JJF 1944-2021 电容式测微仪校准规范-(高清原版).pdf
《JJF 1944-2021 电容式测微仪校准规范-(高清原版).pdf》由会员分享,可在线阅读,更多相关《JJF 1944-2021 电容式测微仪校准规范-(高清原版).pdf(21页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、中华人民共和国国家计量技术规范J J F1 9 4 42 0 2 1电容式测微仪校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o nf o rC a p a c i t a n c eC o m p a r a t o r s 2 0 2 1-1 2-0 8发布2 0 2 2-0 6-0 8实施国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 发 布市场监管总局市场监管总局电容式测微仪校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o nf o rC a p a c i t a n c eC o m p a r
2、 a t o r sJ J F1 9 4 42 0 2 1代替J J G5 7 02 0 0 6 归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会 主要起草单位:河南省计量科学研究院中国计量科学研究院 参加起草单位:辽宁省计量科学研究院江苏省计量科学研究院天津大学 本规范委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局本规范主要起草人:贾晓杰(河南省计量科学研究院)崔建军(中国计量科学研究院)黄玉珠(河南省计量科学研究院)周 强(河南省计量科学研究院)参加起草人:刘 娜(辽宁省计量科学研究院)王晓飞(江苏省计量科学研究院)段发阶(天津大
3、学)J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局目 录引言()1 范围(1)2 概述(1)3 计量特性(1)3.1 重复性(1)3.2 示值误差(1)3.3 稳定性(2)4 校准条件(2)4.1 环境条件(2)4.2 校准用标准器及相应设备(2)5 校准项目和校准方法(2)5.1 校准前准备(2)5.2 重复性(2)5.3 示值误差(3)5.4 稳定性(4)6 校准结果的表达(4)7 复校时间间隔(5)附录A 量程2 0m的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例(6)附录B 测量挡板的技术要求(7)附录C 精密测长装置(8)附录D 校准证书信息及内页格式(9)附录E 电容式测
4、微仪示值误差校准不确定度评定示例(精密测长装置法)(1 0)附录F 电容式测微仪示值误差校准不确定度评定示例(量块测量法)(1 3)J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局引 言 J J F1 0 7 12 0 1 0 国家计量校准规范编写规则、J J F1 0 0 12 0 1 1 通用计量术语及定义、J J F1 0 9 42 0 0 2 测量仪器特性评定和J J F1 0 5 9.12 0 1 2 测量不确定度评定与表示共同构成支撑本规范修订的基础性系列规范。与J J G5 7 02 0 0 6 电容式测微仪相比,除编辑性修改外,本规范主要技术变化如下:适用范围由“
5、量程不大于20 0 0m,分辨力为1n m0.5m”扩大为“量程为2 0m1 0mm,分辨力为1n m1m”的电容式测微仪的校准;删除了“引用文献”;修改了电容式测微仪结构示意图和电容式测微仪的测头示意图;修改“示值重复性”为“重复性”,并对其技术指标和校准方法进行了重新描述,增加了重复性计算公式;删除了“响应时间”“鉴别力”和“调零范围”技术指标;修改了示值误差技术指标,并对其校准方法进行了重新描述;修改了“稳定性”的校准方法;删除了“指针式电容测微仪的计量性能要求”;增加了“附录A 量程2 0m的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例”;修改了附录B中“标准挡板”为“测量挡板”;修改了测量
6、挡板的直径要求;增加了附录C精密测长装置结构示意图。本规范的历次版本发布情况为:J J G5 7 02 0 0 6;J J G5 7 01 9 8 8。J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局电容式测微仪校准规范1 范围本规范适用于量程为2 0m1 0mm,分辨力为1n m1m的电容式测微仪的校准。2 概述电容式测微仪(以下简称测微仪)是采用电容调频或电容运算原理的一种非接触式尺寸精密测量仪器,适用于航空、医疗、精密制造等行业中的几何量测量。测微仪结构如图1所示。测微仪可配有成套的测头。测头外形如图2所示。图1 电容式测微仪结构示意图1采集模块;2数字显示屏;3上位机软件
