单晶硅棒技术检验要求.doc

发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业 页码: 1/3
供给商名称
版本
发行日期
五神光电
0312
-03-20
单晶硅圆棒质量技术规格书
签署栏
发行方

供给商

发文单位: 浙江昱辉阳光能源有限企业
1范围
本规格书要求了单晶硅圆棒技术要求、 检验规范以及包装。
本规格书适适用于直接外购单晶硅6吋, 6.5吋, 8吋圆棒。
本规格书作为供方与昱辉阳光能源有限企业之间釆购协议技术标准, 经双方签署后生效。
本规格书可由昱辉阳光能源有限企业依据产品需求进行变更, 双方进行签暑后生效; 同时旧版规格书立刻作废。
2、 规范性引用文件:
浙江晃辉阳光能源有限企业单晶事业部《单晶硅圆棒检验内控标准》。
3、 术语及定义
长度: 单晶硅圆棒两个端面之间最短距离。
直径: 整根圆棒最细处直径。
缺口: 晶棒表面局部缺损, 其尺吋由纵向长度和径向深度给出。
裂纹: 由晶棒上任意一点向其它位置延伸贯穿或未贯穿晶棒裂痕。

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4、 技术要求:
特征
反应计划
项目
产品/过程规范/公差
评价测量技术
样本
控制方法
容量
频率
外观
无孪晶、 无空洞、 无断棱、 无硬伤、 无裂纹、 缺口弧长≤3mm深度≤1.5mm
目测
100%全检
每根
单晶硅棒检验标准
不合格处切除
直径
155mm≥6吋直径≥153mm
172mm≥6.5吋直径≥168mm
206mm≥8吋直径≥203mm
游标卡尺精度0.02mm
100%全检
每根
单晶硅棒检验标准
不合格处切除
无位错长度
去掉位错和直径偏小后圆棒长度大于300mm
卷尺精度1mm
100%全检
每根
单晶硅棒检验标准
不合格处切除, 小于100mm报废
电阻率
表皮电阻率: 1.2-2.8Ω.cm
四探针电阻率测试仪（BD-86）
100%
每根
单晶硅棒检验标准
电阻率
C、 O含量
C含量小于5ppma、 O含量小于20ppma（ASTM88）
Nicolet6700傅叶变换红外光谱仪
100%
每根
单晶硅棒检验标准
不合格反切
少子寿命
少子寿命大于10us
WT-少子寿命测试仪
100%
每根
单晶硅棒检验标准
不合格反切
掺杂类型
掺硼
供方质量确保书
/
/
/
/
极性
P型
半导体极性仪
100%
每根
单晶硅棒检验标准
不合格拒绝接收
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5、 检验规范:
⑴检验与验收:
产品由需方过程检验部门负责检验并填写品质检验单, 并交质量管理部进行审核。
⑵检验项目
每根圆棒根据上表中检验项目和要求进行检验。
⑶检验结果判定
当全部检验项目均合格时, 则判定圆棒合格。若有一项不合格,则该晶棒不合格做退回供方处理。
6、 标志、 包装、 运输、 储存:
⑴供方在来料时需用聚苯烯(泡沫)进行逐一包装,并附供方品质检验单,经包装晶棒装入包装箱,并装满填充物,晶棒不能有松动现象。
⑵包装箱外注明“移动轻放”、 “易碎”等标识, 附装箱清单并标明需方企业名称、 地点、 产品名称、 产品件数、 规格及重量等信息。
⑶每批产品要随货附产品装箱明细, 明细中显示晶体编号、 长度、 重量、 尺寸等信息, 并附供方检验结果和结论。
⑷产品在运输过程中要轻装轻卸, 不得挤压、 碰撞, 每托圆棒堆放高度不能超出三层。储存在安全,干燥环境。