JJF 1238-2010 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.PDF
《JJF 1238-2010 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.PDF》由会员分享,可在线阅读,更多相关《JJF 1238-2010 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范.PDF(15页珍藏版)》请在咨信网上搜索。
1、J 可F中华人民共和国国家计量技术规范J J F1 2 3 8 2 0 1 0集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o nf o rt h eT e s t i n gS y s t e mf o rM i c r o c i r c u i t sE l e c t r o - s t a t i cD i s c h a r g e ( E S D ) S e n s i t i v i t y2 0 1 0 0 1 0 5 发布2 0 1 0 0 4 0 5 实施国家质量监督检验检疫总局发布J J F1
2、 2 3 8 - - 2 0 L O集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范C a l i b r a t i o nS p e c i f i c a t i o nf o rt h eT e s t i n gS y s t e mf o rM i c r o c i r c u i t sE l e c t r o s t a t i cD i s c h a r g e ( E S D ) S e n s i t i v i t y 一- 3 0 J J F1 2 3 8 - - 2 0 1 0一一o o 本规范经国家质量监督检验检疫总局于2 0 1 0 年1 月5 日批准,并自2 0
3、1 0 年4 月5 日起施行。归口单位:全国无线电计量技术委员会起草单位:中国电子技术标准化研究所本规范委托全国无线电计量技术委员会负责解释本规范主要起草人:吴京燕( 中国电子技术标准化研究所)参加起草人:陈大为( 中国电子技术标准化研究所)J J F1 2 3 8 2 0 1 0目录1 范围-2 引用文献3 术语4 概述5 计量特性6 校准条件6 1 环境条件6 2 测量标准及其他设备7 校准项目及校准方法8 校准结果的表述9 复校时间间隔附录A 集成电路静电放电敏感度测试设备校准证书内页格式附录B 集成电路静电放电敏感度测试设备校准不确定度分析) ) ;) i )1111122224457
4、( ;l ( ( ;(J J F1 2 3 8 - - 2 0 1 0集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范1 范围本规范适用于集成电路静电放电敏感度测试设备( 人体放电模型H u m a nB o d yM o d e l ,简称H B M ) 的校准。2 引用文献G J B5 4 8 B - - 2 0 0 5 微电子器件试验方法和程序( 方法3 0 1 5 )使用本规范时,应注意使用上述引用文献的现行有效版本。3 术语3 1 衰减时间d e c a yt i m e s放电电流从l O O 峰值衰减到3 6 8 峰值所需的时问。3 2 振荡电流r i n g i n gc u r r e
5、 n t放电电流波形中抖动、不连续点电流幅度。4 概述集成电路静电放电敏感度测试设备( 简称E S D 设备) 主要模拟产生自然界中人体可能带有的静电电压,并将产生的静电电压施加到被测器件上,以考察器件的抗静电能力。其主要结构如图1 所示:图1 集成电路静电放电敏感度测试设备结构示意图5 计量特性5 1 短路电流参数( 人体模型H B M )5 1 1 峰值电流J 。:( 0 2 6 ) A范围:1 0 5 1 上升时间t ,范围:( 2 l O ) n s5 1 3 衰减时间t d :1 5 0 n s范围:2 0 n s5 1 4 振荡电流f ,:范围: 1 5 J 。注:被校准设备具体量
