JB／T 10076-1999 冷阴极电离真空规管技术条件.pdf

UDC 中 华 人 民 共 和 国 专 业 标 准 肺 净 “ 夕 乒 夕 尸 碑 刀斗赞防于诵4 冷阴极电离真空规管技术条件 S P e c if ic a t io n so f c o ldc a t h o d eio n iz a t io nv a o u u m g a u g eh e a d 1 8 8 4 一 1 2 一 1 0 发布1 9 8 5 一 1 0 一 0 1 实施 中 华人 民 共 和 国 机 械 工业 部批 准 中 华 人 民 共 和 国 专 业 标 准 UDC 冷阴极电离真空规管技术条件 ZB YZ B 6 一8 4 S P e c i f i c a t i o n so fc O l dc a t h o d e i o n i z a t i o nv a c u u m g a u g eh e a d 本标准适用于测最压强 不小于5x l 。 一P a(3. s x l 丁吕 T orr) 的 潘宁型、 磁控管型和 反磁控管型冷 阴极电离真空规管 ( 以下简称规管)。 1技 术要求 1 。 1 外现 a 。 玻璃规管外壳无裂纹或明显的气线、气泡等缺陷， 七 。 规管与 真空系统连接部分表面 不应有影响密封性能的划伤; 。 . 规管工作磁铁与管壳之间应有调整和固定装置， d ， 规管外壳与管基之间的固定应牢固， . 。 规管绝缘件表面应清洁无污染， f 。 规管电极装架应牢固、无松动等现象， 9 。 规管应有明 显、清晰的标志。 1 。 2 连接 规管与 真空系统连接部分应满足下述要求: a . 连接管道为玻璃管时应采用硬质玻璃， 七 . 圆 形管道连接时，管道外径应为15。 5 士 。 。 s m m ; c 。 采用法兰连接时，法兰尺寸应符合有关标准的 规定。 1 。 3 工作大气条件 规管在下述条件下应能正常工作: a 。 周围环境温度为 0一+4 0 ; b 。 相对湿度为 1 0 一7 5 % ( 2 5 时); c . 大气压强为8 6 一l o 8 K P a( 8 6 0 一i o s o m b a r )。 1 。 4 密封性 规管对氦气的漏率应为: Q( lx1 0 一 喀P 式中 : Q 漏 率， p a m ， 5 一 多 P 规管测量范围的下限 值，P a 。 1 。 5 绝缘性能 在工作大气条件下，规管阳极和阴极之间的绝缘电阻应为: (1) _ _ V 找尹i V 了 丐 es (2) 式 中:R绝缘电阻，Q; V规管工作 电压 ， V; 机械工业部1 9 8 4 一 1 2 一 1 0 发布1 9 8 5 一 1 0 一 0 1 实施 2日 Y2 8 6 一8 4 P规管测量范围的下限值，P a ， 5规管测量范围下限灵敏度，A/ P a 。 。 6 辱散性 单个规管特性曲线对标准曲线的相对压强偏差应不超出下述范围: 当压强 大于sx l o 一P a 时:一 50% 一+ 70%， 当压强小于5x1 0-石 P a时:一60%一 +1 50%。 1 . 了 激发时间 规管在测量范围的下限值附近时， 从加上工作电压到开始正常放电之间的时间间隔应不大于30 秒。 1 . 公 绝定性 规管在测量范围内由双值现象引起的特性曲线对平均值的相对压强偏差不应超出 士20%。 1 。 9 抗运翰环境性能 规管在运输包装条件下，应能符合Z BYO 02一81仪器仪表运输、 运输贮存基本环境条件及试验方 法的要求。其中:高温试验选用十5 5 ，低温试验选用一40;跌落高度为 2 50 mm。 试验后，规管仍应符合本标准 1 . l a、b、d、 f，1 . 4 和 1 . 6的要求。 2试验方法 2 . 1 规管是否符合 1 . 1的要求，用目测或相应的工具来进行检查。 2 . 2 规管是否符合1 . 2 的要求，用观察或相应的检测工具来进行检查。 2 . 3 规管是否符合 1 . 4的要求，在相应灵敏度的氦质谱俭漏仪上进行检查。 2 . 4 规 管 是 否符 合1 ; 5 的 要 求 ， 使 规 管 处 于 大 气状 态， 用 相 当 于 规 管 工 作 电 压的 兆 欧 表或 其 它 绝 缘 电 阻测量仪器，分别在下述条件下直接测量阳极和阴极之间的绝缘电阻: a 。 温度:+ 40。试验条件按G B 2 4 2 3 . 2 一81电工电子产品基本环境试验规程 试验B :高温 试验方法中2 2 . 3条的规定，达到规定温度 0 . 5 小时后进行测试。 b . 湿度:75% ( 25 时)。 试验 条件按G B2 4 2 3 . 3 一81 电工电 子产品基本环境试验规程 试验 C a :恒定湿热试验方法 的规定， 达到 规定湿度2 天后进行测试。 2 . 5 规管是否符合 1 . 6 的要求，采用下列方法和装置进行检查: 2 . 5 . 1 计算单个规管特性曲线的压强偏差 ( 与标准曲线比较)，按下式进行: = A 一AO A。 又 1 0 0 (3) 式中:相对压强偏差，%; A选定点压强值，P a ; A。 标准曲线对应的压强值，P a 。 每个量级选点不少于 3点。 2 . 5 . 2 校准采用动态直接比较法进行。 它的基本原理是将待校准的真空计和标准真空计接在同一校准 室上，该室所需压强可以通过动态平衡调节取得。 2 . 5 . 3 校准装置如下图所示。