积法同属身化学反应,它与一般的化学沉积法同属不通电而靠化学反应沉积金属的方法。区不通电而靠化学反应沉积金属的方法。区别在于,是否要催化剂。别在于,是否要催化剂。自催化化学镀的特点:自催化化学镀的特点:(1)可在复杂的镀体表面形成均匀的镀层。可在复杂的镀体表面形成均匀
2、的镀层。(2)镀层的孔隙率较低。镀层的孔隙率较低。(3)可以直接在塑料、陶瓷、玻璃上沉积可以直接在塑料、陶瓷、玻璃上沉积 镀膜。镀膜。(4)镀层具有特殊的化学物理性质。镀层具有特殊的化学物理性质。(5)不要电源,没有电极。不要电源,没有电极。应用有限应用有限并非所有金属都具有催化活性并非所有金属都具有催化活性 Fe、Cr、Ni、Cu、Ag、Au、Co还原剂电极电位稍低于沉积金属还原剂电极电位稍低于沉积金属 次磷酸盐、甲醛、硼氢化物、阱反应过程 溶胶凝胶法溶胶凝胶法 金属化合物分解的方法来获得所需的薄膜。金属化合物分解的方法来获得所需的薄膜。步骤:步骤:1.将前驱物溶于合适的溶液中成为将前驱物溶
3、于合适的溶液中成为溶胶镀液溶胶镀液。前驱。前驱物可以是碱性氧化物、金属有机化合物、或无机物可以是碱性氧化物、金属有机化合物、或无机盐,应含有所需的金属离子。溶胶应具有合适的盐,应含有所需的金属离子。溶胶应具有合适的粘度和较高的浓度,以提高沉积薄膜的致密度和粘度和较高的浓度,以提高沉积薄膜的致密度和均匀性。均匀性。2.采用浸渍、离心甩胶、或喷涂的方法涂在采用浸渍、离心甩胶、或喷涂的方法涂在基体表面,形成基体表面,形成溶胶膜溶胶膜。3.液态的溶胶膜经过干燥脱水生成液态的溶胶膜经过干燥脱水生成凝胶膜凝胶膜4.经过热处理和晶化处理然后而形成经过热处理和晶化处理然后而形成固体薄固体薄膜膜。制备方法制备方
4、法 (1)溶胶的制备溶胶的制备 A.有机途径(醇盐法),可以用部分无机物代替醇盐。有机途径(醇盐法),可以用部分无机物代替醇盐。能互溶,通过有机醇盐的水解与溶聚而形成溶胶能互溶,通过有机醇盐的水解与溶聚而形成溶胶.缺点:在干燥过程中容易开裂,由大量溶剂蒸发引起缺点:在干燥过程中容易开裂,由大量溶剂蒸发引起的残余应力引起的残余应力引起 B.无机途径(胶体法)无机途径(胶体法)通过某种方法制得的氧化物小颗粒稳定的悬浮在某种通过某种方法制得的氧化物小颗粒稳定的悬浮在某种溶剂之中形成溶胶。溶剂之中形成溶胶。特点:无裂纹,但附着力较差,不易找到适当的溶剂特点:无裂纹,但附着力较差,不易找到适当的溶剂来溶
5、解氧化物,特别是多组分氧化物。来溶解氧化物,特别是多组分氧化物。涂胶方法涂胶方法 浸渍提拉法浸渍提拉法 浸渍浸渍提拉法提拉法热处理热处理 液膜,由于溶剂大量迅液膜,由于溶剂大量迅速蒸发,干燥形成凝速蒸发,干燥形成凝胶膜,然后进行热处胶膜,然后进行热处理,得一层氧化物膜,理,得一层氧化物膜,每次循环可控制膜厚每次循环可控制膜厚530nm。可以多次循。可以多次循环,但是必须充分干环,但是必须充分干燥和热处理。燥和热处理。旋覆法旋覆法 浸渍法膜厚控制不易,不适合于小衬底,特浸渍法膜厚控制不易,不适合于小衬底,特别是小圆衬底。而旋覆正好适合于小圆衬底,别是小圆衬底。而旋覆正好适合于小圆衬底,但大面积均
6、匀膜困难。但大面积均匀膜困难。62 阳极氧化法阳极氧化法 在电解液中,使铝、镁等金属或者合金作在电解液中,使铝、镁等金属或者合金作阳极,并加上一定的直流电压,利用电化阳极,并加上一定的直流电压,利用电化学反应在阳极金属表面形成氧化物薄膜的学反应在阳极金属表面形成氧化物薄膜的方法。方法。存在两个过程,一个是金属氧化物的形成,存在两个过程,一个是金属氧化物的形成,一个是金属溶解。一个是金属溶解。金属的氧化反应:金属的氧化反应:M+nH2O MOn+2nH+2ne金属的溶解反应:金属的溶解反应:MM2n+2ne溶解反应溶解反应水合金属离子水合金属离子氢氧化物或者氢氧化物或者氧化物。氧化物。氧化膜覆盖
7、表面后,金属的溶解反应停止,氧化膜覆盖表面后,金属的溶解反应停止,而氧化反应继续。由金属离子合电子穿过而氧化反应继续。由金属离子合电子穿过氧化膜层在膜表面继续生长,因此需要外氧化膜层在膜表面继续生长,因此需要外加电压,加电压,1.0-1.4nm/v。氧化膜的厚度氧化膜的厚度 公式公式67,610膜的形态:多孔形和屏蔽形膜的形态:多孔形和屏蔽形 Al为例,六角形柱壮晶柱。各柱中有通过中心的为例,六角形柱壮晶柱。各柱中有通过中心的细孔。在含有二氯基酸的硫酸、草酸、磷酸中形细孔。在含有二氯基酸的硫酸、草酸、磷酸中形成多孔形膜。而在硼酸盐,磷酸盐等中性溶液中成多孔形膜。而在硼酸盐,磷酸盐等中性溶液中生
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- ch6 溶液 镀膜 化学 沉积
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【可****】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【可****】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。