7、;4通信接口;5测头图2 电容式测微仪测头外形示意图3 计量特性3.1 重复性测微仪的重复性应不大于0.0 1%F S。3.2 示值误差测微仪的最大允许误差MP E:0.1%F S。1J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局3.3 稳定性测微仪的稳定性在4h内应不大于2n m+0.0 2%F S。注:校准工作不判断合格与否,上述计量特性要求仅供参考。4 校准条件4.1 环境条件4.1.1 校准测微仪时,环境温度为(2 01),温度变化不超过0.5/h,相对湿度不大于7 0%,电源电压应为2 2 0V2 2V。4.1.2 校准前,被校测微仪和标准器应放在室内平衡温度且时间不
8、少于4h。校准时环境不应有影响测量的振动、噪声、腐蚀性气体和较强磁场。校准应在被校测微仪开机预热3 0m i n后进行。4.2 校准用标准器及相应设备校准用标准器见表1。表1 校准项目及校准用标准器序号校准项目校准用标准器及计量特性1重复性(35)mm的5等量块、斜块式测微仪检定器:MP E:0.8 0m或精密测长装置:MP E:(A+1.51 0-6L),L 测量长度;工作台步进不大于0.5n m,工作台移动角晃动6 2示值误差小角度检查仪:MP E:0.0 5mm、3等量块或精密测长装置:MP E:(A+1.51 0-6L),L 测量长度;工作台步进不大于0.5n m,工作台移动角晃动6
9、3稳定性(35)mm 5等量块、斜块式测微仪检定器:MP E:0.8 0m或精密测长装置:MP E:(A+1.51 0-6L),L 测量长度;工作台步进不大于0.5n m,工作台移动角晃动6 注:精密测长装置见附录C。A为精密测长装置中激光干涉系统的非线性,通常A=(21 0)n m,应以实测结果为准。5 校准项目和校准方法5.1 校准前准备对测微仪工作状态进行功能检查,在确定没有影响其计量特性的因素后再按表2的校准项目进行校准。5.2 重复性5.2.1 斜块式测微仪检定器法将装夹在斜块式测微仪检定器上的测头,对准放在工作台上的(35)mm范围内任意一块5等量块,调整测头垂直位移,使仪器示值显
10、示在测量范围内。在工作条件不变2J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局的情况下推动量块,对同一受检点连续测量5次,以公式(1)计算重复性。r=am a x-am i n2.3 3YF S1 0 0%(1)式中:r 重复性;am a x 测微仪5次测量的最大示值,mm;am i n 测微仪5次测量的最小示值,mm;YF S 测微仪的标称满量程值,mm。5.2.2 精密测长装置法(量程1 0mm)精密测长装置结构示意图见附录C。将测微仪与精密测长装置同轴安装,调整精密测长装置与测微仪的距离,使测微仪示值处于工作量程内。测微仪和精密测长装置置零后,调整测微仪到量程范围内某一值
11、,同时记录精密测长装置和测微仪的示值(作为初始读数),移动精密测长装置,重复测量5次,读取测微仪的示值,以公式(1)计算重复性。5.3 示值误差5.3.1 量块测量法量块测量法适用于分辨力大于或等于1 0n m,量程2mm的测微仪,见图3所示。校准前,在小角度检查仪的左右两指示计臂架孔中,分别装上接触式干涉仪光管,并将孔距为(5 00.0 2)mm的夹具,装在左端接触式干涉仪光管上。在夹具左端的孔中装上测微仪的测头,经调整,使测头轴线与两个接触式干涉仪光管轴线共面,如图3所示。小角度检查仪经过上述调整,构成了5 05 0 0即11 0的杠杆机构,借助框式水平仪调整桥形工作台使其台面基本水平。仪
12、器调整好后,根据被校仪器的分辨力和量程选用相应尺寸的量块进行校准。受校点应不少于5点,在量程内均匀分布。图3 用小角度检查仪校准示值误差示意图1干涉仪光管;2测头;3夹具;4测量挡板;5圆柱;6水准器;7支承脚;8升降螺钉;9升降轴;1 0桥形工作台;1 1量块;1 2干涉仪光管例如校准量程为5 0m的测微仪,每隔1 0m为一个受检点,选用1 mm、1.1mm、1.2mm、1.3mm、1.4mm、1.5mm等3等量块为标准。为使接触式干涉3J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局仪定位可靠,再选用一块不低于4等的1mm量块作垫块。将两块1mm量块分别推入接触式干涉仪测头下
