GB 50646-2020 特种气体系统工程技术标准.pdf
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1、UDC中华人 民共和 国国家标准GB 5 0 6 4 6一 2 0 2 0特种气体系统工程技术标准T e c h n i c a l s t and a r d fo r s P e c i a l t y g a s s y s t e m e n g i n e e ri n g2 0 2 0 一0 2 一2 7 发布2 0 2 0 一1 0 一0 1 实施中 华 人 民 共 和 国 住 房 和 城 乡 建 设 部,人。,国 家 市 场 监 督 管 理 总 局 软口 一况.中华人民共和国国家标准特种气体系统工程技术标准T e c h n i c a l s t a n d a r d f
2、o r s p e c ia l t y g a s s y s t e m e n g i n e e r i n gGB 5 0 6 4 6一2 0 2 0主编部 门: 中华 人 民共 和 国工业 和信息 化部批准部门 : 中华人民共 和国住房和城乡建设部施行 日期 : 2 0 2 0 年1 0 月1 日中国计划出版社2 0 2 0 北京中华人民共和国住房和城乡建设部公告2 0 2 0年第 5 9 号住房和城乡建设部关于发布国家标准 特种气体系统工程技术标准 的公告 现批准 特种气体系统工程 技术标准 为国家标 准 , 编号 为G B 5 0 6 4 6 一 2 0 2 0 , 自2 0
3、2 0 年1 0 月1日起实施。其中, 第 3 . 1 . 5 ( 1 、2 ) 、 3 . 1 . 6 、 3 . 2 . 5 、 3 . 2 . 6 、 3 . 2 . 7 、 3 . 3 . 7 、 3 . 3 . 8 、 4 . 2 . 1 ( 2 、 5 、 6 ) 、4 . 3 . 1 、 4 . 4 . 4 、 4 . 4 . 7 、 5 . 2 . 1 ( 1 、 2 、 3 、 4 、 5 ) 、 5 . 2 . 3 ( 1 、 2 、 3 ) 、 5 , 2 . 6 、5 . 4 . 5 、 6 . 1 . 3 、 6 . 1 . 4 、 6 . 2 . 6 、 7 . 2
4、 . 1 、 7 . 2 . 9 、 9 . 1 . 3 、 9 . 2 . 5 、 9 . 2 . 6( 1 ) 、 9 . 3 . 2 、 9 . 3 . 1 5 、 9 . 3 . 1 7 、 1 0 . 6 . 2 ( 7 ) 、 1 0 . 7 . 2 条 ( 款) 为强制性条文, 必须严格执行。原国家标准 特种气体系统工程技术规范G B 5 0 6 4 6 一 2 0 1 1 同时废止 。 本标准在住房和城乡建设部门户网站( w w w. m o h u r d . g o v.。 n )公开, 并 由住房和城乡建设部标 准定额研究所组织 中国计划 出版社 出版发行。中华人民共和国
5、住房和城乡建设部 2 0 2 0年 2月 2 7日月 IJ吕 根据住房和城乡建设部 关于印发 的通知 ( 建标 2 0 1 6 2 4 8 号) 的要求, 由信息产业电子第十一研究院科技工程股份有限公司和中国电子系统工程第二建设有限公司会同有关单位共同编制完成。 本标准在编制过程 中, 编制组根据我 国特种气体 系统各类站房的设计 、 建造和运行 的实际情况, 进行了广泛 的调查研究, 同时考虑我国特种气体的技术来 源情况 , 对 国外的有关标准进行 了研读 , 并在全国范围内广泛向有关单位或个人征求意见的基础上 , 修改 、 完善标准 , 最后经审查定稿 。 本标准的主要技术 内容是 : 总
6、则 、 术语 、 特种气体站房 、 特种气体工艺系统 、 生命安全系统 、 特种气体管道输送系统 、 建筑结构、 电气与防雷、 公用工程 、 特种气体 系统工程施工 、 特种气体 系统工程验收等 。 本标准修订的主要技术内容是 : 1 . 取消规范中的第 5 章“ 硅烷站” 的设置 , 根据其专业 内容分别并人第 3 章至第 9 章的相关章节 。 2 . 合并规范中的第 10 章“ 给水排水及消防” 和第 n 章“ 采暖通风与空气调节” , 合并后为新标准的第 9 章“ 公用工程” 。 3 . 根据我国工程建设 的实际情况及 国外相关规范的内容 , 修改 了第 3 章“ 特种气体站房” 的部分
7、内容 。 4 . 将第 n 章“ 特种气体系统验收” 的部分 内容纳人该章节 的条文说明。 本标准 中以黑体字标志的条文为强制性条文 , 必须严格执行。 本标准 由住房和城乡建设部负责 管理和对强制性 条文的解释, 由工业和信息化部负责日常管理, 由信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司负责具体技术内容的解释。在执行本标准的过程中, 请各单位结合工程实践 , 认真总结经验, 如发现需要修改或补充之处, 请将意见和有关资料寄至信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有 限公司( 地址 : 四川成都市双林路 2 51号; 邮编: 6 1 0 0 2 1 ; 传真: 0 2 8 一 8 4
