氢氦工艺气体爆炸性能研究及测试_韩晓琦.pdf
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1、 收稿日期 2023 01 28 作者简介 韩晓琦(1988),男,工学学士,主要从事防爆产品国际认证、防爆生产线安全评估和防爆安全检查等工作。氢氦工艺气体爆炸性能研究及测试韩晓琦1,韩森1,任红蕾2,邓斌2,龚志峰2(1 南德认证检测(中国)有限公司北京分公司,天津300051;2 北京北方华创微电子装备有限公司,北京100176)关键词 氢气;氦气;惰化;气体爆炸性测试 摘要 为了判定半导体生产过程中关于氢氦混合气体的爆炸性风险,通过对生产过程中使用的指定比例的氢氦混合物进行多种理论上的计算和分析,最后设计出一组测试来证明氦气:氢气=9:1 的混合气体在和空气以各种比例混合时都不可燃,为半
2、导体工业和气体使用惰化爆炸性气体的工艺过程提供理论和试验上的参考。中图分类号X932 文献标识码A 文章编号 1004 9118(2023)01 0040 03DOI:10 14023/j cnki dqfb 2023 01 010Hydrogen-Helium Mixture Explosivity esearch and TestHan Xiao-qi1,Han Sen1,en Hong-lei2,Deng Bin2,Gong Zhi-feng21 TV SD Certification and Testing(China)Co,Ltd Beijing Branch,Tianjin,300
3、0512 Beijing NAUA Microelectronics Equipment Co,Ltd Beijing,100176)Key words:hydrogen;helium;inerting;explosion test of gasAbstract:In order to clarify the explosive risk of hydrogen helium mixture in the semiconductorproduction process,a group of tests are designed through theoretical calculations
4、and analysis of thehydrogen helium mixture used in the production process It proves that the 9:1 helium and hydrogenmixture is not combustible when mixed with air in various proportions and provides theoretical and ex-perimental reference for the semiconductor industry and the process of using inert
5、 explosive gas0引言正压工艺气体氢氦混合物(5%H2+95%He,vol/vol)广泛应用于半导体工业领域,释放到空气中存在潜在风险。由于氢气是一种众所周知的爆炸性气体,氦气是一种众所周知的惰性气体,关于两者混合物与任何可能的混合比例的空气混合是否易燃问题,本文将通过理论分析和计算进行研究和测试。1样品信息氢氦混合物爆炸性研究及测试的样品信息见表 1。2理论计算可燃气体/蒸气和空气的混合物并不是在任何浓度都能被点燃,必须在一定的浓度范围内混合,并用有足够能量的火源点燃。在不同浓度下,爆炸的危险性是不一样的,比如由氢气和空气组成的混合物,其混合的浓度不同,点燃的结果也不同。可燃混合
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