JJG 571-2004(代替JJG 904-1996 JJG 571-1988) 读数、测量显微镜检定规程.pdf
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1、中华人民共和国国家计量检定规程J J G 5 7 1-2 0 0 4读数、测量显微镜R e a d i n g Mi c r o s c o p e a n d Me a s u r i n g Mi c r o s c o p e2 0 0 4一0 9一2 1发布2 0 0 5 一 0 3 一 2 1实施国 家 质 量 监 督 检 验 检 疫 总 局发 布J J G 5 7 1-2 0 0 4读数、测量显微镜检定规程 V e r i f i c a t i o n R e g u l a t i o n o f R e a d i n gMi c r o s c o p e a n d Me
2、 a s u r i n g Mi c r o s c o p e产。.O.O.O.口.O.口.O.O.O.O.O.O.O.、己全 J J G 5 7 1-2 0 0 4己 代替 J J G 9 0 4-1 9 9 6弓 代替 J J G 5 7 1-1 9 8 8弓夕飞.,.,.,.o.0.0.,“,.o.,.o.o.o.。本规程经国家质量监督检验检疫总局于2 0 0 4 年 0 9 月 2 1 日 批准,并自2 0 0 5 年 0 3 月 2 1日起施行。归口 单 位:主 要起 草单位:参加起草单位:全国几何量工程参量计量技术委员会中国计量科学研究院河南省计量测试研究所中国航空工业第一集团
3、公司第三O四研究所本规程委托全国儿何量工程参量计量技术委员会负责解释J d G 5 7 1-2 0 0 4本规程主要起草人:朱小平 张卫东 张恒 参加起草人:赵 新 丽 王蔚晨(中国计量科学研究院)(河南省计量测试研究所)(中国计量科学研究院)(中国航空工业第一集团公司第三0四研究所)(中国计量科学研究院)J J G 5 7 1-2 0 0 4目录1 范围 、(1)2 引用文献 (1)3 概述 ,(1)4 计量性能要求 (2)4.1 圆工作台受径向力时引起的位移 (2)4.2 玻璃台面与纵、横向滑板移动方向的平行度 (2)4.3 纵、横向滑板移动的直线度 (2)4.4 纵、横向滑板移动的相互垂
4、直度 ,(2)4.5 显微镜升降方向对玻璃台面的垂直度 (2)4.6 圆 工 作台 的 示 值 误 差 (2)4.7 显微镜的 示值误差 (2)4.8 回程误差 ,(2)5 通用技术要求 (3)5.1 外观 (3)5.2 各 部 分的 相 互 作用 (3)5.3 显微镜各刻线间的相对位置 (3)5.4 棱镜座转动引起影像的位移 (4)5.5 螺旋线分划板中心与回转中心的重合性 (4)6 计量器具控制 (4)6.1 检 定条件 。,(4)6.2 检定项 目 (4)6.3 检定方法 (4)6.4 检 定结 果 的 处 理 (9)6.5 检定周期 (9)附录 A 读数显微镜示值误差检定结果的不确定度
5、分析 (o)附录 s 测量显微镜示值误差检定结果的不确定度分析 -(1 2 附录 C 检定螺旋线分划中心与其回转中心重合性的检定装置 (1 4)附录 U 检定证书和检定结果通知书内页格式 (1 5)J J G 5 7 1-2 0 0 4读数、测量显微镜检定规程范围 本规程适用于分度值不大于 0.0 1 m m,测量范围上限至 8 m m的读数显微镜,以及分度值不大于 0.0 1 m m,测量范围:纵向为(0 一 5 0)m m、横向为(0 一1 3)m m的测量显微镜的首次检定、后续检定和使用中检验。2引用文献本规程引用下列文献:J J F 1 0 0 1-1 9 9 8 通用计量术语及定义J
6、 J F 1 0 5 9-1 9 9 9 测量不确定度评定与表示J J F 1 0 9 4-2 0 0 2 测量仪器特性评定J B/T 2 3 6 9-1 9 9 3 读数显微镜J B/T 9 3 3 9-1 9 9 9 测量显微镜使用本规程时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3概述 读数显微镜和测量显微镜(以下简称显微镜)都是光学机械式长度计量仪器,读数显微镜主要作为长度计量仪器中的瞄准定位读数装置,也可单独用于刻线宽度、间距等长度量的测量;测量显微镜的主要用途是通过影像法以直角坐标或极坐标原理测量零件的形状尺寸。读数显微镜外形结构如图 1、图2、图 3 所示,测量显微镜外形结构如图4