6、程以G J B5 4 8 B - - 2 0 0 5 方法3 0 1 5 为准。J J F1 2 3 8 - - 2 0 1 06 校准条件6 1 环境条件6 1 1 环境温度:( 2 3 5 ) 。6 1 2 环境相对湿度:3 0 7 5 。6 1 3 交流电源电压:( 2 2 0 1 1 ) V ;( 5 0 1 ) H z 。6 2 测量标准及其他设备6 2 1 数字示波器最小带宽:3 5 0 M H z ;上升时间最大允许误差:3 5 0 p s 。6 2 2 宽带电流探头带宽:1 G H z ;最大允许误差:5 。6 2 32 0 d B 衰减器带宽:1 G H z ;最大允许误差:
7、5 。7 校准项目及校准方法设备在进行校准前应按说明书要求预热。并检查校准用测试插座连接性、校准环境静电防护设施的正常性。7 1 短路电流( 人体模型H B M ) 参数校准7 1 1 校准设备连接如图2 所示。图2 校准连接框图7 1 2 选择被校设备测试座上引线最长的通道为被校准通道,将被校准通道( 设置为放电通道) 与地端( 设置为G N D 通道) 用短路线相连并接入电流探头,数字示波器通过2 0 d B 衰减器与电流探头相连。电流探头正端面向放电通道侧。7 1 3 被校设备设置放电模型为人体模型( H B M ) ,按表1 的试验等级设置充电电压,通过电流探头和衰减器用示波器测量E
8、S D 电流波形参数。7 1 4 调节示波器的垂直刻度和水平刻度,使测量波形位于示波器恰当的位置上。按图3 、图4 所示,测量短路电流的峰值电流I 。、上升时间t ,、衰减时间t a 、振荡电流I ,各参数。当把示波器的时间测量刻度调节到5 n s d i v ( 每格) ,以波形下降趋势线的向上延伸与波形上升沿的交互点( 图3 中A 点) 为峰值电流j 。;?J J F1 2 3 8 2 0 1 0表1E S D 试验等级及对应电参数等级模拟充电电压f 。电流峰值范围10 5 k V0 3 3 A士1 0 2l k V0 6 7 A士1 0 32 k V1 3 3 A士1 0 44 k V2
9、 6 7 A士1 0 58 k V5 3 3 A1 0 耳9 0 迂,7 、A r := :=巴= =- :一L 乙一5 “蚰i v图3 短路电流的峰值电流I 。上升时间t ,、振荡电流J ,波形060jj j2i1 0 0 n s d i v一b 一图4 短路电流的衰减时间波形上升时间t ,为1 0 峰值到9 0 峰值之间的时间;衰减时间幻为峰值到3 6 8 峰值之间的时间;振荡电流J ,为放电电流波形中抖动、不连续点的电流幅度。一般小于1 5 峰值电流J 。3J J F1 2 3 8 - - 2 0 1 07 1 5 将峰值电流、振荡电流测量结果记录于附录A 表1 中,上升时间、衰减时间测
10、量结果记录于附录A 表2 中。7 1 6 对于同一通道上不同放电电压下电流波形参数校准点,重复7 1 3 7 1 5 的校准步骤。7 1 7 对于其他的通道,选放电电压l k V 下的电流波形参数为验证点,重复7 1 3 7 1 5 的校准步骤,校准整个设备所有通道。将峰值电流、振荡电流测量结果记录于附录A 表3 中,上升时间、衰减时间测量结果记录于附录A 表4 中。8 校准结果的表述集成电路静电放电敏感度测试设备的校准结果用校准证书或校准报告表达,证书或报告至少包括以下信息:a ) 标题,如“校准证书”或“校准报告”;b ) 实验室名称和地址;c ) 进行校准的地点( 如果不在实验室内进行校
11、准) ;d ) 校准证书或报告的唯一性标识( 如编号) 、每页和总页数的标识;e ) 送校单位的名称和地址;f ) 校准的集成电路静电放电敏感测试设备名称、型号和编号;g ) 进行校准的日期,校准环境( 温、湿度等) ;当接受日期对校准结果的有效性有影响时还应注明被校对象的接收日期;h ) 校准所依据的技术规范名称及代号;i ) 本次校准所用测量标准的溯源性及有效性说明;j ) 校准结果及其测量不确定度的说明;k ) 校准证书或校准报告签发人、校准人、审核人等效标识,以及签发日期;1 ) 校准结果仅对被校对象有效的声明;m ) 未经实验室书面批准,不得部分复制证书或报告的声明。9 复校时间间隔
