JJG 661-2004 平面等倾干涉仪.pdf
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1、中华人民共和国国家计量检定规程J J G6 6 12 0 0 4平 面 等 倾 干 涉 仪F l a t n e s s I n t e r f e r o m e t e rw i t hI s o c l i n i cC i r c l eF r i n g e 2 0 0 4-0 9-2 1发布2 0 0 5-0 3-2 1实施国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局 发 布学兔兔 标准下载平面等倾干涉仪检定规程V e r i f i c a t i o nR e g u l a t i o no fF l a t n e s sI n t e r f e r o m e t e
2、 rw i t hI s o c l i n i cC i r c l eF r i n geJ J G6 6 12 0 0 4代替J J G6 6 11 9 9 0 本规程经国家质量监督检验检疫总局于2 0 0 4年0 9月2 1日批准,并自2 0 0 5年0 3月2 1日施行。归 口 单 位:全国几何量工程参量计量技术委员会 起 草 单 位:中国测试技术研究院 本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释J J G6 6 12 0 0 4学兔兔 标准下载 本规程起草人:冉 庆(中国测试技术研究院)陈永康(中国测试技术研究院)张成悌(中国测试技术研究院)曹 箭(中国测试技术研究院)J
3、J G6 6 12 0 0 4学兔兔 标准下载目 录1 范围(1)2 引用文献(1)3 概述(1)4 计量性能要求(1)4.1 测微目镜的示值误差极差及回程误差(1)4.2 工作台移动的直线度(2)4.3 工作台移动的示值误差及回程误差(2)4.4 钢球支架的工作性能(2)4.5 标准干涉环直径测量的标准偏差(2)4.6 干涉环小数干涉级测量的重复性(2)5 通用技术要求(3)5.1 外观(3)5.2 各部分相互作用(3)6 计量器具控制(3)6.1 检定条件(3)6.2 检定项目(4)6.3 检定方法(4)6.4 检定结果的处理(6)附录A 等倾干涉仪测量平面度测量结果的不确定度评定(7)附
4、录B 检定证书和检定结果通知书内页格式(1 0)J J G6 6 12 0 0 4学兔兔 标准下载平面等倾干涉仪检定规程1 范围本规程适用于平面等倾干涉仪的首次检定、后续检定和使用中的检验。2 引用文献J J F1 0 0 11 9 9 8 通用计量术语及定义J J F1 0 5 91 9 9 9 测量不确定度评定与表示J J F1 0 9 42 0 0 2 测量仪器特性评定使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3 概述平面等倾干涉仪是一种用于平面量值传递的标准计量器具,主要用于检定尺寸较大的平晶、各种尺寸的长平晶和标准平尺等的平面度。仪器工作原理如图1所示。图1 工作原理图1平
5、晶;2球支承;3平晶;4(半)反射镜;5测微鼓轮;6观察者;7目镜组;8分划板;9成像物镜;1 0(半)反光镜;1 1聚光物镜;1 2光阑;1 3钠灯4 计量性能要求4.1 测微目镜的示值误差极差及回程误差不大于表1的规定。1J J G6 6 12 0 0 4学兔兔 标准下载表1 测微目镜示值误差极差及回程误差检定类别任意1 mm内的示值误差全程8 mm内的示值误差回程误差首次检定后续检定0.0 0 5 mm0.0 1 0 mm0.0 0 5 mm4.2 工作台移动的直线度4.2.1 在水平面内直线度在任意3 0 0 mm内应不超过0.0 2 mm;使用中和修理后的允许达到0.0 4 mm。4
6、.2.2 工作台移动时的扭摆及旋转时的摆动在目镜内观察,干涉环中心不得有目力可见的偏移。4.3 工作台移动的示值误差及回程误差不超过表2的规定。表2 工作台移动的示值误差及回程误差检定类别 工作台纵向移动在2 0 0 mm内的示值误差 工作台纵向移动在3 0 0 mm内的示值误差 工作台纵向移动在5 0 0 mm内的示值误差回程误差首次检定0.1 0 mm0.1 5 mm0.2 0 mm0.1 0 mm后续检定、使用中检验0.1 5 mm0.2 0 mm0.2 5 mm0.1 5 mm4.4 钢球支架的工作性能每个形成平行空气层的支架在放上相应的平晶或长平晶时,在目镜视场内应有清晰的干涉环图像
7、。当移动工作台时,从一端至另一端,其干涉环直径变化应不超过1个干涉级数。对于平晶支承架,至少应有一个直径方向满足上述要求,在另外两个直径方向允许达到5个干涉级数。对于长平晶支架,用转台回转时,其干涉直径变化应不超过0.5个干涉级数。4.5 标准干涉环直径测量的标准偏差仪器应对每种支承间隙的支承架给出标准干涉环直径的值,其三倍标准偏差应不超过0.0 1 mm。4.6 干涉环小数干涉级测量的重复性根据干涉直径测量的结果按式(1)求出其干涉级数。Ki=DiD02+Ni(1)式中:Ki i点的干涉级数;Di i点所测干涉环直径;2J J G6 6 12 0 0 4学兔兔 标准下载D0 标准干涉环直径,