7、所示。图 1 读数显微镜外形图之一 1 一物镜;2-测微分划板盒;3 一 目镜;4-测微旋钮;5 一照明灯 图 2读数显微镜外形 图之二 1 一物镜;2-测微旋钮;3 一目镜;4-测微分划板盒;5 一零位调整旋钮;6 一照明灯J J G 5 7 1-2 0 0 4 图3 读数显微镜外形图之三1 一镜筒座盘;2-紧固镖钉;3 一分划板盒;4 一 目镜;5-测微鼓轮;6-物 镜;7 一 镜 筒 图4 测量显微镜外形图1 一基座;2-纵向测微鼓轮;3,4 一紧固螺钉;5-臂架;6 一立柱;7-显微镜升降旋钮;8 一棱镜座;9 一 目镜;1 0-显微镜管;1 1 一玻璃台;1 2-圆工作台;1 3-横
8、向测微鼓轮;1 4 一反射镜4 计且性能要求4.1 圆工作台受径向力时引起的位移 圆工作台受径向力 5 N时引起的位移量应不超过 0.0 1 m m.4.2 玻璃台面与纵、横向滑板移动方向的平行度 在纵向5 0 m m长度上应不超过0.0 4 m m;在横向 1 3 m m长度上应不超过 0.0 1 m m.4.3 纵、横向滑板移动的直线度 纵、横向滑板移动的直线度(以角摆表示)应不大于 2 5 04.4 纵、横向滑板移动的相互垂直度 纵、横向滑板移动的相互垂直度应不超过1 0.0 0 3 m m/1 0 m m.4.5 显微镜升降方向对玻璃台面的垂直度 显微镜升降方向对玻璃台面的垂直度应不超
9、过 5 a4.6 圆工作台的示值误差 圆工作台的最大允许误差 6 04.7 显微镜的示值误差 最大允许误差见表 1 要求。4.8 回程误差 最大允许误差见表 1 要求。J J G 5 7 1-2 0 0 4表 1显微镜物镜放大倍数 误差、回程误差和示值误差 的要求仪器名称分度值/m m最大允许误差/tam物镜放大倍 数回程误差示值误差读数显微镜0.0 1士551 00.0 0 5士32.550.0 0 2 5土 1.51.52.50.0 0 1t 0.50.50.80.0 0 0 5t 0.30.30.6测量显微镜毛 0.0 12 5+L/1 5(L测量长度,m m)5 通用技术要求5.1 外
10、观5.1.1 仪器应标有名称、型号、编号、制造厂名称(或厂标)及m 标志。5.1.2 仪器工作面应无锈迹、碰伤、明显划痕等缺陷,仪器的涂、镀层应无脱落现象。5.1.3 光学系统在整个视场内成像应清晰,视场内应无油迹、灰尘、水渍和霉点等影响使用的疵病。5.1.4 显微镜测微鼓轮、套管和分划板上刻线应平直、清晰、均匀,无断线和脱漆(或脱色)现象,数字亦应清晰。5.1.5 读数显微镜的毫米刻线与十字线之间、0.1 m m刻度尺与螺旋线分划板之间、指标线与微米刻线之间均应无 目力可见的视差。后续检定和使用中检验的仪器,允许有不影响计量性能的上述缺陷。5.2 各部分的相互作用5.2.1 仪器各活动部分运
11、动应灵活平稳,无卡滞和跳动现象。紧固螺钉的作用应可靠有效。5.2.2 测微鼓轮的行程应大于工作行程,在超始和最终位置上均应大于 0.3 m m.5.2.3 测微鼓轮的微分筒锥面内棱边与固定套管刻线面之间的距离应不大于 0.4 m mo5.3 显微镜各刻线间的相对位置5.3.1 图 1、图 2 结构的读数显微镜指标线与微米刻线应平行,指标线应盖住微米刻度尺短刻线长度的7/1 0以上,但不应超过微米刻度尺短刻线的长度。5.3.2 图 1 结构的读数显微镜的微米刻度尺运动方向与刻度尺轴线的平行度应不大于微米刻度尺短刻线长度的 1/5 05.3.3 图 2 结构的读数显微镜 0.1 m m刻度尺与螺旋
12、线分划板之间应无 目力可见的歪斜,当螺旋线对准 0.1 m m刻度尺上的0.5 m m刻线时,指标线偏离微米刻度尺零刻线不超过 0.0 0 1 m m.J J G 5 7 1-2 0 0 45.3.4 图 3 结构的读数显微镜,十字线的竖线应与毫米刻线平行。当十字线竖线对准毫米刻度尺的零刻线时,测微鼓轮的零位应对准指标线,其偏移量不超过 1/5 个分度;当测微鼓轮转动 1 0 0个分度时,十字线竖线应移动到对应刻线位置,其偏移量不超过 1个分度。十字线分划板运动方向 与毫米刻度尺轴线的 平行度应不大于毫米刻线长度的 1/1 0 05.3.5 图 4 结构的测量显微镜,当纵向读数装置上测微鼓轮的
13、零线与指标线对准后,毫米刻线对指标线的偏移量应不超过 0.1 m m;当横向读数装置上微分筒的零线与固定套管的纵线对准后,微分筒锥面的端面与固定套管毫米刻线右边缘应相切,离线不大于0.1 m m或压线不大于 0.0 5 m m a5.4 棱镜座转动引 起影像的 位移 棱镜座转动引起影像的位移量应不超过视场直径的 1/6 05.5 螺旋线分划板中心与回转中心的重合性 螺旋线分划板中心与回转中心的重合性应无 目力可见的偏移。6 计f 器具控制计量器具控制包括首次检定、后续检定和使用中的检验。检定条件1 检定环境条件见表 2 0 表 2 检定环境条件仪器名称环境条件读数显微镜分度值/m m室 温/室