12、集成电路静电放电敏感度测试设备的复校时问用户可根据使用情况决定,建议复校时间间隔为1 年,必要时可随时送校。4J J F1 2 3 8 - - 2 0 1 0附录A集成电路静电放电敏感度测试设备校准证书内页格式工作正常性:正常口不正常口、短路电流波形参数校准表1 峰值电流、振荡电流I 。峰值电流I ,振荡电流设置标准测量不标准测量不电压范围范围测量值确定度测量值确定度0 5 k V0 3 0 A 0 3 6 A 1 5 I 。一0 5 k V0 3 6 A 一O 3 0 A 1 5 J 。l k V0 6 0 A O 7 3 A 1 5 L1 k VO 7 3 A 一O 6 0 A 1 5 J
- 配套讲稿:
如PPT文件的首页显示word图标,表示该PPT已包含配套word讲稿。双击word图标可打开word文档。
- 特殊限制:
部分文档作品中含有的国旗、国徽等图片,仅作为作品整体效果示例展示,禁止商用。设计者仅对作品中独创性部分享有著作权。
- 关 键 词:
- JJF 1238-2010 集成电路静电放电敏感度测试设备校准规范 1238 2010 集成电路 静电 放电 敏感度 测试 设备 校准 规范
1、咨信平台为文档C2C交易模式,即用户上传的文档直接被用户下载,收益归上传人(含作者)所有;本站仅是提供信息存储空间和展示预览,仅对用户上传内容的表现方式做保护处理,对上载内容不做任何修改或编辑。所展示的作品文档包括内容和图片全部来源于网络用户和作者上传投稿,我们不确定上传用户享有完全著作权,根据《信息网络传播权保护条例》,如果侵犯了您的版权、权益或隐私,请联系我们,核实后会尽快下架及时删除,并可随时和客服了解处理情况,尊重保护知识产权我们共同努力。
2、文档的总页数、文档格式和文档大小以系统显示为准(内容中显示的页数不一定正确),网站客服只以系统显示的页数、文件格式、文档大小作为仲裁依据,平台无法对文档的真实性、完整性、权威性、准确性、专业性及其观点立场做任何保证或承诺,下载前须认真查看,确认无误后再购买,务必慎重购买;若有违法违纪将进行移交司法处理,若涉侵权平台将进行基本处罚并下架。
3、本站所有内容均由用户上传,付费前请自行鉴别,如您付费,意味着您已接受本站规则且自行承担风险,本站不进行额外附加服务,虚拟产品一经售出概不退款(未进行购买下载可退充值款),文档一经付费(服务费)、不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。
4、如你看到网页展示的文档有www.zixin.com.cn水印,是因预览和防盗链等技术需要对页面进行转换压缩成图而已,我们并不对上传的文档进行任何编辑或修改,文档下载后都不会有水印标识(原文档上传前个别存留的除外),下载后原文更清晰;试题试卷类文档,如果标题没有明确说明有答案则都视为没有答案,请知晓;PPT和DOC文档可被视为“模板”,允许上传人保留章节、目录结构的情况下删减部份的内容;PDF文档不管是原文档转换或图片扫描而得,本站不作要求视为允许,下载前自行私信或留言给上传者【tea****ft】。
5、本文档所展示的图片、画像、字体、音乐的版权可能需版权方额外授权,请谨慎使用;网站提供的党政主题相关内容(国旗、国徽、党徽--等)目的在于配合国家政策宣传,仅限个人学习分享使用,禁止用于任何广告和商用目的。
6、文档遇到问题,请及时私信或留言给本站上传会员【tea****ft】,需本站解决可联系【 微信客服】、【 QQ客服】,若有其他问题请点击或扫码反馈【 服务填表】;文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“【 版权申诉】”(推荐),意见反馈和侵权处理邮箱:1219186828@qq.com;也可以拔打客服电话:4008-655-100;投诉/维权电话:4009-655-100。