它主要由下列几部分组成: 2 . 5 . 3 . 1 若干个测量范围互相衔接的标准真空计 ( 或经校准过的真空计)。当压强大于5又 10 S P a 时，其误差不超出士10%;当压强小于 sx 1 o 一 “ P a时，其误差不超出士40%。 ZB Y2 8 6 一8 4 校准装置示意图 图中:1 校准室， 2 被校真空计; 3 标准真空计， 4 监测真空计， 石 微 调阀， 6 氮气源， 7抽气调节阀。 2 . 5 。 3 。 2 动态平衡真空系统应满足下述条件: a 。 校准室容积不小于 所有连接到校准室上规管总 容积的50 倍; b 。 校准室的残余压强不得超过校准压强下限的2 %; c 。 动态注入校准室的气体分子至少与其器壁碰撞一次后方能进入规管， d . 校准室与规管连接的过渡管道流导不小于l x l 。 一 “ m 5 一 。 2 。 5 。 3 . 3 监测校准室中 压强的是电离真空计。 2 。 5 . 3 . 4 校准用的氮气。其纯度不低于9 9 . 9 %。 2 。 5 。 3 . 5 温度计 ( 一 10十50;误差士1)。 2 . 5 . 4 校准时，规管配用稳定的真空计控制单元。其工作电压误差不超过 士1 %;其放电电流读数采 用精确度等级不低于。 ， 5 级的电流读数装置。 2 . 5 。 5 校准前，规管必须按产品规定的方法通电老化或除气处理。 2 . 5 . 6 校准按压强上升程序进行。 当监测真空计指示校准室内压强读数在 3 分钟内变化小于 1 %后， 同时记下标准真空计示值和被检规管的放电电流读数。 2 。 6 规管是否符合1 . 7 的要求，在真空系统上被检规管抽至规定的压强下限值 附近， 关闭真空计控制 单元 0 。 5 小时后再打开，用秒表测得激发时间。 测试时。允许使用配套控制单元中的辅助激发装置。真空系统的真空度监测可以采用电离真空计， ZB Y2 8 6 一B 4 但必须与被检真空计同时关闭或规管与测试系统连接处加一个接地的金属网，以防止游离的带电位子对 测试的影响。 2 . T 规 管 是否 待 合1 . 8 的 要 求 ， 试 验 所 用的 装 置与2 . 5 相同 。 分 别 按 压强 上 升和 下 降 程 序 进行 校 准 得 到两条特性曲线。当出 现双值现象时，则在其中点计算偏离平均值的 相对压强 偏差值。 2 . 8 规管是否符合1 . 9 的要求， 按Z BYO 02一81标准中 所规定的 方法进行试验， 然后按本标准2 . 1 、 2 。 3 和2 . 5 进行测定。 5 检脸规则 3 . 1 为了保证 规管的质量符合本标准的各项 要求，产品必须通过出厂试验、 型式试验和验收试验。 3 . 2 出厂试脸 吕 。 2 。 1 出厂试验由制造厂质量检验部门 进行。 3 . 2 . 2 批量生产的规管，每只规管都要按1 。 1 、1 。 2 、 1 . 4 和1 . 6 的 要求 进行检验， 当 不符合其中任何 一条 规定时， 即作为废品予以剔除。 经检验合格的产品附产品合格证后方能入库和出 厂。 a 。 3 型式试脸 3 。 3 . 1 型式试验由制造厂质量检验部门负责进行。 3 . 3 . 2 型式试验按本标准的全部要求进行。 8 . 3 。 3 当出现下列情况之一时，规管应进行型式试验: a . 试制新产品时， b . 产品在设计、工艺或使用的材料发生改变后， 可能影响到性能时， c . 停产超过一年再投产时; d 。 成批生产的 产品， 每年至少进行一次。 3 。 3 。 4 型式试验的样品应从出 厂试验合格的批量产品中任意抽取2 %， 但不少于5 只的规管进行试 验。试验过程中， 若有一项不合格，则应再取加倍数量的产品进行全部项目 的复验。若仍有一项 不合格 时，则认为型式试验不合格。 a 。 4 脸收试验 3 . 4 。 1 验收试验在订货方提出 要求时进行。试验项目 由供需双方协商决定。 3 . 4 . 2 验收试验的样品从成交产品中任意抽取2 %， 但不少于2 只的规管进行试验。试验过 程中，若 有一项不合格，则应取加倍 数量的规管进行复验。若仍有一项不合格，则认 为验收试验 不合格。 3 。 4 . 3 验收试验不合格的产品，厂方应予以剔除或调换。 4 标志、包装和贮存 4 。 ， 标志 规管应有下列醒目的耐久性标志: a 。 制 造厂名称或商标; b . 产品名称和型号， c . 制造年、月或出厂编号。 4 。 2 包装 4 . 2 . 1 每只规管在包装时应附有产品说明书和产品合格证。 产品说明书应包括如下内容: a . 制造厂名称或商标， b . 产品名称和型号， Z B Y2 8 6 一8 4 。 . 产品标准编号， d .产品外形图及主要尺寸， 。 。 主要参数和标准曲线， f . 电极接线图; 9 . 规管清洗方法， h . 产品特点和使用要求， 1 。 其 它。 4 . 2 . 2 规管包装应符合Z B Yo 03一84 仪器仪表包装通用技术条件的 规定， 达到防展、 防潮和耐 压的要求。 4 。 3 贮存 规管应保存在温度。 50 ，相对湿 度不大于75% ( 2 5 时)的环境中。 周围 不应该有强磁场和腐 蚀性气体。 附 加说明: 本标准由上海市通用机械技术研究所提出。 本标准由冶金部钢铁研究总院、上海市通用机械技术研究所负责起草。 本标准主要起草人:林立三 本标准委托上海市通用机械技术研究所负责解释。