JJG 2022-89 真空计量器具检定系统.pdf
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1、中 华人民 共和国 国 家计量 检定 系 统J J G 2 0 2 2-8 9真空计妞器具1 9 8 9 年 8月 1 5日批准1 3 9 0 年5 月1 日 实施国 家 技 术 监 督 局真空计且器具检定系统V e r i f i c a t i o n S c h e me o f Me a s u r i n g I n s t r u me n t sf o r Va c u umJ J G 2 0 2 2-8 9 本国 家计量 检定系统经国家技术监督 局于工 9 8 9 年8 月1 5 日 批准,并自1 9 9 0 年 5月1日起施行。起草单位:中国计量科学研究院本检定系统技术条文由
2、起草单位负责解释。本检定系统主要起草人:费渭南(中国计量科学研究院)参加拐草人:周起春(中国 计量科学研究院)张家英(中国计量科学研究院)目录一 计量基准器具.(I)二 计量标准器具.(3)三 工作计量器具.(7)四真空计量器具检定系统框图 (8)J J G 2 0 2 2-8 9共 8页第 1 页真空计量器具检定系统 在真空科学技术领域中,通常由“真空 度”量值表示低于环境大气压的气体的稀薄程度。根据当前真空科学技术发展的水平,真空度获得和测量的范围,已 从 大 气 压(1 0 5 P a)室 极 高 真 空(1 0-P a).但 工 业 生 产 和 科 学研究中实际广泛应用的范围为1 0-
3、0 1 0 P a.为了保证该范围内 真空度量 值的准确一致,.制定本检定系统,进行真 空量值传递,检定各级真空计量器具.本检定系统主要适用于 1 0-8 1 0 5 P a 范围内,计 量、科研和工业部门使用的真空标准装置和真空计的检定。一计 且 墓 准 器 具 1 真空国 家基准主要用于复现和传递真空度呈值,是统一全国真空度量值的 最高依据.2 真空国 家基准由 三个不同范围的真空装置组成:2.1 5 x 1 0-e -1 P a 压缩 式真空计装置 2.2 1 -1 x 1 0 8 P a 压缩式真空 计装置 2.3 5 x 1 0.1 x 1 0 5 P a 液体压力计装置 3 国 家
4、基准复现的量的总范围为 5 x 1 0-e-1 x 1 0 5 Pa 4 不确定度 4.1压缩式真空计装置 真空度计算公式为:P=P g K h l h=(1)式中:P-t 时汞密度,9 当地重力加速度,K 一真空计常数,h,有效汞柱面高度差,共 8页第2页J J G 2 0 2 2-8 9h:压缩后气柱有效高度.由各参数的误差引入的不确定度为:d,=“d p+d;+d a+d;,+d;:(2)装置真空度的不稳定性为d:,则总不确定度为;d=d,+d,(3)装置 在 测 量 下限P 二 5 x 1 0-s P a 时,d,=1.5 i o d,=0.2得d=士1.了%侧士2%(3 口)4.2液
5、体压力计装置 真空度计算公式为:p=Pg h (4)式中:h 液柱面的高度差。由各参数误差引入的不确定度为:d l=v d;+d;十 d;由于在 5 x 1 0 1-1*1 0 5 P a范围内是在静态 下 直 接 校准,d,=J J G 2 0 2 2-8 9共 8页第3页0,所 以 d=d,=v d;+d 二+d:(5)装置在测量 上限P=1 x 1 0 6 P a 时,d=10.1 2%10.2%因此,真空国家基准在5 x 1 0-1 x 1 0 6 P a 范围内的不确定度为:d二1(2-0.2)%(3 a)二计 且 标 准 器 具5 一等真空标准器有四种。5.1一等标准流导法真空装置
6、a.测量范围 1 0-6-1 0-1 Pab。不确定度图2真空度计算公式为:_二0._r一J 卜 厄 厂宁 儿(6)式中:K 一分流比;Q 气 体流量,c-流导,P.下游压强。关a页第 4页J s c 2 0 2 2-8 s由 上述参数误差引入的不确定度为:_ i,.,:,:./刀。、:,Ui一 Iu,宁口.十U.宁I 一 一甲 n一 I u V P,+K 令 l 装置真空 度的 不稳定性为d:;装置本底引入的不确定度为d。.总不确定度为a=d:+d:+d。装置在测量下限P=1 0-0 P a 时,a l=3 0 o 6 i=1%a s=1 0 0得a=15%(3 0)5.2一等标准膨胀法真空
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