14、温变化/(C/h)被检仪器在室内平衡温度时间/h0.0 12 0士5石 l_ 30.0 0 50.0 0 2 50.0 0 12 0 t30.1 X)0 5X1 2测量显微镜蕊0.0 12 0 t 56.1.2 检定设备 主要检定设备见表 3 a6.2 检定项目 各检定项目和检定类别见表 3.6.3 检定方法6.3.1 外观 目力观察。6.3.2 各部分相互作用 4I T G 5 7 1-2 0 0 4表 3检定项 目、检定类别和主要检定设备 2级刀口直角尺分度值为 0.0 1 M.,测量范围(0 一1)m m,U二 0.2 k m(k 二 3)专用玻璃刻度尺;分度值为0.1 m m,测量范围
15、(0一1 0)mm,U二0.5 1 m目力观察和手动试验。其中测微鼓轮微分筒锥面内棱边与固定套管刻线面之间的距,用塞尺以比较法在微分筒转动一周内均匀分布的四个方位上进行测量。3.3 显微镜各刻线间的相对位置离氏J J G 5 7 1-2 0 0 4 目 力观察和手动试验。6.3.4 棱镜座转动引起影像的位移 将十字线分划板平放在玻璃工作台面上,借助显微镜的升降旋钮调整显微镜,使 目镜视场内见到清晰的十字线影像。转动棱镜座一周,观察十字线影像的最大位移量作为测量结果。6.3.5 圆工作台受径向力引起的位移 在玻璃工作台面上安置十字线分划板,调整显微镜,使目镜中看到清晰的十字线影像。转动纵、横向读
16、数装置的测微鼓轮,使十字线影像与 目镜中的十字线对准,记下纵、横向 测微鼓轮的读数 a,和b,。在圆工作台 侧面上加径向力5 N,撤掉外力后,转动测微鼓轮使两十字线再次对准,并记下纵横向 测微鼓轮的读数 a 2 和 b,。圆工作台 受径向力所引起的位移量 l 按式(1)计算。l 封(a 2 一 a,)2+(b 2 一 b,)2 (1)式中:a a 2 纵向 测微鼓轮的读数值,m m;b b 2 横向测微鼓轮的读数值,m m o6.3.6 玻璃台面与纵、横向滑板移动方向的平行度 借助表架将千分表固定在显微镜的物镜筒上,调整千分表使其测量轴线垂直于工作台面。升降显微镜,使表的测头与玻璃台面接触,并
17、指示于行程中间的某一测值。分别移动纵、横向滑板整个工作行程,观察千分表的示值变化,各方向上示值最大变化量作为测量结果。6.3.7 纵、横向 滑板移动的直线度 将被检仪器和自准直仪安装在同一块平板上后,在圆工作台面上安置反射镜。调整自准直仪和反射镜,使其光轴平行于一滑板移动方向。然后,在整个工作行程内移动该滑板,分别记下该滑板在水平和垂直两个方位上的最大示值变化量,取最大变化值作为该移动滑板的角摆。按同样方法测量另一滑板的角摆。6.3.8 纵、横向滑板移动的相互垂直度 将四方体平放在玻璃台面上并加以固定,同时借助夹具把杠杆千分表固定在显微镜物镜筒上,调整杠杆千分表的测量轴线使其与横 向滑板移动方
18、向平行。移动横向滑板,使杠杆千分表测头与四方体的一个工作面接触。调整四方体使该工作面平行于纵向滑板移动方向,然后改变杠杆千分表的测量方向,使其测量轴线垂直于四方体的相邻工作面并与之接触。移动横向滑板 1 0 m m,记下杠杆千分表的示值变化量 a,将其作为测量结果。6.3.9 显微镜升降方向对玻璃台面的垂直度 测量时,将十字线分划板固定在玻璃台面上,升降显微镜直至在 目镜中见到清晰的十字线影像。调整圆工作台,使十字线分划板的十字线与纵横向滑板移动方向平行,转动纵横向测微鼓轮,使十字线影像与目 镜中的十字线对准,记下纵向和横向读数 a,和b,。提升 显微镜,将平行平晶放在十 字线分划板上,升降显
19、 微镜直至目 镜中见到清晰的十字线影像,转动纵横 向测微鼓轮,使十字线影像再次与 目镜中的十字线对准,记下 6J J G 5 7 1-2 0 0 4纵、横向 读数 a 2 和 b 2。按式(2)计算显微镜升降方向对玻璃台 面的 垂直度。3 4 3 8 n J(a 2 一。,),+(b 2 一 b,)2 L(n一1)(2)式中:显微镜升降 方向对玻璃台 面的 垂直度,();L 平行平晶的尺寸,m m;n 平行平晶的玻璃折射率;a,a,纵向读数装置在两个位置上的示值,m m;b,b2-横向读数装置在两个位置上的示值,m m。该项 目 也可采用满足不确定度要求的其他方法测量。6.3.1 0 圆工作台
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