8、 3 3 3 1 7 2 ; E-m a il : e d r i l l e d r i . 。 n ) , 以供今后修订时参考 。 本 标 准 主 编 单 位 : 信息产业 电子第十一设计研究 院科技 工程股份有限公司 中国电子系统工程第二建设有限公司 本 标 准 参 编 单 位 : 上海正帆科技股份有限公司 中国电子工程设计院有限公司 工业和信息化部电子工业标准化研究院 液化空气( 中国) 投资有限公司 咸阳彩虹光电科技有限公司 成都爱德工程有限公司 中国电子科技集团公司第五十八研究所 本标准主要起草人员 : 李 骥 吴 军 闻诗源 薛长立 黄 勇 李东升 江元升 欧华星 夏双兵 陆 崎
9、 张家红 王凌旭 宋 燕 钱春健 朱梅君 薛首文 毛冬凯 胡天碧 王鹏亮 顾爱军 本标准主要审查人员 : 郑秉孝 侯文川 崔永祥 刘小娇 薛东升 姜剑锋 周礼誉 张志辉 孙效义目次1 总则 (1)2 术语 (2)3 特种气体站房 ( 7) 3 . 1 一般规定 (7) 3 . 2 特种气体站房布置 (8) 3 . 3 特种气体设备布置 (9)4 特种气体工艺系统 ( 1 1) 4 . 1 一般规定 ( n ) 4 . 2 特种气体输送系统 ( 11 ) 4 . 3 吹扫和排气系统 ( 14 ) 4 . 4 硅烷工艺系统 ( 14 )5 生命安全系统 ( 16) 5 . 1 特种气体管理系统 (
10、 16 ) 5 . 2 特种气体探测系统 ( 16 ) 5.3 其他安全 设施 ( 18 ) 5 . 4 特种气体报警的联动控制 ( 19 )6 特种气体管道输送系统 ( 20) 6 . 1 一般规定 ( 20 ) 6 . 2 材料选型 ( 20 ) 6 . 3 管道设计 ( 21 ) 6 . 4 管道标识 ( 22 )7 建筑结构 ( 24 ) 7 . 1 一般规定 ( 24 ) 7 . 2 建筑防火 ( 24 ) l7 . 3 建筑构造措施8 电气与防雷8 .18 .2配电与照 明防雷与接地9 公用工程 9 . 1 给水排水 9 . 2 消 防 9 . 3 采暖通风与空气调节 :. 10特
11、种气体系统工程施工 1 0 . 1 一般规定 10. 2 主要设备、 材料进场验收 10. 3 气瓶柜与气瓶架的安装 , 10. 4 阀门箱与阀门盘的安装 10. 5 尾气处理装置及纯化器的安装 10. 6 特种气体管道安装 10. 7 特种气体管道改扩建工程施工n特种气体系统工程验收 1 1 . 1 一般规定 11. 2 设备验收 n. 3 管路与系统验收 n. 4 气体探测( 监控) 系统验收 附录 A特种气体管道氦检漏方法 附录 B 电子工业用特种气体的主要物化性质 ( 单一气体)本标准用词说明引用标准名录附: 条文说明(2 7)(2 8)(2 8)(2 8)(3 0)(3 0)(3 0
12、)(3 1)(3 4)(3 4)(3 4)(3 6)(3 6)(3 7)(3 7)(4 1)(42)(4 2)(4 2)(4 2)(4 3)(4 4 )(4 5)(5 0)(5 1)(5 3 )Co n t e n t s1 G e n e r a l P r o v i s io n s2 Te r ms3 S p e c i a l t yg a s e s s t a t io nr o o m 3.1 G e n e r alr e q u ir e m e n ts , . . . . . . . . . . . . . . . . 3 . 2 S p e c i a l t y g
13、 a s e s s t a t i o n r o o m 3 . 3 S p e c ia l t y g a s e s e q u ip m e n t la y o u t ” ” ” . “ ” ” “ ” ” ” 4 P r o c e s s s y s t e m o f s P e c i a l t yg a s e s 4 . 1 Ge n e r a l r e q u i r e me n t s . ”“”4 . 2 P i p e l i n e s y s t e m o f s p e c i a l t y g a s e s4.4。P u r g e a
14、 n d v e n t s y s t e mS i l a n e p r o c e s s s y s t e m5 L i f e s a f e t y s y s t e m5 . 1 Ma n a g e m e n t s y s t e m o f s p e c i a l t y g a s e s5 . 2 D e t e c t i o n s y s t e m o f s p e c i a l t y g a s e s5 . 3 S a fe t y p r o v i s i o n s 5 . 4 I n t e r c o n t r o l o f
15、s P e c i a l t y g a s e s a l a r m6 P i p e l i n e o f s p e c i a l t y g a s e s 6 . 1 G e n e r a l r e q u i r e me n t s 6 . 2 Ma t e ri al s s ele c ti o n . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 6 . 3 P i p e l i n e d e s i g n 6.4 P ip el in e la b el in g . . . . . .
