无尘室管理作业管理规范样本.doc

无尘室管理作业规范

1. 目标:建立无尘室管理规则,有效管理无尘室之运转,并对生产设备,工具,物料,人员进出,洁净衣等管
制,以确保无尘室之高洁净度需求和正常运作°
2. 适用范围:适适用于台鑫国际股份无尘室

Class
Particle(0.5u)
环境规格
1000
1000¯
23±2ºC
45±5%
10000
10000¯
23±2ºC
55±5%
100000
100000¯
23±2ºC
55±20%
3.权责:
3.1无尘室管制:生产作业区主管或当班责任人员
3.2稽核单位:生产作业区领班以上或实施IPQC稽核人员
3.3新进人员(无尘室)作业说明:人事或制造单位
3.4无尘服管理:行政单位

4.作业内容:
4.1人员进出要求
4.1.1资格:
a.甄选无尘室工作人员时,应避免任用对化学溶剂过敏,有烟瘾者,手轻易出汗或因气
喘常常性咳嗽或打喷嚏者°
b.凡进入无尘室人员皆需经教育训练,方可单独进出无尘室,若未经合格而需进入者,
得须由合格人员陪同率领下,方可进入°
c.外宾进入无尘室,务必由各单位主管或指定人员陪同,陪同人员将外宾资料于­「厂
商/贵宾进入无尘室豋记表」后方可进入.
4.1.2无尘服要求:各区域无尘服穿着以下所表示
一楼
二楼
区域
Class
无尘服要求
访客
区域
Class
无尘服要求
访客
切割区
100000
大衣
+四孔鞋
大衣
+鞋套
洗净区
1000
全罩连身衣
+长筒鞋+手套
全罩连身衣+鞋套+手套
蚀刻区
10000
量测区
1000
抛光区
10000
包装区
1000
4.1.3进入注意事项：
a.作业人员进入Class 1000无尘室不可化妆，包含口红、粉、眼影，香水等。
b.无尘室(含更衣室)严禁携带或使用香烟、打火机、食品、口香糖及化妆品等。
c.临时携入之文件许可使用通常纸张。
d.抽烟后,15分钟内严禁进入无尘室(Class 1000)
e.严禁携入木质用具或易产生粉尘材质之用具，比如铅笔，橡皮擦、立可白等。
f.通常携入通常见具、 物品皆需于更衣室中用IPA擦拭，以确保所入物品不会造
成微尘污染。
g.非经事先核准，无尘室内严禁摄影，录像….等，若经核准，务必由各单位主管
陪同。
g.外套,私人物品放置于个人铁柜。
h.人员及携入之物品，需在经过空气洗尘室以空气洗尘。
4.1.4进入程序：人员进入无尘室之程序以下。
a.脱鞋置于换鞋柜中，进入更衣室。
b.检验，擦拭所携带之物品。
c.更衣程序：
连身全罩式
半套式
1.穿戴发。
2.至自己所属之衣架处(依部门别/序号别)取无尘衣。
3. 以双手抓住无尘衣之下跨开口处，由头顶套入，再将双手
及双脚套入袖口，拉好下跨拉铀炼。
4.确实将发帽入头套内。
5.至自己所属之鞋柜处取无尘鞋或鞋套(无尘衣裤管需扎入无
尘鞋中)。
6.穿戴口罩，钢丝线朝向上方，绿色外沿朝外，以手指压口
罩钢丝部份，方便口罩和鼻梁密合。
7.戴PVC手套：穿戴前先前配带电环(见4.1.5动作)，再将PVC
手套上自己双手，手套需确实扎入无尘衣之袖口中，不可
边走边穿戴手套。
8.检视仪容，尤其注意头发有没有外露，口罩是否紧贴鼻梁。