8、当干涉环级数为整数时最里环的直径;Ni i点被测干涉环的级序,在0级环内为正,在0级环外为负。干涉环测量的重复性应小于0.0 2 5个干涉级数。5 通用技术要求5.1 外观5.1.1 仪器工作面不应有划痕、碰伤、斑点、锈蚀。非工作面不应有毛刺、脱漆或镀层脱落等外观缺陷。5.1.2 仪器上应有制造厂名或厂标、出厂编号及标志。5.1.3 后续检定的仪器允许有不影响测量准确度的外观缺陷。5.2 各部分相互作用5.2.1 测微目镜的鼓轮转动应平稳,无卡住和擦碰现象,其移动范围应不小于8 mm。5.2.2 目镜调焦时应平稳可靠,其视场内的干涉环数应不少于3个整环(包括透射照明在内),且应无其他杂乱干涉花
9、样,不得有影响测量的灰尘、污物及霉点等。5.2.3 通过目镜应容易地看清楚分划板上的十字刻线,当移动分划板时,其十字刻线的清晰程度不得有目力可见的变化,十字刻线不得有明显的弯曲。5.2.4 工作台的纵向运动和回转运动应平稳,无卡住和爬行现象。纵向行程应大于5 0 0 mm。5.2.5 手轮的刻度盘应能平稳地调节,且无卡住和松动现象。6 计量器具控制包括首次检定、后续检定和使用中检验。6.1 检定条件6.1.1 放置平面等倾干涉仪的仪器室温应为(2 05)。6.1.2 在检定4.5,4.6两项时,室温在2 4 h内的变化量应小于1;在1 h内的变化量应小于0.1。6.1.3 检定1 5 0 mm
10、平晶及2 1 0 mm长平晶时,在室内放置时间应不少于2 4 h及1 0 h,并在检定前将平晶及长平晶放在仪器箱内安装调整后等温1 h。6.1.4 检定用标准器及其他检定设备见表3。表3 检定用标准器及其他检定设备检定用设备测量范围技术要求百分表(05)mm0级MP E:0.0 1 2 mm研磨平尺3 0 0 mm平面度:0.0 0 0 4 mm平晶1 5 0或2 1 0 mm长平晶一级标准玻璃刻尺(03 0 0)mm或(05 0 0)mm示值误差:0.0 3 mm万能工具显微镜(02 0 0)mmMP E:(1+L/1 0 0)m3J J G6 6 12 0 0 4学兔兔 标准下载6.2 检
11、定项目平面等倾干涉仪首次检定、后续检定和使用中的检定项目列于表4。表4 检定项目序号检定项目主要检定设备首次检定后续检定使用中检验1外观 +2各部分相互作用 +3测微目镜的示值误差及回程误差工具显微镜+-4工作台移动的直线度研磨平尺+-5工作台移动的示值误差及回程误差标准玻璃刻尺+-6钢球支承架的工作性能平晶或长平晶+-7标准干涉环直径测量的标准偏差平晶或长平晶+8干涉环小数级测量的重复性平晶或长平晶+注:表中“+”表示应检项目,“-”表示可不检项目。6.3 检定方法6.3.1 外观目力观察。6.3.2 各部分相互作用观察和试验。6.3.3 测微目镜的示值误差及回程误差6.3.3.1 测微目镜
12、的示值误差在万能工具显微镜上进行检定。先将测微目镜从仪器上取下,旋下目镜头,然后安装在万能工具显微镜的玻璃台上。调整工作台使分划板上十字刻线的运动方向与万能工具显微镜工作台移动方向平行,然后将测微鼓轮对零,再移动万能工具显微镜的工作台,使十字刻线的中心与显微镜的米字刻线中心重合,并在万能工具显微镜相应的读数机构读出零位读数。然后将测微鼓轮依次在1,2,3,3.5,3.7 5,4,4.2 5,4.5,5,6,7,8 mm等点上,用米字刻线对准并读数。每个读数减去零位读数即为该点的实际值,测微鼓轮上的测得值与实际值之差即为该点的示值误差。所有各点应在同一行程方向进行检定。全程(8 mm)内或任意1
13、 mm内的示值误差应以该范围内的最大误差与最小误差之差确定。其大小应不超过表1的规定。6.3.3.2 测微目镜的回程误差在示值误差检定后仍在万能工具显微镜上检定,只在测微鼓轮的两端和中间3个位置检定。在同一点上正、反两面个方向各转动测微鼓轮5次,取5次读数平均值之差即为该点的回程误差。最大回程误差应不超过表1的规定。6.3.4 工作台移动的直线度在工作台上放一尺寸3 0 0 mm的研磨平尺,且与工作台运动方向平行,用磁性表架上的百分表与工作面接触,对好零位,工作台从一端移至另一端,在百分表读出最大示值与最小示值,最大示值与最小示值之差为直线度。在全行程范围内检定。上述检定结4J J G6 6
14、12 0 0 4学兔兔 标准下载果应不大于4.2中的要求。工作台移动的扭摆和回转运动的摆动是通过目镜观察干涉环中心的位置变化来确定的,干涉环中心的位置不允许有目力可见的变化。6.3.5 工作台移动的示值误差及回程误差6.3.5.1 将尺寸等于5 0 0 mm的钢直尺或3 0 0 mm的玻璃标尺放在工作台上,取下测微目镜,接上接长管,调整测微目镜的位置,在视场内能清晰看到刻度尺上的刻线;调整刻度尺使其刻线末端连线与工作台运动方向平行;调整工作台位置和测微目镜分划板,使刻度尺零刻线与目镜分划板上的十字线重合,再将手轮的1 0 mm指示盘及0.1 mm指示盘的零线都与指标线对准,然后每隔5 0 mm
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