13、面对零,将测量挡板推入测微仪测头下面,并上下移动测头,使测微仪示值为零。置换右端的接触式干涉仪下面的量块,调整装置,使接触式干涉仪的示值重新为零,读取测微仪的示值即为该受检点的测得值。依次校准各受检点直至终点,测微仪的示值误差按公式(2)计算,以各受检点的测得值与标准值的差值与测微仪量程的比值确定,取所有示值误差中绝对值最大的作为校准值。i=ai-(Li-L0)/1 0YF S1 0 0%(2)式中:i 第i个受检点上的示值误差,%F S;ai 第i个受检点上的测微仪示值,m或mm;Li 第i个量块的标准值,m或mm;L0 对零量块的标准值,m或mm;YF S 测微仪的标称满量程值,m或mm。
14、5.3.2 精密测长装置法将测微仪及精密测长装置同轴安装,在测微仪量程范围内大致均匀选取不少于5个受检点进行测量。将精密测长装置移动到测微仪反向(或正向)起始位置,在测微仪与精密测长装置均置零后,按照正方向(或反方向)进行测量,控制精密测长装置至选定的受检点,同时记录测微仪与精密测长装置的示值,测微仪的示值误差按公式(3)计算,以测微仪与精密测长装置示值的差值与测微仪量程的比值确定,取所有示值误差中绝对值最大的作为测微仪的示值误差。i=ai-LiYF S1 0 0%(3)式中:i 第i个受检点上的示值误差,%F S;ai 第i个受检点上的测微仪示值,m或mm;Li 精密测长装置的示值,m或mm
15、;YF S 测微仪的标称满量程值,m或mm。5.4 稳定性将测微仪按5.2.1或5.2.2装夹和调整好传感器,示值稳定后,记录测微仪的第一次示值,然后每隔1h记录一次示值,连续观察4h,取测微仪示值的最大值与最小值之差为稳定性。允许使用满足要求的其他稳定性校准装置。6 校准结果的表达经校准的电容测微仪出具校准证书。校准证书内容见附录D。4J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局7 复校时间间隔由于复校时间间隔的长短是由仪器的使用情况、使用者、仪器本身质量等诸因素所决定的,因此送校单位可根据实际使用情况自主决定复校时间间隔。5J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总
16、局市场监管总局附录A量程2 0m的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例量程2 0m的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例见表A.1。表A.1 量程2 0m的电容式测微仪示值误差的测量数据处理实例受检点/m电容测微仪示值/n m测长装置示值/n m示值误差/n m示值误差/(%F S)00000.0 0550 1 550 2 6-1 1-0.0 51 099 9 91 00 1 4-1 5-0.0 71 51 49 9 71 50 1 5-1 8-0.0 92 02 00 1 62 00 2 4-8-0.0 2校准结果电容式测微仪的示值误差:-0.0 9%F S测量结果不确定度:U=0.0
17、3%F S,k=26J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局附录B测量挡板的技术要求测量挡板如图B.1所示,其技术要求如下:B.1 对A、B面的技术要求:平面度不大于0.3m;平行度不大于0.6m;表面粗糙度R a应不大于0.1m,D大于传感器测头直径。B.2 材料为G C r 1 3。图B.1 测量挡板示意图7J J F1 9 4 42 0 2 1市场监管总局市场监管总局附录C精密测长装置精密测长装置如图C.1所示,其内部的激光头及其支座和位移工作台均固定在底座上。位移工作台可分为固定模块和运动模块两部分:位移工作台(固定模块)用于安装干涉参考组镜和测头安装架,位移工作
18、台(运动模块)用于安装固定板及固定板上面的干涉测量镜和测量挡板。激光头、干涉参考组镜和干涉测量镜形成干涉测长光路。其中,干涉测长光路的光轴应与安装好的测头同轴,与位移工作台运动方向一致,并与测量挡板的工作面垂直。测量时,电容式测微仪测头先置于测头安装架上,再调整测头工作端面与测量挡板的距离,使之处于合理的量程范围内后紧固,然后控制位移工作台(运动模块)移动。此时,固定板、干涉测量镜和测量挡板相对于位移工作台(固定模块)产生了相同的位移。依据校准规范要求,通过比较干涉测长光路及电容式测微仪的位移测量值,则可得到电容式测微仪的示值误差。图C.1 精密测长装置示意图1底座;2支座;3激光头;4外壳;
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- JJF 1944-2021 电容式测微仪校准规范-高清原版 1944 2021 电容 式测微仪 校准 规范 原版
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【Fis****915】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【Fis****915】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。