1. 同左1.
2. 同左2.
3. 穿上大衣式无尘衣

d.经洗尘室洗尘后方可进入无尘室，洗尘时间为20秒以上，每次最多以两人为限。
e.洗尘室：站立于空气洗尘室内，双手摆动，旋转身体至空气洗尘结后，始可开门离开洗尘室。
f.着无尘服时不可离开无尘室区域(含更衣)以外。
4.1.5离开无尘室：
a.经由洗尘室离开无尘室，严禁人员从旁安全门出入。
b.将无尘衣置于自己衣架上(衣架悬挂方法：将衣架子两边夹至双肩，挂上衣架)，
无尘鞋置于鞋柜中。
c.乳胶手套、口罩、发帽、鞋套等视使用情况可反复使用(针对常常性进出人员)，
并将其无尘服一同摆放整齐，标准上每双乳胶手套使用8小时，口罩为8小时，
发帽和鞋套为一周后丢弃、更新之。
d.不用之乳胶手套、口罩、发帽、鞋套等一律丢入垃圾桶内，不可四处摆放。
4.1.6洁净事项
a.无尘室每日例行清洁(5S)和垃圾处理工作，标准上由生产制造单位实施之
b.无尘室每七天地板清扫(吸尘器)工作，标准上由行政部委外实施之。
c.无尘衣、鞋汰旧换新：
(1)无尘衣使用大于三年时，必需给予丢弃。
(2)无尘衣破损修补超出三次时，必需给予丢弃
(3)因工程施工，而严重污染时，给予丢弃。
4.1.7无尘衣、鞋送洗分配：
a.频率：标准上每七天统一送洗一次(各单位可视个人使用情况调整延长)，行政单位提供整理箱(依部门别)由使用者自行提出清洗需求，若遇有紧急逃生紧急施工等情况时，得视需要加强清洗频率。
b.无尘衣、鞋送洗
送洗作业：无尘衣、鞋依编号管理之,送洗时使用者自行投入整理箱，并登记于é
无尘服送洗作业登录表中û行政单位人员依据登录之.
统计清点量；清洗回厂时仍需包装在同一整理箱或塑料袋中，无尘衣名牌需朝外，
字体清楚可见，由行政单位人员清点确定。
4.2无尘室管理注意事项:
4.2.1秩序要求事项：
a.任何门户应需随时保持关闭
b.非因工作上需要，不得坐于地板之上。
c.严禁以身体依靠机台、墙壁、工作桌，Cassette，推车站立。
d.面对工作桌及Cassette时尽可能少讲话，面向机台时请注意肢体动作。
e.严禁快速走动或追逐(紧急警报响除外)
f.遵守无尘衣之穿着要求。
g.于工作区内尽少通私人电话，公事电话亦以简短为宜。
h.无尘室用之货架，推车，垃圾桶等应放置于固定位置。
i.生产步骤单书写应于工作台上，严禁于Cassette上盖板之直接撰写。
j.无尘室内可许可之人员数目超出要求数目时(生产作业区主管判定之)，将暂不许可人员再进入无尘室。
k.非经许可，请勿私自使用化学药剂。
l. 非经许可，请勿私自携出机台操作手册。
4.2.2安全卫生注意事项：
a.无尘室内发觉异状(不明之声音、烟蒂，溶液及味道)应快速反应至值班之主管。
b.火警报响时，应快速呼叫同伴从安全门撤退，并立即设法和厂务部及消防单位联络。
c.身体不适时应立即通知主管。
d.同一区域不能单独一人作业，设备维修必需最少两人(含)以上以维护个人安全。
4.2.3运转设备：
a.设备应选发尘量少，表面不易积尘之设备。
b.真空帮浦(Pump)，马达皮带等轻易产生污染物质之设备应尽可能装于无尘室外，但若需装设在无尘室内时，应有合适覆盖或局部排气。
c.设备安装位置及连接管路，应考虑轻易清扫为标准。
d.磨耗之机件，皮带等，轻易产生尘粒，故要定时更换。
e.无尘室内使用之工具，标准上要作为无尘室专用，除尤其理由不得携出无尘室。
4.2.4维修或施工注意事项：
a.严禁切削工程，如有必需，需先作防护措放(以真空吸尘器，塑料布铺于地板上)方可进行。
b.工程施工后，需清洁施工处周遭环境，使用过之工具，垃圾不任意丢弃。
c.严禁使用砂纸、木材、铅笔和橡皮擦等易造成污染之工具。
d.大范围施工或破坏性施工时，应以隔板隔离施工区，并明确标示施工中字样之通告牌。
4.2.5生产机台周遭：
