Off-axis原理及应用.ppt

,单击此处编辑母版标题样式,单击此处编辑母版文本样式,第二级,第三级,第四级,第五级,*,Off axis 成像原理及应用,NSR shrinc,Off axis成像原理及应用,根据光的衍射理论，光通过接近于其波长的缝隙时会发生衍射。,衍射后光路如图所示。,-2,-1,0,+1,+2,由于大于二阶的衍射光能量非常微弱，所以在一般情况下，通常只考虑-1、0、+1三条光线。,Off axis成像原理及应用,在光刻机中，光透过,reticle,后，通过,LENS，,在,wafer,上成像。由于,reticle,上的线与线间距非常小，所以光线在通过,reticle,时会发生衍射。,斜光带,光,reticle,Off axis成像原理及应用,在早期，由于,reticle,上的,p,较大，因此衍射角,较小。所以由,reticle,上射下的光线，经过衍射后三条光线都可以进入,LENS,在,wafer,上成像。实际上,stepper,就是利用衍射光成像的。,LENS,reticle,wafer,P,Off axis成像原理及应用,随着技术的发展，,reticle,上的线宽越来越小，,p,也越来越小，在,不变的情况下，,变大，那就会出现下面的结果：,wafer,LENS,reticle,P,三条光线只有一条可以进入,LENS，,这时，在,wafer,上就无法成像了。,Off axis成像原理及应用,要解决这个问题在照明系统上有三种办法：,减小曝光波长,增大,numerical Aperture,（,LENS,直径,),Off axis,方法,Off axis成像原理及应用,减小曝光波长,的方法,使用的曝光光源,g-line=436nm,I-line=365nm EX=248nm,增大,NA,解析度=,DOF=,增大,NA，DOF,会越来越小。,成本越来越高，制造也越来越困难。,Off axis成像原理及应用,这样，靠两条光线成像，使,reticle,上的相对更小的,pattern，,原来不能在,wafer,上成像的，也可以成像在,wafer,上。换句话说，也就是提高了光学系统的分辨率。,DOF,Off axis成像原理及应用,reticle,LENS,wafer,DOF,LENS,reticle,wafer,Off axis成像原理及应用,因为在实际的使用中，物体是立体的，也就是说，要成出物体真实的像，就必须在任意角度都有两条光线进入,LENS。,而如果只有二条光线进入,LENS，,则在一个方向上会相当于只有一条光线进入,LENS。,旋转90,Off axis成像原理及应用,为保证在任意角度都可以成像，最好有四条光线同时入射。如图所示的方式，即可解决。,旋转90,Off axis成像原理及应用,因此，在 光路中（,fly-eye,与,reticle,间）加上如图所示的装置，即可完成控制四条光线从不同方向入射的要求。,Off axis成像原理及应用,将上述的装置进行了改进，采取了多角度入射的方法。并最终演化为图中4的方式。,实际的机器中有1、4三中结构。,1,2,3,4,Off axis成像原理及应用,在机器中，将上述调光装置放在一个大的圆盘上，在需要时，按程序指令，转动到合适的位置上即可。,(图中小,的原理并非,off axis),小,Off axis成像原理及应用,DOF,DOF,DOF DOF,DOF,大,pattern,时的焦深,DOF,小,pattern,时的焦深,Off axis成像原理及应用,针对这种情况，设计了下面这种改进方法。,在,LENS,中加入了一个阻挡因为衍射角改变而进入的光线的装置,L-NA，,原理如右图。,LENS,DOF,Off axis成像原理及应用,Off axis成像原理及应用,THE END!,THANK YOU!,