16、. . . 7 Ar c h it e c t u r ea n ds t r u c t u r e “ ” ” ” ” ” ” “ 7 . 1 Ge n e r a l r e q u i r e me n t s 7 . 2 Ar c h i t e c t u r e f i r e P r o t e c t i o n“ . ” ” ” . ” “” ” ( 1 ) ( 2 ) ( 7 ) ( 7 ) ( 8 ) ( 9 ) (1 1) (1 1) (1 1) (1 4) (1 4) (1 6) (1 6) (1 6) (1 8) (1 9) (2 0) (2 0) (2 0) (
17、2 1) (2 2) (2 4) (2 4) (2 4) 3 7 . 3 Ar c h i t e c t u r e c o n s t r u c t l o n me a s u r e (2 7)8 E l e c t r ic a l a n d l ig h t n i n gP r o t e c t io n ( 2 5 ) 8 . 1 P o w e r d i s t r i b u t io n a n d l i g h t i n g ” ” “” ( 2 8) 8 . 2 L i g h t n i n g P r o t e c t i o n a n d g r
18、 o u n d i n g ( 2 8)9 U ti h t ye n g i n e e ri n g ( 3 。 ) 9 . 1 Wa t e r s u P P l y a n d d r a i n a g e ( 3 0) 9 . 2 F i r e p r o t e c t i o n ( 5 0) 9 . 3 He a t i n g v e n t i l a t i o n a n d a i r c o n d i t i o n i n g ( 3 1 )1 0 E n g in e e r in g c o n s t r u c t i o n o f s P e
19、 c ia l t y g a s e s s y s t e m ( 3 4 ) 1 0 . 1 G e n e r a l r e q u i r e m e n t s ( 3 4 ) 1 0 . 2 S i t e a c c e P t a n c e o f m a i n e q u i P m e n t a n d m a t e r i a l s ( 3 4) 1 0 . 3 I n s t a l l a t i o n o f G C a n d G R ( 3 6) 1 0 . 4 I n s t a l l a t i o n o f VMB a n d VMP
20、(3 6) 1 0 . 5 I n s t a l l a t i o n o f e xha u s t g a s e s l o c a l s c r u b b e r a n d P u r i f i e r ( 3 7 ) 1 0 . 6 I n s t a l l a t i o n o f s p e c i a l t y g a s e s P I P e l i n e ( 3 7 ) 1 0 . 7 E n g i n e e r i n g c o n s t r u c t i o n o f r e v a m p a n d e x p a n s i o
21、n p r oj e c t o f s p e c i a l t y g a s e s p i p e l i n e ( 4 1 )1 1 E n g i n e e r i n g in s p e c t io n a n d a c c e p t a n c e o f s p e c ia l t y g a s e s s y s t e m ( 4 2) 1 1 . 1 G e n e r a l r e q u i r e me n t s “ ( 4 2 ) 1 1 . 2 I n s p e c t i o n a n d a c c e p t a n c e o
22、 f e q u i p m e n t ( 4 2 ) 1 1 . 3 I n s p e c t i o n a n d a c c e p t a n c e o f p i p e l i n e s y s t e m ” ” ” ” ” ( 4 2 ) 1 1 , 4 I n s p e c t i o na n d a c c e p t a n c e o f g a s e s d e t e c t i o n / m o n i t o r i n g s y s t e m . . 二” “ . . ” . . . ” 二 二 . . . 二 ( 4 3)APp e n
23、 d i x A He l i u m t e s t l e a k a g e o f s p e c i a l t y g a s ( 4 4 )AP p e n d i x B Th e c h ar a c t e ri s t i c s o f sP e ci a lt y g a s ( mo no- gas ) ( 4 5 )E x P l a n a t i o n o f w o r d i n g i n t h i s s t a n d a r d ( 5 0 )L is t o f q u o t e d s t a n d a r d s ( 5 1 )A d
24、 d it i o n : E x p l a n a t i o n o f p r o v i s i o n s ( 5 3 ) 41 总则1 . 0 . 1 为了在电子工业工厂特种气体系统及配套装置的工程设计、 施工及验收中贯彻国家现行法律、 法规, 满足产品生产要求, 确保人身和财产安全、 做到安全适用、 技术先进、 保护环境、 节约能源、 经济合理, 制定本标准。1 . 0 . 2 本标准适用于新建、 改建、 扩建的电子工业的特种气体系统工程中的设计、 施工和验收。1 . 0 . 3 本标准不适用于特种气体的制取、 提纯、 灌装等生产及配套装置的工程设计 、 施工和验收。1 . 0
25、 . 4 特种气体系统工程的设计、 施工及验收除应符合本标准的规定外 , 尚应符合国家现行有关标准的规定。2 术语2 . 0 . 1 特种气体s p e c i a l t y g a s 电子产品生产外延 、 化学气相沉积、 刻蚀 、 掺杂等工艺 中使用的 自 燃性、 易燃性 、 剧 毒性 、 毒 性、 腐 蚀性 、 氧化性 、 惰 性 等特 殊气体。2 . 0 . 2 自 燃性气体p y r o p h o r i c g a s 也称作发火气体 , 是指在空气 中等于或低于 54时可能 自燃的易燃气体。2 . 0 . 3 易燃性气体f l a m m a b l 。 g a s 一种在2
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