a.为预防产生影响制程之气流扰乱，不可在机台作业区气流之上放置物品或其它作业。
b.避免无须要之动作，以预防乱流及微尘污染。
c.掉落地上之物品若为消耗品则严禁使用，如需继续使用则需先经酒精或IPA清洁洁净方可使用，机台每日操作前应有清洁之动作。
4.2.6设备、机台、用具和原料进入：
a.大型机台或用具由可拆封板或安全门进入外，其它通常见具和人员由更衣室进入。
b.由可拆封板或安全门进入之大型机台或用具，需在走道上将包装部份拆除并以酒精或IPA擦拭洁净再行搬入。
c.经由更衣室进入之物品，需在经无尘布沾酒精或IPA擦拭后才可进入空气洗尘室。
4.2.7化学药品
a.化学药品置放于固定地点，使用后应立即加盖，避免外泄，发生危险或影响工作。
b.化学药品容器，应有明确之中/英标示,标示不可私自涂改,更不可私自更换容器包装,以免误用.
c.化学药品不可摆放在机台上,货架上.
d.不清楚化学药品不可自作主张,私自处理,以免发生危险.
e.有机化学药品和酸性化学药品不可混合以免危险.
f.相关化学药品处理问题,请依工业安全卫生要求办理.
4. 3无尘室5S管理作业
4.3. 1无尘室中未经主管指定(认可)之位置,不可任意于机台,工作桌/椅,等任何一处张贴字条,通告,口号,若同意张贴时应注意工整美观.
4.3.2推车:
a.推车轮轴损坏应立即停用并送修.
b.无尘室外推车要进入无尘室前必需以IPA擦拭油污及污染物。
c.推车非货架，不可长时间堆放玻璃或其物品而未处理。
4.3.3氮气柜及置物柜
a.设置位置应避开狭窄信道陈设应整齐、清洁，且注意是否在门开关回旋范围内。
b.不可堆栈二层以上，亦严禁突出于边缘之外。
c.损坏之氮气柜及置物柜应立即停止使用并送修，以预防意外发生。
4.3.4工作机台、桌、椅、梯：
a.工作桌应放置于定位，不可随意挪移。
b.损坏之桌、椅，应立即停用并送修，以预防意外发生。
c.非工作上必需不得坐在工作桌上，或站在工作椅上。
d.工作椅不用时应紧靠工作桌或置于旁边角落，尽可能不阻碍通道。
e.纸张、无尘布不可堆置于工作桌或机台上。
f.废弃之纸张，无尘布一律丢弃于垃圾筒内。
4.3.5垃圾桶
a.垃圾不可在无垃圾桶位置堆放，不然应申购放置垃圾桶，设置垃圾桶后不可任意移动或挪作它用，若有损坏应立即停用并送修，垃圾桶外观应保持简练外观。
b.流体物质不可倾倒于垃圾桶内。
c.垃圾桶设置位置，应于人员进出方便，且垃圾产生量较多区域，并以边缘、角落为宜。
4.3.6门：
a.无尘室所使用门除进出之外，应维持关闭状态，外观脏污时应立即派员擦拭洁净。
b.严禁用接触地面工具，脚，接触，踩或踢门，若有损坏时应立即通知主管处理。
4.3.7电线，插座，蛇管：
a.机台之管线应用束线带束紧，固定于墙角或不防碍通行之角落。
b施工时有电线部份，应不使之散落或交错放至道上。
c.使用插座时应确定所使用工具之电压和插座电压是否相同。
d.注意电线部份不可用脚踩踏。
4.3.8文件数据：
a.需置于指定位置，不可任意放置，使用后需立归回原位。
b.内容不可径自书写，涂改或作它记号。
c.需注意管制文件随时保持最新版本。
d.过期之旧版本需实时取出，转交回文件管制中心集中处理。
e.工作统计表填写应确实，清楚，不可潦草或不易识别。
f.工作统计表更改，应将错误数据上方以一单棋线划去，更新数据填记于旁边并加注日期，并由当事人署名以示负责。
g.破损之档案夹应即报废更新。
h.全部文件数据，档案夹均不可置于机台上，需统一置于指定位置。
4.3.9文具用具：
a.工作桌面上、下及地皮应保持整齐，文具用具尽可能以不散乱为标准，随时将文具用具归位(如笔、空白表格、便条纸等)
b.回形针、钉书针….等细小物品不可放在机台上。
c.生产步骤单不可随意拿出无尘室。
d.灭火器：设置周围不可堆放物品、周围走道应保持通畅，并有清楚之标示牌。