镀膜机操作指引.pdf

工站名称镀膜机操作指引页数1/10 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation ProcedureSOP-镀膜将输入电压设定为380V，输出电压设定为208V；/文 件 编 号版 本工 序 编 号A001/作 业 步 骤作 业 说 明图 片备注镀膜机操作面板各按钮说明2打开总电源1设定电压值/客户名称客户型号镀膜机整体图示/工序号工 序 名 称打开总电源开关：OFFON设定值需符合要求真空排气开关散热风扇（电脑）处理程序主真空阀夹具启动按钮真空泵主屏幕显示面板主屏幕显示面板警报器复原按钮主电源按钮紧急开关冷阱温控（保护）蒸发器温控（保护）工站名称镀膜机操作指引页数2/104打开主电源(MianPower)及真空泵(Vacuum Pump)电源工序号工 序 名 称6打开温度将“HEAT”按钮往上拔，打开温度，同时温度指示灯亮客户名称/客户型号/3打开紧急停机开关 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号打开（往上拨）此紧急停机开关SOP-镀膜版 本工 序 编 号001/5.b主电源按钮打开后，此区域有数值显示打开主电源按钮5.a按下主电源按钮，指示灯亮备注打开主电源(Main Power)及真空泵(Vacuum Pump)电源开关：OFFON位置：控制箱内作 业 步 骤图 片作 业 说 明A位置：操作面板上说明：T.O.P显示预定设置数字；CHILLER显示冷却温度，见步骤7图片紧急停机主电源真空泵警报器复原按钮主电源按钮温度指示灯亮冷阱温控（保护）蒸发器温控（保护）工站名称镀膜机操作指引页数3/10备注8.a按下（电脑）处理程序按钮，指示灯亮打开（电脑）处理程序8.b7 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001工序号工 序 名 称作 业 步 骤作 业 说 明图 片/客户型号/客户名称/打开冷阱温度，此温度值范围为：-85-60主屏幕显示此画面打开冷阱温度注意：主电源（操作面板上）打开后，等待约15s方可进行此步操作8.d进入此界面8.c进入下一界面在显示屏上操作，用手点进入下一界面（电脑）处理程序冷阱温度工站名称镀膜机操作指引页数4/10玻璃片贴胶纸贴好胶纸的玻璃片客户型号/工序号工 序 名 称9打开散热风扇作 业 步 骤版 本图 片打开散热风扇按钮客户名称/Chamber内表面打蜡需均匀，且不可漏打黄油A工 序 编 号001备注作 业 说 明10清理Chamber及打蜡首先将Chamber里面清理干净，且Chamber内表面需打蜡（均匀），进料口和出料口需涂抹高温黃油；/标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜11.b11.a玻璃片一面需贴透明胶纸封好12.a套密封圈将密封圈套于连接器上；头部套一个，尾部套两个散热风扇工站名称镀膜机操作指引页数5/1014.b图 片12.b工序号工 序 名 称作 业 步 骤备注套密封圈客户名称/客户型号/13.a13.b14.a装保护盖用掩膜胶布将保护盖与连接器之间的缝隙密封起来注意：1.胶布不可沾到电线；2.胶布需很好地沾住保护盖与电线金属件之间的缝隙，若保护不当，膜会渗到连接器的端子上。贴胶布SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号作 业 说 明尾部套两个密封圈分别将保护盖装于头尾连接器上工站名称镀膜机操作指引页数6/1013.b玻璃片贴胶纸面需朝下放置放电线及玻璃片将电线与玻璃片放入钢网上，线与线之间不能重叠交错12清洗电线将电线用超声波清洗机清理干净，且镀膜之前需用酒精再次清洗（保持电线的绝对清洁）,电线头尾部需要隐膜电线需清洗干净，保持绝对清洁注意：胶布不可沾到电线13.a客户名称/14.d用胶布将保护盖与连接器之间的缝隙密封起来贴胶布14.c 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001客户型号/工序号工 序 名 称作 业 步 骤备注图 片作 业 说 明工站名称镀膜机操作指引页数7/10将钢网放入Chamber中，并启动按钮14.a将钢网放入Chamber里面，且钢网需卡入夹具驱动轴的定位槽中钢网需放到位，且不可与Chamber密封盖相摩擦；15.a抽前级真空按下真空泵按钮，抽前级真空14.c14.b此数据仅供参考，根据泵的实际情况而定15.b前级真空值此数值显示需13.5放好钢网后，盖好盖子，并打开夹具启动按钮，让钢网在Chamber内转动，且钢网固定轴不能与Chamber密封盖相摩擦.标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001客户名称/客户型号/工序号工 序 名 称作 业 步 骤备注图 片作 业 说 明夹具启动按钮真空泵工站名称镀膜机操作指引页数8/10材料需保持干燥、干净，并且挤压成方块16.a聚对二甲苯（Parylene N）1.等到所有温度达到设定值，以及前级真空值在13.5以下（根据泵的实际情况而定），方可加材料；2.将原料放入料管中16.d关好料管盖子用铁丝辅助加料的原因：减少材料盒与蒸发器的接触面积，避免蒸发过快16.c装好密封圈后，需涂技抹适量高温黄油（Vacuum GreaseChemplex 710）16.b加材料将O型密封圈装于料管口17抽主真空打开主真空阀，抽主真空加材料 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001客户名称/客户型号/工序号工 序 名 称作 业 步 骤备注图 片作 业 说 明主真空阀工站名称镀膜机操作指引页数9/1020各温度降到设定值等到Door及蒸发器温度降到设定值，冷阱温度恢复到设定值，才可以关掉主真空阀，然后打开真空排气开关进行排气；19关掉冷阱温度程序运行完后，机器会自动报警停机；此时关掉冷阱温度；18.c程序正在运行中18.a18.b进入此界面，选择需要运行的程序，然后用手点击“Load”载入程序，再点“RUN”运行程序；此设备正在运行程序1此设备正在运行程序1等到前级真空和主真空不能抽到更低为止（视泵的情况而定），冷阱温度到-85-60，用手点Program按钮，进入下一程序进入程序 标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001客户名称/客户型号/工序号工 序 名 称作 业 步 骤备注图 片作 业 说 明工站名称镀膜机操作指引页数10/10将蒸发器门打开，取出材料盒，并清理干净（以备下次使用）；21打开盖子，取出钢网大约5分钟后（排完气），可以打开Chamber密封盖子，取出钢网，检查线与钢网接触面是否完好；24清理Chamber将Chamber与密封盖清理干净后，按照步骤1继续下一次镀膜操作.23取出材料盒22玻璃片装袋将玻璃片装入干净的密封袋，并做好相关记录（包括材料用量、镀膜时间等）；标标 准准 作作 业业 指指 导导 书书Standard Operation Procedure文 件 编 号SOP-镀膜版 本A工 序 编 号001客户名称/客户型号/工序号工 序 名 称作 业 步 骤备注图 片作 业 说 明