7光控系统基础知识.pptx

光学膜厚计的原理 光学基础知识目录n1.电磁波的分段n2.颜色与波长的关系n3.光的干涉现象和衍射现象n4.单层膜的干涉现象n5.光学膜厚计的作用n6.光学膜厚计的种类n7.背反射式光学膜厚计系统图n8.光学膜厚计的评价指标n9.与光学膜厚计有关的注意事项1.电磁波的分段n电磁波（又称电磁辐射）是由同相振荡且互相垂直的电场与磁场在空间中以波的形式移动，其传播方向垂直于电场与磁场构成的平面，有效的传递能量和动量。n电磁辐射可以按照频率分类，从低频率到高频率，包括有无线电波、微波、红外线、可见光、紫外光、X-射线和伽马射线 光的波长与频率n光在真空中的速度:c=299792.458km/s(物理常数)n光在介质中的速度：v=c/nn折射率n=c/vn频率=1/周期 n波速=波长 X 频率 2.颜色与波长的关系3.1光的干涉现象3.2光的衍射现象4.单层膜的干涉1.频频率相同率相同 2.振振动动方向相同方向相同 3.相位差恒定相位差恒定/2膜厚膜厚/4膜厚膜厚/44.单层膜的干涉-实际镀膜时信号走值5.光学膜厚计的作用n光学膜厚计的作用是：n实时监测光反射率（或透射率）的变化，并将实时反射率（或透射率）数据提供给主机，从而实现薄膜的光学厚度控制。n电脑(相当于人体大脑)根据光学膜厚计提供的反射率实时变化曲线，在反射率变化到事先设定的停止位置的一瞬间停止材料蒸镀，从而得到所需要的膜厚。n1m=103mm(毫米)=106um(微米)=109nm(纳米)=1010(埃)6.光学膜厚计的种类n反射式n透射式n背反射式7.1背反射式光学膜厚计系统图7.2透射式光学膜厚计系统图单色仪光栅衍射8.光学膜厚计的一些评价指标n波长范围 350nm-1100nmn监控带宽 10nmn波长精度 1nmn波长重复性 0.25nmn噪声与暗噪声 0.01%n长时间稳定性 0.1%/hn监控点数 60点/40点9.与光学膜厚计有关的注意事项n1.成膜人员抽真空之前，一定要确认是否已经安装光学监控片，否则将有可能因未安装光学监控玻璃，污染光控系统的镜头；n2.在光学膜厚计安装完成之后，不管因为何种原因，现场人员严禁触碰真空室顶上的光纤，分光器。必要时，只能由有资质的人员进行操作。如因操作不慎导致光纤断裂，将是严重责任事故！n3.成膜过程中，严禁触碰真空室顶上的光学膜厚计各部分，否则将导致监控信号不稳。思考题n如果说光学膜厚计在镀膜机系统中所起的作用相当于人体各器官中眼睛，那么镀膜机通过光学膜厚计看到的是什么？